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Dokumentenidentifikation DE10040786B4 04.09.2008
Titel Mechanismus zum Einstellen der Rotationsauswuchtung einer Schneidmaschine
Anmelder Disco Corp., Tokio/Tokyo, JP
Erfinder Wakita, Norihiko, Tokio/Tokyo, JP
Vertreter Müller-Boré & Partner, Patentanwälte, European Patent Attorneys, 81671 München
DE-Anmeldedatum 21.08.2000
DE-Aktenzeichen 10040786
Offenlegungstag 23.05.2001
Veröffentlichungstag der Patenterteilung 04.09.2008
Veröffentlichungstag im Patentblatt 04.09.2008
IPC-Hauptklasse B23Q 11/00(2006.01)A, F, I, 20070427, B, H, DE
IPC-Nebenklasse B28D 1/22(2006.01)A, L, I, 20070427, B, H, DE   

Beschreibung[de]
Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verbesserung in einem Mechanismus zum Anpassen bzw. Einstellen einer Rotationsauswuchtung bzw. -ausgewogenheit einer Präzisionsschneidmaschine wie einer Plättchenschneidmaschine (dicer).

Beschreibung des Standes der Technik:

Die DE 196 47 452 C1 offenbart eine Bundhülsen-Montiervorrichtung zum Montieren einer Schleifscheibe auf einer Spindel einer Schleifmaschine, die aus einer einen Hülsen- und einen Bundabschnitt bildenden Bundhülse, einer auf dem Hülsenabschnitt eingefügten Druckplatte zum Festklemmen der Schleifscheibe auf dem Bundabschnitt, einem auf der Druckplatte eingefügten Deckel, drei in einem kreisförmigen, von der Druckplatte gebildeten Rezeß aufgenommenen Ausgleichgewichten, die jedes eine erste, gegen eine Außenwand in der Nähe der Umfangsperipherie der Druckplatte angrenzende bogenförmige Seite und eine zweite gegen die Umfangsperipherie des Deckels angrenzende bogenförmige Seite haben, und einer Mutter besteht, die im Gewindeeingriff mit der Außenseite des Hülsenabschnitts eine Druckkraft auf den Deckel ausübt.

In der US 5,096,345 ist eine ähnliche Vorrichtung mit einem Werkzeugmontierteil gezeigt, das Ausgleichgewichtschrauben besitzt, die in Gewindelöcher eingeschraubt und zur Rotationsauswuchtung verstellbar sind.

In der Herstellung von z. B. Halbleitervorrichtungen wird eine Oberfläche eines Halbleiterwafers bzw. -chips bzw. -plättchens bzw. -scheibe in eine Vielzahl von rechteckigen Sektionen aufgeteilt durch Schneiden von Linien, welche Straßen (street) genannt werden, welche in einem Gittermuster angeordnet sind, und vorbestimmte Schaltkreismuster werden auf den rechteckigen Sektionen ausgebildet. Die Vielzahl von rechteckigen Sektionen zu welchen die Schaltkreismuster gegeben werden, werden individuell geschnitten und getrennt, um sogenannte Halbleiterchips auszubilden. Der Halbleiterwafer wird normalerweise durch eine Präzisionsschneidmaschine, genannt Plättchenschneidmaschine (dicing machine), geschnitten.

Die oben beschriebene Schneidmaschine umfasst eine Spindeleinheit mit einer Drehspindel, einen Sicherungsflansch, welcher an ein Ende der Drehspindel montiert ist und einen Werkzeugmontierabschnitt entlang des äußeren Umfangs davon aufweist, ein ringförmiges Schneidwerkzeug mit einem Montierloch, welches zu dem Werkzeugmontierabschnitt des Sicherungsflansches passt und einen Halteflansch zum Halten des Schneidwerkzeugs in Zusammenarbeit mit dem Sicherungsflansch und wobei das sich mit einer hohen Geschwindigkeit (z. B. 60.000 rpm) drehende Werkzeug ein Werkstück schneidet. Beim Schneiden des Halbleiterwafers wird insbesondere eine Schleifklinge, welche ein Schneidwerkzeug ausbildet, mit einer Dicke von etwa 15 &mgr;m benötigt, um an der Schneidlinie angeordnet zu werden, welche eine Breite von etwa 50 &mgr;m aufweist und auf dem Halbleiterwafer ausgebildet ist, um das Schneiden mit hoher Präzision auszuführen. Für dieses Ziel muss eine Vibration der Klinge verhindert werden.

Um das Befestigen oder Lösen des an die Drehspindel montierten Schneidwerkzeugs zu erleichtern, muss ein kleiner Freiraum von etwa einigen Mikron bzw. &mgr;m zwischen dem Montierloch der Klinge und dem Werkzeugmontierabschnitt des an die Drehspindel befestigten Sicherungsflansches vorgesehen sein. Wenn das Schneidwerkzeug montiert wird in einem Zustand, wenn das Zentrum der Drehung der Drehspindel nicht in Übereinstimmung ist mit dem Zentrum der Drehung des Schneidwerkzeugs, wird deshalb die Rotationsauswuchtung nicht erreicht und deshalb tritt Vibration auf, wenn die Drehspindel und die Klinge mit hohen Geschwindigkeiten drehen. Vibration bewirkt viel Kippen bzw. Nicken auf beiden Seiten der Schneidrille bzw. -nut, welche geschnitten wird durch die Trennscheibe bzw. Schleifklinge, welche das Schneidwerkzeug ausbildet, was es schwierig macht, das Schneiden mit einer hohen Präzision auszuführen. Das selbe Problem tritt auf, wenn die Rotationsauswuchtung des Schneidwerkzeugs selber nicht beibehalten wird.

Um das oben beschriebene Problem zu lösen, ist die Schneidmaschine ausgerüstet mit einem Mechanismus zum Anpassen bzw. Einstellen der Rotationsauswuchtung, um die Rotationsauswuchtung anzupassen, nachdem das Schneidwerkzeug an die Drehspindel montiert ist. Gemäß einem herkömmlichen Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung, wie gezeigt in 11, ist ein ein Schneidwerkzeug 02 haltender Halteflansch 03 in Kooperation mit einem an ein Ende einer Drehspindel 01 befestigten Sicherungsflansch (nicht gezeigt) vorgesehen mit einer Vielzahl von Gewindelöchern 04 an gleichen Intervallen in der axialen Richtung zum Montieren eines Gewichts zum Anpassen der Wucht und dann, nachdem das Schneidwerkzeug 02 an die Drehspindel 01 montiert ist, wird eine Vielzahl von Auswuchtgewichtschrauben 05 mit verschiedenen Gewichten in die Vielzahl von Gewindelöchern 04 geschraubt, um die Rotationsauswuchtung anzupassen.

In dem oben beschriebenen herkömmlichen Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung, müssen jedoch eine Vielzahl von Arten von Auswuchtgewichtschrauben 05 mit verschiedenen Gewichten vorbereitet werden, um präzise die Rotationsauswuchtung anzupassen. Außerdem sind die Gewindelöcher 04 und die Auswuchtgewichtschrauben 05 so klein, dass sie eine lästige Handhabung benötigen, und ein bedeutendes Maß an Fertigkeit wird benötigt zum Anpassen der Wucht.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Es ist eine Aufgabe der vorgehenden Erfindung, einen Mechanismus zum Anpassen bzw. Einstellen einer Rotationsauswuchtung bzw. -ausgewogenheit einer Schneidmaschine bereitzustellen, welcher das präzise Anpassen der Wucht vereinfachen kann, ohne die Notwendigkeit des Vorbereitens einer Vielzahl von Auswuchtgewichtschrauben.

Um die obenbeschriebene Aufgabe zu erreichen ist, gemäß der vorliegenden Erfindung, vorgesehen ein Mechanismus zum Anpassen bzw. Einstellen einer Rotationsauswuchtung bzw. -ausgewogenheit einer Schneidmaschine, welcher umfasst eine Spindeleinheit mit einer Drehspindel, einen Sicherungsflansch, welcher an ein Ende der Drehspindel montiert ist und einen Werkzeugmontierabschnitt entlang des äußeren Umfangs davon aufweist, ein ringförmiges Schneidwerkzeug mit einem Montierloch, welches zu dem Werkzeugmontierabschnitt des Sicherungsflansches passt, und einen Halteflansch zum Halten des Schneidwerkzeugs in Kooperation mit dem Sicherungsflansch, wobei:

zumindest zwei Gewindelöcher in dem äußeren Umfang des Halteflansches in der radialen Richtung ausgebildet sind und Auswuchtgewicht- bzw. Gegengewicht- bzw. Ausgleichgewichtschrauben in die Gewindelöcher geschraubt werden; und

die Auswuchtgewichtschrauben auf geeignete Weise vorwärts und rückwärts bewegt werden entlang der Gewindelöcher in der radialen Richtung, um die Rotationsauswuchtung der Spindeleinheit anzupassen bzw. einzustellen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird weiter bereitgestellt ein Mechanismus zum Anpassen einer Rotationsauswuchtung bzw. -ausgewogenheit einer Schneidmaschine, welcher umfasst eine Spindeleinheit mit einer Drehspindel, einen Sicherungsflansch, welcher an einem Ende der Drehspindel montiert ist und einen Werkzeugmontierabschnitt aufweist entlang des äußeren Umfangs davon, ein ringförmiges Schneidwerkzeug mit einem Montierloch, welches zu dem Werkzeugmontierabschnitt des Sicherungsflansches passt, und einen Halteflansch zum Halten des Schneidwerkzeugs in Kooperation mit dem Sicherungsflansch, wobei:

zumindest zwei Gewindelöcher in dem äußeren Umfang des Sicherungsflansches in der radialen Richtung ausgebildet sind und Auswuchtgewicht- bzw. Gegengewicht- bzw. Ausgleichgewichtschrauben in die Gewindelöcher geschraubt werden; und

die Auswuchtgewichtschrauben auf eine geeignete Weise vorwärts und rückwärts entlang der Gewindelöcher in der radialen Richtung bewegt werden, um die Rotationsauswuchtung der Spindeleinheit anzupassen.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

1 ist eine perspektivische Ansicht einer Plättchenschneidmaschine, welche eine Schneidmaschine ist, die mit einem gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebauten Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung versehen ist;

2 ist eine persprektivische Ansicht, welche Hauptabschnitte der in 1gezeigten Plättchenschneidmaschine darstellt;

3 ist eine perspektivische Ansicht, welche Hauptabschnitte einer Spindeleinheit, welche die in 2 gezeigte Plättchenschneidmaschine ausbildet, darstellt;

4 ist eine perspektivische Ansicht, welche in einem zerlegten Zustand einen Sicherungsflansch, ein Schneidwerkzeug und einen an eine Drehspindel befestigten Halteflansch unter Verwendung von Befestigungsmuttern, um eine in 3 gezeigte Spindeleinheit auszubilden, darstellt;

5 ist eine perspektivische Ansicht, welche in einem zerlegten Zustand den Sicherungsflansch und die Befestigungsmuttern, welche an die Drehspindel befestigt sind, um die in 3 gezeigte Spindeleinheit auszubilden, darstellt;

6 ist eine zerlegte perspektivische Ansicht, welche eine Ausführungsform eines Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung ausgebildet gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;

7 ist eine Vorderansicht, welche teilweise weggeschnitten den Halteflansch zeigt, welcher mit dem in 5 gezeigten Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung vorgesehen ist, darstellt;

8 ist eine perspektivische Ansicht, welche in einem zerlegten Zustand eine andere Ausführungsform des Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung aufgebaut gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;

9 ist eine Ansicht, welche darstellt, wie Unwucht angepasst wird durch Verwenden des Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung aufgebaut gemäß der vorliegenden Erfindung;

10 ist eine Vorderansicht, welche teilweise weggeschnitten zeigt eine weitere Ausführungsform des Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung aufgebaut gemäß der vorliegenden Erfindung;

11 ist eine perspektivische Ansicht, welche auf eine zerlegte Weise, einen herkömmlichen Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung der Schneidmaschine darstellt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

Ausführungsformen des gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebauten Mechanismus zum Anpassen bzw. Einstellen einer Rotationsauswuchtung bzw. -ausgewogenheit einer Schneidmaschine wird nun im Detail bezugnehmend auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben werden.

1 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine Plättchenschneidmaschine zeigt, welche eine Schneidmaschine ist, die ausgestattet ist mit einem Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung aufgebaut gemäß der vorliegenden Erfindung.

Die in 1 gezeigte Plättchenschneidmaschine ist ausgestattet mit einem Maschinengehäuse 10, welches annähernd von rechteckiger parallelopipeder bzw. parallel flacher Form ist. In dem Maschinengehäuse 10 sind angeordnet eine stationäre Basisplatte 2, ein Futter- bzw. Spanfutter- bzw. Aufspannvorrichtungstischmechanismus 3, welcher angeordnet ist an der stationären Basisplatte 2, um sich in eine durch einen Pfeil X angezeigte Richtung zu bewegen, welche die Bewegungsrichtung ist, und welcher das Werkstück hält, ein Spindelstützmechanismus 4, welcher angeordnet ist an der stationären Basisplatte 2, um sich in die durch einen Pfeil Y angezeigte Richtung zu bewegen (Richtung senkrecht auf die durch den Pfeil X angezeigte Bewegungsrichtung), welche die Teilungs- bzw. Indizierungsrichtung ist, und eine Spindeleinheit 5, welche angeordnet ist an dem Spindelstützmechanismus 4, um sich in eine durch einen Pfeil Z angezeigte Richtung zu bewegen, welche die Schneidrichtung ist.

Der Spannfuttertischmechanismus 3 beinhaltet eine Stützplatte 31, welche angeordnet und befestigt ist an der stationären Basisplatte 2 durch Verwenden von einer Vielzahl von Montierbolzen bzw. -schrauben 3a, zwei Führungsschienen 32 und 32, welche parallel an der Stützplatte 31 angeordnet sind in der durch den Pfeil X angezeigten Richtung, und einen Futter- bzw. Spannfutter- bzw. Aufspannvorrichtungstisch 33, welcher angeordnet ist an den Führungsschienen 32 und 32, um sich in die durch den Pfeil X angezeigte Richtung zu bewegen. Der Spannfuttertisch 33 beinhaltet eine an den Führungsschienen 32 und 32 bewegbar angeordnete Adsorptionsspannfutterstützplatte 331 und ein an die Adsorptionsspannfutterstützplatte 331 montiertes Adsorptionsspannfutter 332. Ein scheibenartiger Halbleiterchip bzw. -plättchen bzw. -scheibe bzw. -wafer, welcher ein Werkstück ist, wird an dem Adsorptionsspannfutter 332 durch eine Saugeinrichtung gehalten, welche nicht gezeigt ist. Des weiteren beinhaltet der Spannfuttertischmechanismus 3 eine Antriebseinrichtung 34 zum Bewegen des Spannfuttertisches 33 in die Richtung des Pfeils X entlang der zwei Führungsschienen 32 und 32. Die Antriebseinrichtung 34 beinhaltet einen Außengewindestab bzw. -stange 341, welcher angeordnet ist zwischen den zwei Führungsschienen 32 und 32 parallel dazu, und eine Antriebsquelle wie einen Schritt- bzw. Pulsmotor 342 zum drehbaren Antreiben des Außengewindestabs 341. Der Außengewindestab 341 ist drehbar an seinem einen Ende gestützt durch einen an die Stützplatte 31 gesicherten Lagerbock 343 und ist übertragungs- bzw. transmissionsgekoppelt an seinem anderen Ende an die Ausgangswelle des Pulsmotors 342 durch eine Reduktionsvorrichtung, welche nicht gezeigt ist. Der Außengewindestab 341 ist in ein Innengewindedurchgangsloch geschraubt, welches in einem Innengewindeblock (nicht gezeigt) ausgebildet ist, welcher von der unteren Oberfläche bzw. Fläche in der Mitte der Adsorptionsspannfutterstützplatte 331, welche den Spannfuttertisch 33 ausbildet, vorspringt. Indem der Außengewindestab 341 vorwärts oder rückwärts durch den Pulsmotor 342 angetrieben wird, wird deshalb der Spannfuttertisch 33 entlang der Führungsschienen 32 und 32 in der Richtung des Pfeils X bewegt.

Der Spindelstützmechanismus 4 beinhaltet eine Stützplatte 41, welche angeordnet und gesichert ist an die stationäre Basisplatte 2 unter Verwendung einer Vielzahl von Montierbolzen bzw. -schrauben 4a, zwei Führungsschienen 42 und 42, welche parallel an der Stützplatte 41 entlang der Richtung des Pfeils Y angeordnet sind, und eine bewegbare Stützplatte 43, welche angeordnet ist an den Führungsschienen 42 und 42, um sich in die Richtung des Pfeils Y zu bewegen. Die bewegbare Stützplatte 43 beinhaltet einen an den Führungsschienen 42 und 42 bewegbar angeordneten sich bewegenden Stützabschnitt 431 und einen an den sich bewegenden Stützabschnitt 431 montierten Spindelmontierabschnitt 432. Eine Montierklammer bzw. -stütze bzw. -träger 433 ist gesichert an den Spindelmontierabschnitt 432. In dem die Montierklammer 433 an den sich bewegenden Stützabschnitt 431 befestigt wird unter Verwendung einer Vielzahl von Montierbolzen bzw. -schrauben 40a, wird der Spindelmontierabschnitt 432 an den sich bewegenden Stützabschitt 431 montiert. Des weiteren weist der Spindelmontierabschnitt 432 zwei Führungsschienen 432a und 432a auf, welche sich in die durch den Pfeil Z angezeigte Richtung an der Oberfläche der Seite gegenüberliegen bzw. entgegengesetzt zu der Oberflächenseite an welcher die Montierklammer 433 montiert ist, erstrecken. Der Spindelstützmechanismus 4 beinhaltet eine Antriebseinrichtung 44 zum Bewegen der bewegbaren Stützplatte 43 in der Richtung des Pfeils Y entlang der zwei Führungsschienen 42 und 42. Die Antriebseinrichtung 44 beinhaltet einen Außengewindestab bzw. -stange 441, welcher angeordnet ist zwischen den zwei Führungsschienen 42 und 42 parallel dazu und eine Antriebsquelle, wie einen Pulsmotor 442 zum Antreiben des Außengewindstabs 441. Der Außengewindestab 441 ist drehbar gestützt an seinem einen Ende durch einen an die Stützplatte 41 gesicherten Lagerbock (nicht gezeigt) und ist transmissions- bzw. übertragungsgekoppelt an seinem anderen Ende an den Ausgangsschaft des Pulsmotors 442 durch ein Reduktionsgetriebe, welches nicht gezeigt ist. Der Außengewindestab 441 ist geschraubt in ein Innengewindedurchgangsloch, welches in einem Innengewindeblock (nicht gezeigt) ausgebildet ist, welcher von der unteren Oberfläche an dem mittleren Abschnitt des sich bewegenden Stützabschnitts 431 vorspringt, welcher die bewegbare Stützplatte 43 ausbildet. Indem der Aussengewindestab 441 vorwärts und rückwärts angetrieben wird durch den Pulsmotor 442, wird deshalb die bewegbare Stützplatte 43 in die durch den Pfeil Y angezeigte Richtung entlang der Führungsschiene 42 und 42 bewegt.

Die Spindeleinheit 5 beinhaltet eine sich bewegende Basisplatte 51, einen Spindelhalter 52, welcher an die sich bewegende Basisplatte 51 gesichert ist unter Verwendung einer Vielzahl von Montierbolzen bzw. -Schrauben 5a, und ein an den Spindelhalter 52 montiertes Spindelgehäuse 53. Die sich bewegende Basisplatte 51 ist versehen mit zwei geführt zu werdenden Schienen 51a und 51a, welche gleitbar an die zwei Führungsschienen 432a und 432a passen, welche vorgesehen sind für den Spindelmontierabschnitt 432 des Spindelstützmechanismus 4. Nachdem die geführt zu werdenden Schienen 51a, 51a an die Führungsschienen 432a, 432a gepasst wurden, wird die sich bewegende Basisplatte 51 gestützt, um sich in die durch den Pfeil Z angezeigte Richtung zu bewegen. Ein Schneidwerkzeug 54 ist drehbar befestigt an ein Ende des Spindelgehäuses 53. Ein Drehantriebsmechanismus (nicht gezeigt) zum Drehen des Schneidwerkzeugs 54 ist in dem Spindelgehäuse 53 angeordnet. Die den Drehantriebsmechanismus ausbildende Drehspindel, das Schneidwerkzeug 54 und ihre Montierstrukturen werden später im Detail beschrieben. Die Spindeleinheit 5 beinhaltet eine Antriebseinrichtung 55 zum Bewegen der sich bewegenden Basisplatte 51 in die Richtung des Pfeils Z entlang der Führungsschienen 432a und 432a. Die Antriebseinrichtung 55 beinhaltet einen zwischen den Führungsschienen 432a und 432a angeordneten Außengewindestab bzw. -stange (nicht gezeigt) und eine Antriebsquelle wie einen Pulsmotor 552 zum drehbaren Antreiben des Außengewindestabs wie die oben beschriebenen Antriebseinrichtungen 34 und 44. Indem der Außengewindestab (nicht gezeigt) vorwärts und rückwärts angetrieben wird durch den Pulsmotor 552, wird die Spindeleinheit 5 in die durch den Pfeil Z angezeigte Richtung entlang der Führungsschienen 432a und 432a bewegt.

Bezugnehmend auf 1, beinhaltet die dargestellte Plättchenschneidmaschine eine Kassette 12 zum Lagern von Halbleiterchips bzw. -plättchen bzw. -scheiben bzw. -wafern 11, welche Werkstücke sind, eine Werkstückzuführeinrichtung 13, eine Werkstückbeförderungseinrichtung 14, eine Wascheinrichtung 15, eine Fördereinrichtung 16 und eine durch ein Mikroskop ausgebildete Ausrichtungseinrichtung 17, eine CCD-Kamera etc. Der Halbleiterwafer 11 ist montiert an einen Rahmen 111 unter Verwendung eines Klebebands 112 und ist untergebracht in der Kassette 12 in einem Zustand des Montiertwerdens an den Rahmen 111. Die Kassette 12 ist angeordnet an einem Kassettentisch 121, welcher angeordnet ist, um sich nach oben und unten durch eine Aufstiegs/Abstiegseinrichtung, welche nicht gezeigt ist, zu bewegen.

Als nächstes wird der Verarbeitungsvorgang der Plättchenschneidmaschine kurz beschrieben.

Der Halbleiterwafer 11 in einem Zustand des Montiertseins an den in der Kassette 12 in einer vorbestimmten Position aufgenommenen Rahmen 111 (im folgenden wird der Halbleiterwafer 11 in einem Zustand des Montiertseins an den Rahmen 111 einfach als Halbleiterwafer 11 bezeichnet) wird in eine Zuführposition gebracht wenn der Kassettetisch 121 nach oben und unten bewegt wird durch eine Aufstiegs/Abstiegseinrichtung, welche nicht gezeigt ist. Dann bewegt sich die Werkstückzuführeinrichtug 13 vorwärts und rückwärts, um den an der Zuführposition angeordneten Halbleiterwafer 11 zu dem Werkstückanordnungsbereich 18 zuzuführen. Der zu dem Werkkstückanordnungsbereich 18 zugeführte Halbleiterwafer 11 wird auf das Adsorptionsspannfutter 332 des Spannfuttertisches 33, welcher den Spannfuttermechanismus 3 ausbildet, geleitet durch drehende Bewegungen der Werkstückbeförderungseinrichtung 14 und wird gesaugt und gehalten durch das Saugspannfutter 332. Der Spannfuttertisch 33, welcher den Halbleiterwafer 11 durch Saugen gehalten hat, wird dann genau unter die Ausrichtungseinrichtung 17 entlang der Führungsschienen 32 und 32 bewegt. Wenn der Spannfuttertisch 33 genau unter die Ausrichtungseinrichtung 17 gebracht wird, wird eine an dem Halbleiterwafer 11 ausgebildete Schnittlinie erfasst durch die Ausrichtungseinrichtung 17 und ein präziser Positionierungsvorgang wird ausgeführt. Danach wird der den Halbleiterwafer 11 durch Saugen haltende Spannfuttertisch 33 in die Richtung des Pfeils X bewegt, welches die Bewegungsrichtung ist, wobei der durch den Spannfuttertisch 33 gehaltene Halbleiterwafer 11 geschnitten wird durch das Schneidwerkzeug 54 entlang einer vorbestimmten Schneidlinie. D. h., das Schneidwerkzeug 54 ist montiert an die Spindeleinheit 5, welche positioniert wird, indem sie bewegt wird, während angepasst, in die Richtung des Pfeils Y, welche die Indizierungsrichtung ist und in die Richtung des Pfeils Z, welche die Schneidrichtung ist, und wird drehbar angetrieben. Indem der Spannfuttertisch 33 in die Bewegungsrichtung bewegt wird entlang der unteren Seite des Schneidwerzeugs 54, wird deshalb der durch den Spannfuttertisch 33 gehaltene Halbleiterwafer 11 durch das Schneidwerkzeug 54 geschnitten entlang einer vorbestimmten Schnittlinie und wird in Halbleiterchips aufgeteilt. Die Halbleiterchips, welche geschnitten worden sind, zerfallen nicht in Teile aufgrund der Wirkung des Klebebands 112 aber verbleiben in dem Zustand des an den Rahmen 111 montierten Halbleiterwafers 11. Nachdem der Halbleiterwafer 11 wie oben beschrieben geschnitten worden ist, wird der den Halbleiterwafer 11 haltende Spannfuttertisch 33 in die Position zurückgeführt, in der der Halbleiterwafer 11 zuerst durch Saugen gehalten worden ist und das Halten durch Saugen des Halbleiterwafers 11 wird gelöst. Als nächstes wird der Halbleiterwafer 11 befördert durch die Fördereinrichtung 16 zu der Wascheinrichtung 15 und wird gewaschen. Der so gewaschene Halbleiterwafer 11 wird durch die Werkstücksbeförderungseinrichtung 14 auf den Werkstückanordnungsbereich 18 zugeführt. Der Halbleiterwafer 11 wird dann aufgenommen in einer vorbestimmten Position in der Kassette 12 durch die Werkstückzuführeinrichtung 13.

Als nächstes wird die die Spindeleinheit 5 ausbildende Drehspindel, die Schneideinrichtung 54 und ihre Montierstrukturen bezugnehmend auf 3 bis 5 beschrieben.

3 ist eine perspektivische Ansicht, welche das an die Drehspindel 56 montierte Schneidwerkzeug 54 zeigt, 4 zeigt, in zerlegtem Zustand, den an die Drehspindel 56 befestigten Sicherungsflansch 57 unter Verwendung einer Befestigungsmutter 58, das Schneidwerkzeug 54 und den Halteflansch 59 und 5 zeigt, in zerlegtem Zustand, den Sicherungsflansch 57 und die Befestigungsmutter 58, welche an die Drehspindel 56 montiert werden soll.

Bezugnehmend auf 5 weist die dargestellte Drehspindel 56 an ihrem Ende einen Montierabschnitt 560 auf zum Montieren des Sicherungsflansches 57, welcher später beschrieben wird. Der Montierabschnitt 560 beinhaltet einen Flanschabschnitt 561, einen kegelig verjüngten bzw. konischen Abschnitt 562 und einen zylindrischen Befestigungsabschnitt 563. Die äußere Umfangsoberfläche des Endes des Befestigungsabschnitts 563 weist ein Außengewinde auf wie bezeichnet bei 563a und ein Werkzeugeinpassrücksprungabschnitt 563b ist ausgebildet in einer Endoberfläche, um mit einem Drehstopwerkzeug gepasst zu werden. Der Sicherungsflansch 57 ist montiert an den so ausgebildeten Montierabschnitt 560.

Der Sicherungsflansch 57 beinhaltet einen Flanschabschnitt 571 und einen Werkzeugmontierabschnitt 572. Der Werkzeugmontierabschnitt 572 ist ausgebildet in einer zylindrischen Form und seine äußere Umfangsoberfläche an einem Ende weist einen Außengewindeabschnitt 572a auf. Des weiteren ist ein Passloch 573 ausgebildet an dem mittleren Abschnitt des Sicherungsflansches 57, und zwar diesen durchdringend in der axialen Richtung. Das Passloch 573 beinhaltet einen kegelig verjüngten bzw. konischen Lochabschnitt 573a entsprechend der äußeren Umfangsoberfläche des konischen Abschnitts 562 des Montierabschnitts 560 und einen zylindrischen Lochabschnitt 573b entsprechend der äußeren Umfangsoberfläche des Befestigungsabschnitts 563 des Montierabschnitts 560. Der so ausgebildete Sicherungsflansch 57 ist montiert an den Montierabschnitt 560 der Drehspindel 56 wie gezeigt in 4 durch Passen seines konischen Lochabschnitts 573a des Passlochs 573 zu dem konischen Abschnitt 562 des Montierabschnitts 560, Passen seines zylindrischen Lochabschnitts 573b zu dem Befestigungsabschnitt 563 des Montierabschnitts 560 und dann Schrauben seiner Innenschraube 581 der Befestigungsmutter 58 an das in dem Befestigungsabschnitt 563 des Montierabschnitts 560 ausgebildete Außengewinde 563a.

Das Schneidwerkzeugs 54 ist montiert an den Sicherungsflansch 57, welcher befestigt ist an den Montierabschnitt 560 der Drehspindel 56. Das Schneidwerkzeug 54 umfasst ein Klingenstützglied 541 und eine ringförmige Schleifklinge 542, welche vorgesehen ist entlang dem äußeren Umfang des Klingenstützglieds 541. Das Klingenstützglied 541 weist an seinem mittleren Abschnitt ein Montierloch 541a auf, dessen Größe um einige Mikron bzw. um größer ist als die äußere Größe des Werkzeugmontierabschnitts 572 des Sicherungsflansches 57. Indem das Montierloch 541a des Klingenstützglieds 541 an den Werkzeugmontierabschnitt 572 des Sicherungsflansches 57 gepasst wird und dann seine in dem Halteflansch 59 ausgebildete innere Schraube 591 auf den an dem Werkzeugmontierabschnitt 572ausgebildeten, mit einem Gewinde versehenen Abschnitt 572a gschraubt wird, wird das so ausgebildete Schneidwerkzeug 54 montiert, wobei es zwischen den Flanschabschnitt 571 des Sicherungsflansches 57 und den Halteflansch 59 zwischengelagert wird, um es zu halten, wie gezeigt in 3.

In der dargestellten Ausführungsform ist der Halteflansch 59 versehen mit einem Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung bzw. -ausgewogenheit, welcher aufgebaut ist gemäß der vorliegenden Erfindung. Eine Ausführungsform des Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung wird nachstehend beschrieben bezugnehmend auf 6 und 7.

Der Halteflansch 59 in der dargestellten Ausführungsform ist ausgebildet aus Aluminium in einer ringförmigen Form und weist drei Gewindelöcher bzw. -bohrungen 592a, 592b und 592c auf, welche in dem äußeren Umfang davon in der radialen Richtung ausgebildet sind. Die drei Gewindelöcher 592a, 592b und 592c sind angeordnet in einem gleichen Abstand eines Phasenwinkels von 120° relativ zueinander. Auswuchtgewicht- bzw. Gegengewicht- bzw. Ausgleichgewichtschrauben 60 sind jeweils in die drei in dem Halteflansch 59 ausgebildeten Gewindelöcher 592a, 592b und 592c geschraubt. Die Auswuchtgewichtschrauben 60 weisen ein Außengewinde auf wie bezeichnet bei 61, um in die Gewindelöcher 592a, 592b und 592c geschraubt zu werden und weisen eine in einer Endoberfläche davon ausgebildete Eingriffsnut bzw. -rille 62 auf, um von einem Schraubendreher eingegriffen zu werden. Es ist erwünscht, dass die Auswuchtgewichtschrauben 60 aus einem Metall hergestellt werden mit einer hohen spezifischen Dichte bzw. spezifischem Gewicht, wie Edelstahl bzw. rostfreier Stahl, Wolfram oder Kupfer oder eine Legierung davon. Die so ausgebildeten Auswuchtgewichtschrauben 60 sind jeweils in die drei in dem Halteflansch 59 ausgebildeten Gewindelöcher 592a, 592b und 592c geschraubt. Die in die Gewindelöcher 592a, 592b und 592c geschraubten Auswuchtgewichtschrauben 60 können vorwärts und rückwärts in der radialen Richtung entlang der Gewindelöcher 592a, 592b und 592c bewegt werden durch Eingreifen des Schraubendrehers mit der Eingriffsrille 62 und Drehen dieses im Uhrzeigersinn und gegen den Uhrzeigersinn, um ihre Abstände vom Zentrum der Rotation in der radialen Richtung zu verändern. Die zentrifugale Kraft der Auswuchtgewichtschrauben 60 variiert in Proportion zu dem Abstand von dem Zentrum der Rotation in der radialen Richtung. Deshalb kann die Rotationsauswuchtung angepasst werden durch Anpassen der Positionen der Auswuchtgewichtschrauben 60 in der radialen Richtung. In der in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform wie oben beschrieben, sind die Auswuchtgewichtschrauben 60 in die drei in dem Halteflansch 59 ausgebildeten Gewindelöcher 592a, 592b und 592c geschraubt und die Rotationsauswuchtung wird angepasst durch Bewegen der Auswuchtgewichtschrauben 60 vorwärts oder rückwärts entlang der Gewindelöcher 592a, 592b und 592c in der axialen Richtung. Deshalb, sogar bei Verwendung von nur einer Art der Auswuchtgewichtschrauben 60 wird es ermöglicht eine genaue Anpassung mit großer Leichtigkeit durchzuführen. Es ist wichtig, dass die Auswuchtgewichtschrauben 60 in ihren angepassten Positionen gehalten werden. Für dieses Ziel ist es erwünscht, die Auswuchtgewichtschrauben 60 mit ihren mit Außengewinden versehenen Abschnitten 61 zu verwenden, wobei diese schmelzhaftend versehen sind mit einem synthetischen Harz wie Nylon, so dass sie eine erhöhte Antilockerungsfunktion aufweisen.

Als nächstes wird eine andere Ausführungsform des Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung bezugnehmend auf 8 beschrieben.

In dem Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung der in 8 gezeigten Ausführungsform sind drei Gewindelöcher 571a, 571b und 571c in dem äußeren Umfang des Flanschabschnittes 571 des Sicherungsflansches 57 ausgebildet in gleichen Abständen eines Phasenwinkels von 120° bezüglich einander in der radialen Richtung und die oben beschriebenen Auswuchtgewichtschrauben 60 sind jeweils in die drei Gewindelöcher 571a, 571b und 571c geschraubt. In der in 8 gezeigten Ausführungsform werden deshalb die Auswuchtgewichtschrauben 60 ebenfalls vorwärtsbewegt oder rückwärtsbewegt entlang der Gewindelöcher 571a, 571b und 571c in der radialen Richtung, um die Rotationsauswuchtung anzupassen und die selbe Wirkung und Effekt zu erhalten wie die der in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform.

In den in 6, 7 und 8 gezeigten Ausführungsformen sind die drei Gewindelöcher 592a, 592b, 592c und 571a, 571b, 571c in dem äußeren Umfang des Flanschabschnittes 571 des Halteflansches 59 und des Sicherungsflansches 57 ausgebildet in einem gleichen Abstand eines Phasenwinkels von 120° relativ zueinander und die Auswuchtgewichtschrauben 60 und 60 sind jeweils in die drei Gewindelöcher 592a, 592b, 592c und 571a, 571b, 571c geschraubt. Jedoch sind zumindest zwei Gewindelöcher ausreichend, um in dem Flansch ausgebildet zu sein und ihre Phasenwinkel müssen nicht ausgewählt werden, um einander gleich zu sein. Wenn die Gewindelöcher in einer Anzahl von zwei ausgebildet sind, ist es wichtig, dass die zwei Gewindelöcher in einem anderen Phasenwinkel als 180° ausgebildet sind.

Als nächstes wird untenstehend beschrieben, wie die Rotationsauswuchtung angepasst wird durch den Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung gemäß der in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform.

Um die Rotationsauswuchtung der Spindeleinheit, welche ein Drehglied ist, anzupassen, ist es notwendig, die Unwucht- bzw. Ungleichgewichtposition der Spindeleinheit, welche das Drehglied ist, zu erfassen. Als eine Vorrichtung zum Erfassen der Unwuchtposition des Drehglieds, kann z. B. verwendet werden „PROGRAM AUTO BALANCER (MYSELF-1)" (Markenname) hergestellt durch OHMIYA KOGYO Co., Ltd., beheimatet in 60-banchi, 5-chome, Daimon-cho, Fukuyama-shi, Hiroshima-ken, Japan.

Wenn die Unwucht in der Spindeleinheit, welche das Drehglied ist, erfasst wird durch Verwendung des oben beschriebenen Unwuchtdetektors, zeigt die Anzeigeeinrichtung des Unwuchtdetektors, wie gezeigt in 9, die Anwesenheit einer Unwucht an einer Unwuchtposition eines Winkel &thgr;0 (Unwuchtwinkel) in der Drehrichtung angezeigt durch einen Pfeil basierend auf, z. B., einem Gewindeloch 592a als eine Referenz, welches eines der in dem Halteflansch ausgebildeten Gewindelöcher 592 ist.

Wenn die Unwuchtposition erfasst wird basierend auf dem Gewindeloch 592a, welches als eine Referenz in dem Halteflansch 59 wie oben beschrieben ausgebildet ist, werden die in die Gewindelöcher 592a, 592b und 592c geschraubten Auswuchtgewichtschrauben 60 vorwärts und rückwärts bewegt, um die Unwucht zu korrigieren. Nachfolgend beschrieben ist ein Beispiel, wie die Korrektur ausgeführt wird.

In 9 wird eine Zentrifugalkraft P1 an der Unwuchtposition eines Winkels &thgr;0 von dem Referenzgewindeloch 592a ausgedrückt durch die folgende Formel (1), P1 = m0·r0·&ohgr;2(1) wobei m0 eine Unwuchtmasse ist, r0 ein Radius ist, bei welchem die Unwuchtmasse vorhanden ist und &ohgr; eine Winkelgeschwindigkeit ist.

Als nächstes wird die in das Refernzgewindeloch 592a geschraubte Auswuchtgewichtschraube 60 um &Dgr;r in der radialen Richtung bewegt z. B. in der Umfangsrichtung und dann wird die Unwucht in der Spindeleinheit, welche das Drehglied ist, erfasst durch Verwenden des Unwuchtdetektors auf die selbe Weise wie oben beschrieben. In diesem Fall, da die Auswuchtgewichtschraube 60 um &Dgr;r in der Umfangsrichtung bewegt wird, verschiebt sich die Unwuchtposition zu einer Position eines Winkels &thgr;1 von dem Referenzgewindeloch 592a in einem Bereich des Winkels &thgr;0.

Hier wird eine Zentrifugalkraft P2 in einer Position des Referenzgewindelochs 592a, welche sich erhöht hat, als Folge des Bewegens um &Dgr;r der Auswuchtgewichtschraube 60 in dem Referenzgewindeloch 592a in der Umfangsrichtung ausgedrückt durch die folgende Formel (2), P2 = m·&Dgr;r·&ohgr;2(2) wobei m eine Masse der Auswuchtgewichtschraube 60 ist.

Aus den Unwuchtwinkeln &thgr;0 und &thgr;1 und den Formeln (1) und (2) wird die folgende Formel (3) erhalten zum Finden des Unwuchtbetrags der Spindeleinheit, welche das Drehglied ist, P2·sin&thgr;1 = P1·sin(&thgr;0 – &thgr;1) m·&Dgr;r·&ohgr;2 sin&thgr;1 = m0·r0·&ohgr;2·sin(&thgr;0 – &thgr;1) m0·r0 = m·&Dgr;r·&ohgr;2·sin&thgr;1/&ohgr;2·sin(&thgr;0 – &thgr;1) m0·r0 = m·&Dgr;r·sin&thgr;1/sin(&thgr;0 – &thgr;1)(3)

Die in die Gewindelöcher 592a, 592b, 592c geschraubten Auswuchtgewichtschrauben 60 werden bewegt und angepasst in Richtung des Zentrums oder in Richtung des Umfangs, um den gemäß der obigen Formeln (3) gefundenen Unwuchtbetrag (m0·r0), auszugleichen, wodurch die Unwucht korrigiert wird.

Nachstehend beschrieben sind Beträge von Bewegung der Auswuchtgewichtschrauben 60, welche vorwärts und rückwärts bewegt werden sollen in den Gewindelöchern 592a, 592b, 592c, um Unwucht zu korrigieren.

Der Unwuchtbetrag (m0·r0), gefunden gemäß der Formeln (3) wirkt an der Unwuchtposition eines Winkels &thgr;0 von dem Referenzgewindeloch 592a und die Komponente Xa des Unwuchtbetrags (m0·r0) in der Richtung der X-Achse wird ausgedrückt durch die folgende Formel (4), Xa = (m0·r0)·sin&thgr;0(4)

Die Komponente Ya des Unwuchtbetrags (m0·r0) in der Richtung der Y-Achse wird ausgedrückt durch die folgende Formel (5) Ya = (m0·r0)·cos&thgr;0(5)

Um die Komponente Xa des Unwuchtbetrags (m0·r0) in der Richtung der X-Achse zu beseitigen, ist es ausreichend, dass die Auswuchtgewichtschrauben 60 in dem Gewindeloch 592b oder 592c oder in den Gewindelöchern 592b und 592c in der radialen Richtung bewegt werden. Hier, wenn die Auswuchtgewichtschraube 60 in dem Gewindeloch 592b gewegt wird und ihr Bewegungsbetrag genommen wird als R2, wird der Bewegungsbetrag R2 ausgedrückt durch die folgende Formel (6), m·R2·sin&thgr; + (m0·r0)·sin&thgr;0 = 0 R2 = – (m0·r0)sin&thgr;0/(m·sin&thgr;0) R2 = – &Dgr;r·sin&thgr;1·sin&thgr;0/{sin(&thgr;0 – &thgr;1)·sin&thgr;}(6) wobei 0 ein Winkel ist zwischen dem Gewindeloch 592a und dem Gewindeloch 592b und in der dargestellten Ausführungsform 120° ist.

Um die Komponente Ya des Unwuchtbetrags (m0·r0) in der Richtung der Y-Achse zu beseitigen, kann die Auswuchtgewindeschraube 60 in dem Gewindeloch 592a in der radialen Richtung bewegt werden. Hier, wenn die Auswuchtgewichtschraube 60 in dem Gewindeloch 592a genommen wird als R1, wird der Bewegungsbetrag R1 ausgedrückt durch die folgende Formel (7), m·R1 + (m0·r0)cos&thgr;0 + m·R2 cos&thgr;0 = 0 R1 + &Dgr;r·sin&thgr;1·cos&thgr;0/sin(&thgr;0 – &thgr;1) + R2·cos&thgr; = 0 R1 = – {&Dgr;r·sin&thgr;1·cos&thgr;0/sin(&thgr;0 – &thgr;1) + &Dgr;r·sin&thgr;1·sin&thgr;0·cos&thgr;}/{sin(&thgr;0 – &thgr;1)·sin&thgr;} R1 = – &Dgr;r·sin&thgr;1{cos&thgr;0·sin&thgr; + sin&thgr;0·cos&thgr;}/{sin(&thgr;0 – &thgr;1)·sin&thgr;}(7)

In der dargestellten Ausführungsform wie oben beschrieben, um die Unwucht zu korrigieren, wird die Auswuchtgewichtschraube 60 in dem Gewindeloch 592b um ein Betrag R2 in Richtung der zentralen Richtung bewegt (bewegt in Richtung des Zentrums, wenn der Wert, welcher gefunden wurde ein Minus (–) aufweist und wird in Richtung des Umfangs bewegt, wenn der Wert, welcher gefunden wurde, ein Plus (+) aufweist), und die Auswuchtgewichtschraube 60 in dem Gewindeloch 592a wird bewegt von der ursprünglichen Position um einen Betrag R1 in Richtung der zentralen Richtung (bewegt in Richtung des Zentrums, wenn der Wert, welcher gefunden wurde, ein Minus (–) aufweist und wird bewegt in Richtung des Umfangs, wenn der Wert, welcher gefunden wurde, ein Plus (+) aufweist). Somit kann die Unwucht korrigiert werden durch Bewegen der zwei Auswuchtgewichtschrauben 60.

Als nächstes wird eine weitere Ausführungsform des Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung bezugnehmend auf 10 beschrieben. Der Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung gemäß der in 10 gezeigten Ausführungsform ist derjenige, bei dem die Erfindung auf den Halteflansch 59 adaptiert wird. Zwei Gewindelöcher 592a und 592b sind in der radialen Richtung ausgebildet, wobei sie einen Phasenwinkel von 90° in der durch einen Pfeil angezeigten Drehrichtung beibehalten. Die Auswuchtgewichtschrauben 60 werden in die zwei Gewindelöcher 592a und 592b geschraubt. Wenn der Winkel &thgr; zwischen den Gewindelöchern 592a und 592b zu 90° gesetzt wird, wie bei dem in 10 gezeigten Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung, ist sin&thgr; 1 und cos&thgr; 0. Deshalb ist die Formel (6) zum Finden des Bewegungsbetrags R2 gegeben durch die folgende Formel (8), und dieser Bewegungsbetrag R2 ist ein Bewegungsbetrag, welcher nur die Komponente in der Richtung der X-Achse beseitigt. R2 = – &Dgr;r·sin&thgr;1·sin&thgr;/sin(&thgr;0 – &thgr;1)(8)

Des weiteren ist die Formel (7) zum Finden des Bewegungsbetrags R1 gegeben durch die folgende Formel (9), und dieser Bewegungsbetrag R1 ist ein Bewegungsbetrag, welche nur die Komponente in der Richtung der Y-Achse beseitigt. R1 = – &Dgr;r·sin&thgr;1·cos&thgr;0/sin(&thgr;0 – &thgr;1)(9)

Vorstehend wurde beschrieben das Verfahren des Korrigierens der Unwucht durch vorwärts- und rückwärtsbewegen der zwei Auswuchtgewichtschrauben 60. Indem die Formeln 6 und 7 oder die Formeln 8 und 9 zum Finden der Bewegungsbeträge R2 und R1 der Auswuchtgewichtschrauben 60 in dem Speicher des Unwuchtdetektors im voraus gespeichert wird und durch Eingeben von &Dgr;r und &thgr;, ist es möglich, die Bewegungsbeträge R2 und R1 auf der Anzeigeeinrichtung des Unwuchtdetektors anzuzeigen. Dann bewegt die Bedieneperson die Auswuchtgewichtschrauben 60vorwärts und rückwärts gemäß den angezeigten Bewegungsbeträgen R2 und R1, um einfach die Unwucht zu korrigieren.

Obwohl die Erfindung vorstehend beschrieben wurde durch die dargestellten Ausführungsformen, sollte beachtet werden, dass die Erfindung keineswegs nur auf die obigen Ausführungsformen beschränkt ist. In den dargestellten Ausführungsformen wurden drei Gewindelöcher bzw. zwei Gewindelöcher in dem Halteflansch 59 und in dem Sicherungsflansch 57 ausgebildet. Es ist jedoch ausreichend, dass die Gewindelöcher in einer Anzahl von zumindest zwei ausgebildet werden. Wenn die Gewindelöcher in einer Anzahl von zwei ausgebildet werden, muss der Winkel zwischen den zwei Gewindelöchern zu einem anderen Winkel gesetzt werden als 180°. Hier ist ein erwünschter Winkel 90°.

Des weiteren wurde in den dargestellten Ausführungsformen die Erfindung auf eine Plättchenschneidmaschine angewendet. Nicht nur darauf beschränkt, jedoch kann die Erfindung ausführlich angewendet werden auf die Schneidmaschinen zusätzlich zu der Plättchenschneidmaschine.

Der Mechanismus zum Anpassen der Rotationsauswuchtung der Schneidmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt Aktionen und Effekte wie nachstehend beschrieben.

Das heißt, gemäß der vorliegenden Erfindung, sind zumindest zwei Gewindelöcher in der radialen Richtung in dem äußeren Umfang des Halteflansches ausgebildet, welcher das Schneidwerkzeug in Kooperation mit dem Sicherungsflansch hält, und die Auswuchtgewichtschrauben sind jeweils in die Gewindelöcher geschraubt. Deshalb wird die Rotationsauswuchtung der Spindeleinheit angepasst durch geeignetes Vorwärts- oder Rückwärtsbewegen der Auswuchtgewichtschrauben entlang der Gewindelöcher in der radialen Richtung. Somit wird eine präzise Anpassung durchgeführt durch Verwenden der Auswuchtgewichtschrauben von einer Art. Außerdem ist der Anpassvorgang sehr einfach und sogar der Nichtfachmann kann einfach die Rotationsauswuchtung anpassen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung sind weiter zumindest zwei Gewindelöcher in der radialen Richtung in dem äußeren Umfang des Sicherungsflansches ausgebildet, die Auswuchtgewichtschrauben sind jeweils in die Gewindelöcher geschraubt und werden vorwärts- oder rückwärtsbewegt entlang der Gewindelöcher in der radialen Richtung, um die Rotationsauswuchtung der Spindeleinheit anzupassen. Wie in der vorstehenden Erfindung, wird deshalb eine genaue Anpassung erreicht durch Verwenden der Auswuchtgewichtschrauben von einer Art. Außerdem ist der Anpassvorgang einfach.


Anspruch[de]
Mechanismus zum Einstellen einer Rotationsauswuchtung einer Schneidmaschine, welcher umfasst eine Spindeleinheit (5) mit einer Drehspindel (56), einen Sicherungsflansch (57), welcher montiert ist an ein Ende der Drehspindel (56) und einen Werkzeugmontierabschnitt (560) an einem äußeren Umfang davon aufweist, ein ringförmiges Schneidwerkzeug (54) mit einem Montierloch (541a), welches zu dem Werkzeugmontierabschnitt (560) des Sicherungsflansches (57) passt, einen Halteflansch (59), der das Schneidwerkzeug (54) gegen den Sicherungsflansch (57) hält, um das Schneidwerkzeug (54) an der Drehspindel (56) zu halten, und Ausgleichgewichte (60), die vorgesehen sind, um sich zusammen mit der Drehspindel (56) zu drehen, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei Gewindelöcher (571a571c; 592a592c) in einem zylindrischen äußeren Umfang des Sicherungsflansches (57) oder des Halteflansches (59) ausgebildet sind, um sich von dem zylindrischen äußeren Umfang radial nach Innen zu erstrecken, und die Ausgleichgewichte (60) Ausgleichgewichtschrauben (60) sind, die auf eine solche Weise jeweils in die Gewindelöcher (571a571c; 592a592c) geschraubt sind, dass die Ausgleichgewichtschrauben (60) entlang der Gewindelöcher (571a571c; 592a592c) in radialen Richtungen des Sicherungsflansches (57) oder des Halteflansches (59) bewegbar sind, um die Rotationsauswuchtung der Spindeleinheit (5) einzustellen. Mechanismus zum Einstellen einer Rotationsauswuchtung einer Schneidmaschine nach Anspruch 1, wobei der Halteflansch (59) aus Aluminium hergestellt ist. Mechanismus zum Einstellen einer Rotationsauswuchtung einer Schneidmaschine nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Ausgleichgewichtschrauben (60) aus einem Metall hergestellt sind, das ein hohes spezifisches Gewicht hat. Mechanismus zum Einstellen einer Rotationsauswuchtung einer Schneidmaschine nach Anspruch 1 oder 2, wobei mit Außengewinden versehene Abschnitte (61) der Ausgleichgewichtschrauben (60) schmelzhaftend mit einem synthetischen Harz versehen sind, um eine erhöhte Antilockerungsfunktion aufzuweisen.






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