Verfahren zur Frequenzstabilisierung eines Lasers mit Hilfe der akusto-optischen Modulation und eine Vorrichtung zur Frequenzstabilisierung eines Lasers mit Hilfe der akusto-optischen Modulation
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Frequenzstabilisierung eines Laserstrahls, bei welchem ein Laserstrahl vorgebbarer Frequenz einer akusto-optischen Modulation unterworfen wird, die Intensitäten von frequenzmoduliertern Teilstrahlen ermittelt werden udn auf der Basis der Intensitätsunterschiede ein Fehlersignal ermittelt wird. Bei der akusto-optischen Modulation werden zwei Seitenbänder erzeugt, die symmetrisch zur Grundfrequenz des Laserstrahls in beide Richtungen um die Modulationsfrequenz frequenzverschoben sind. Die beiden Seitenbänder werden jeweils in zwei Teilstrahlen insbesondere gleicher Intensität aufgespalten, wobei die ersten Teilstrahlen einer Absorptionszelle (8) zugeführt und anschließend die Restintensitäten der Teilstrahlen der Seitenbänder bestimmt werden, während die Intensität der zweiten Teilstrahlen der Seitenbänder ohne Durchgang durch die Absorptionszelle (8) bestimmt wird. Auf der Basis der ermittelten vier Intensitätswerte wird ein Fehlersignal erzeugt, auf dessen Basis die Laserfrequenz korrigiert wird.
Beschreibung[de]
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Frequenzstabilisierung eines
von einem Laser abgegebenen Laserstrahls, bei welchem ein von einem Laser emittierter
Laserstrahl vorgebbarer Frequenz einer akusto-optischen Modulation unterworfen wird,
die Intensitäten von frequenzmodulierten Teilstrahlen ermittelt werden und
auf der Basis der Intensitätsunterschiede ein Fehlersignal ermittelt wird,
auf dessen Grundlage die Laserfrequenz korrigiert wird. Die Erfindung betrifft des
weiteren eine frequenzstabilisierte Laseranordnung zur Durchführung des Verfahrens.
Die Frequenzstabilisierung von Laserstrahlung ist ein Verfahren, das
bei Lasern eingesetzt wird, um einen Laserstrahl konstanter Frequenz zu erzeugen.
Dies ist z. B. besonders bei diodengepumpten Halbleiterlasern wichtig, da hier nicht
nur kurzfristige Frequenzschwankungen auftreten, sondern auch zusätzlich eine
Drift der Frequenz des Laserstrahls über die Zeit stattfindet.
Bei einem bekannten Verfahren nach S. Yokohama et al „A simple frequency lock of green YAG laser to Dopplerbroadened
spectrum of iodine molecules utilizing an acousto-optic frequency shifter", erschienen
in Meas Sci. Tech. 9, 1252–1258 (1998), erfolgt die Frequenzstabilisierung, indem ein Laserstrahl einem akusto-optischen
Modulator zugeführt wird, welcher durch Beugung neben einem unveränderten
Strahl (0. Beugung) ein frequenzverschobenes Seitenband (1. Beugung) des einfallenden
Laserstrahls erzeugt.
Die benutzte Modulationsfrequenz liegt bei 80 MHz, wodurch das Seitenband
genau um diese Frequenz relativ zur Grundfrequenz des Lasers verschoben wird. Die
beiden aus dem akusto-optischen Modulator austretenden Strahlen werden geteilt,
wobei der jeweils eine Teilstrahl der beiden Strahlen direkt einem Paar Fotodioden
zugeführt wird, um die Intensitäten mit einem Differenzverstärker
zu messen. Das Meßsignal wird einem PID-Regler zugeführt, der die Amplitude
der Modulationsspannung des akusto-optischen Modulators so einstellt, dass die Intensitäten
des Laserstrahls und des Seitenbandes nach dem Durchlauf durch den akusto-optischen
Modulator gleich groß sind. Der jeweils andere Teilstrahl trifft auf eine Absorptionszelle,
in der die beiden Strahlen frequenzabhängig unterschiedlich stark absorbiert
werden. Die Restintensität der aus der Absorptionszelle austretenden Strahlen
wird mit zwei Fotodioden ermittelt und mit einem Differenzverstärker ausgewertet.
Durch die vorherige Angleichung der Intensitäten der beiden aus dem akusto-optischen
Modulator austretenden Strahlen ist sichergestellt, dass die Restintensität
der beiden Strahlen nach Durchlauf durch die Absorptionszelle ein verlässliches
Maß für die Frequenzabweichung des Laserstrahls darstellt. Das so ermittelte
Fehlersignal wird einem PI-Regler zugeführt, der die Frequenzkorrektur des
zu stabilisierenden Lasers steuert.
Ein Problem bei dem beschriebenen Verfahren zur Frequenzstabilisierung
besteht darin, dass das erzeugte Fehlersignal stark abhängig ist von den Schwankungen
der Beugungseffizienz des akusto-optischen Modulators und somit von der Amplitude
der an dem akusto-optischen Modulator anliegenden Modulationsspannung. Dies erfordert
einen zusätzlichen Regelkreis basierend auf der Differenz der gemessenen Intensitäten
des Laserstrahls und des Seitenbandes zur Regelung der Modulationsspannung des akustooptischen
Modulators.
Die Modulationsfrequenz ist außerdem abhängig von der Frequenz
der anliegenden Modulationsspannung. Eine Abweichung kann zu einer ungewollten Frequenzverschiebung
des Seitenbandes führen.
Ein weiteres Problem besteht darin, dass der Nulldurchgang des Fehlersignals
nicht mit dem Maximum der Absorptionslinie korrespondiert, sondern um die Hälfte
der Modulationsfrequenz verschoben ist.
Auch hängt das so erzeugte Fehlersignal von den Schwankungen
der Absorptionseigenschaften der Absorptionszellen, die üblicherweise als Molekül-
bzw. Atomdampfzellen ausgeführt und damit besonders empfindlich für temperaturbedingte
Änderungen des Dampfdrucks sind, ab. Bei größeren Modulationsfrequenzen
des akusto-optischen Modulators steigt damit die Gefahr, dass das frequenzverschobene
Seitenband zunehmend in die steile Flanke der Absorptionslinie verschoben wird und
damit nicht mehr im vordefinierten Arbeitspunkt liegt. In diesem Fall ändert
sich die Absorption der einzelnen Strahlen, ohne dass sich die Frequenz der Strahlen
ändert. Daher muss die Temperatur der Absorptionszelle mit großem Aufwand
und hoher Genauigkeit stabilisiert werden.
Die Messung der Intensitätsdifferenz zwischen dem Laserstrahl
und dem Seitenband mit Fotodioden und einem Differenzverstärker ist mit einem
systematischen Fehler behaftet, weil die Fotodioden bauartbedingt oder durch Alterung
einen unterschiedlichen Nulldurchgang aufweisen. Dadurch kann die Empfindlichkeit
der Fotodioden unterschiedlich ausgeprägt sein und die Intensität
der betreffenden Strahlen um einen konstanten Wert verfälschen.
Das oben beschriebene Verfahren ist des weiteren nicht zur Frequenzstabilisierung
eines gepulsten Lasersystems mit niedrigen Repetitionsraten und kurzen Pulsdauern
geeignet, weil dabei der Signal-Rausch Abstand nicht ausreichend groß ausgeprägt
ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Frequenzstabilisierung
eines Lasers so zu gestalten, dass die Stabilität der Frequenz verbessert wird,
die Stabilisierung des akusto-optischen Modulators entfällt, der Aufwand der
Temperaturstabilisierung der Absorptionszelle verringert wird und das Verfahren
auch für gepulste Lasersysteme, auch mit niedrigen Repetitionsraten und kurzen
Pulsdauern, eingesetzt werden kann.
Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art
dadurch gelöst, dass bei der akusto-optischen Modulation zwei Seitenbänder
erzeugt werden, die symmetrisch zur Grundfrequenz des Laserstrahls in beide Richtungen
um die Modulationsfrequenz frequenzverschoben sind, die Seitenbänder zumindest
teilweise einer frequenzselektiven Absorptionszelle zugeführt werden, in welcher
die Seitenbänder frequenzabhängig unterschiedlich stark absorbiert werden,
und anschließend die Restintensität der Seitenbänder bestimmt wird,
wobei das Fehlersignal, auf dessen Basis die Laserfrequenz korrigiert wird, auf
der Grundlage der Unterschiede zwischen den Restintensitäten erzeugt wird.
Bei einer Vorrichtung ist die Aufgabe dadurch gelöst, dass der akusto-optische
Modulator ausgelegt ist, um zwei Seitenbänder zu erzeugen, die symmetrisch
zur Grundfrequenz des Laserstrahls in beide Richtungen um die Modulationsfrequenz
frequenzverschoben sind, die Absorptionszelle im Strahlengang von zumindest Teilstrahlen
der Seitenbänder angeordnet ist, um diese zu empfangen, und zwei Meßsensoren
hinter der Absorptionszelle angeordnet sind, um die Restintensität der Seitenbänder
nach Durchgang durch die Absorptionszelle zu messen
Der Grundgedanke dieser Erfindung beruht also darauf, daß zwei
symmetrische Seitenbänder des Laserstrahls erzeugt werden, die durch ihre Lage
in den Flanken der Absorptionslinie der Absorptionszelle bei geringer Änderung
der Frequenz eine große Änderung der Intensität erfahren und durch
ihre Symmetrie mögliche Fehlerquellen minimieren und besonders leicht auszuwerten
sind.
Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt darin,
dass es unempfindlich gegenüber Schwankungen von Amplitude und Frequenz der
Modulationsspannung sowie gegenüber Schwankungen der Absorptionseigenschaften
der Absorptionszelle ist, da sich diese Schwankungen auf beide Seitenbänder
im gleichen Maß auswirken.
Bei einer Ausführungsform der Erfindung wird als Fehlersignal
die Differenz der Restintensitäten der beiden Seitenbänder nach dem Durchgang
durch die Absorptionszelle herangezogen. Dadurch reduzieren sich Fehler, die z.
B. aufgrund von auftretenden Schwankungen der Modulationsspannung des akusto-optischen
Modulators sowie der Temperatur der Absorptionszelle entstehen, da diese sich auf
beide Seitenbänder im gleichen Maß auswirken.
Bei einer alternativen Ausführungsform werden die beiden Seitenbänder
jeweils in zwei Teilstrahlen insbesondere gleicher Intensität aufgespalten,
wobei die ersten Teilstrahlen der Absorptionszelle zugeführt und anschließend
die Restintensitäten der Teilstrahlen der Seitenbänder bestimmt werden,
während die Intensität der zweiten Teilstrahlen der Seitenbänder
ohne Durchgang durch die Absorptionszelle bestimmt wird, und wobei auf der Basis
der ermittelten vier Intensitätswerte das Fehlersignal erzeugt wird. Erreicht
wird dies, indem hinter dem akustooptischen Modulator ein Strahlteiler vorgesehen
und angeordnet ist, um die aus dem akusto-optischen Modulator austretenden Seitenbänder
in erste und zweite Teilstrahlen aufzuteilen, wobei im Verlauf der ersten Teilstrahlen
der Seitenbänder die Absorptionszelle und anschließend je ein Meßsensor
für die Strahlintensitäten nach Durchgang durch die Absorptionszelle angeordnet
sind, und im Verlauf der zweiten Teilstrahlen der zwei Seitenbänder Meßsensoren
für die Strahlintensitäten angeordnet sind.
Der Vorteil dieser Ausführungsform liegt darin, daß Schwankungen
der Intensität der Seitenbänder erfaßt und bei der Ermittlung des
Fehlersignals berücksichtigt werden können, wodurch sich die Meßgenauigkeit
erhöht.
Hier wird als Fehlersignal der Quotient aus der Differenz der Transmissionen
der beiden ersten Teilstrahlen durch die Absorptionszelle und der Summe der Transmissionen
herangezogen, wobei die Transmission sich als Quotient der Restintensität eines
Teilstrahls eines Seitenbandes nach Durchgang durch die Absorptionszelle
und der Intensität des Teilstrahls des jeweiligen Seitenbandes ohne Durchgang
durch die Absorptionszelle berechnet. Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
ist die Regeleinrichtung entsprechend ausgeführt.
In weiterer Ausgestaltung dieser Ausführungsform werden die gemessenen
Intensitäten der Strahlen in einen synchronisierten Meßverstärker
geleitet, wobei zur Synchronisation der Messung ein Triggersignal von dem Laser
verwendet wird. Entsprechend ist bei einer Vorrichtung in der Regeleinrichtung ein
als synchronisierter Verstärker ausgeführter Meßverstärker vorgesehen.
Die synchronisierte Messung erlaubt eine besonders vorteilhafte Auswertung der gemessenen
Intensitäten, da die Intensitäten mit einem hohen Signal-Rausch Verhältnis
gemessen werden können.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen,
dass die akusto-optische Modulation bei einer Modulationsfrequenz von mehr als 200
MHz durchgeführt wird. Durch die Wahl der größeren Modulationsfrequenz
wird ein Arbeitspunkt für die Meßanordnung eingestellt, bei dem die durch
die Frequenzabweichung hervorgerufenen Intensitätsänderungen besonders
groß und daher besonders genau zu erfassen sind. Bei einer Vorrichtung entsprechend
dieses Anspruchs ist der akusto-optische Modulator mit einer Modulationsfrequenz
von mehr als 200 MHz ausgeführt.
Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung wird der Laserstrahl
vor der akusto-optischen Modulation in einer optischen Faser kollimiert. Dadurch
wird der Laserstrahl parallel gerichtet, um eine Streuung des Strahls im weiteren
Verlauf des Verfahrens zu vermeiden und damit Meßfehler zu minimieren. Eine
entsprechende Vorrichtung weist eine optische Faser, die als Faserkoppler zur Kollimierung
ausgeführt ist, im Strahlrichtung vor dem akustooptischen Modulator auf.
Auch kann der aus dem Laser austretende Laserstrahl geteilt und nur
ein Teilstrahl für die Frequenzstabilisierung herangezogen werden. Dadurch
kann die Frequenz des Lasers stabilisiert werden, während er gleichzeitig genutzt
wird. Bei einer entsprechenden Vorrichtung ist im Strahlengang des Lasers eine Vorrichtung
zum Teilen des Laserstrahls angeordnet und nur ein Teilstrahl wird für die
Frequenzstabilisierung verwendet.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen,
dass das Fehlersignal in einen PID-Regler eingespeist wird und der PID-Regler die
Frequenzstabilisierung des Lasers vornimmt.
In einer weiteren Ausführungsform der Vorrichtung sind der Laser
und die Absorptionszelle so ausgeführt, dass die Grundfrequenz des Lasers näherungsweise
einer Absorptionslinie der Absorptionszelle entspricht. Die Auswahl einer Kombination
eines Lasers und einer Absorptionszelle mit einer Absorptionslinie im Bereich der
Laserfrequenz ist Voraussetzung, um frequenzselektive Absorption im Bereich der
Laserfrequenz feststellen zu können.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist eine Vorrichtung
zur Frequenzmodifikation in den Laserstrahl eingebracht und Laser und Absorptionszelle
sind so ausgeführt, dass die modifizierte Frequenz des Lasers näherungsweise
einer Absorptionslinie der Absorptionszelle entspricht. Durch die Modifikation der
Laserfrequenz wird die Auswahl für Kombinationen aus Laser und Absorptionszelle
auf einfache Art erweitert.
Der Laser kann als diodengepumpter Laser mit injection seeding und
einem Referenzlaser mit Nd:YAG Kristall ausgeführt sein. Der Nd:YAG Laser läßt
sich idealerweise aber nicht ausschließlich durch die Änderung der Temperatur
in seiner Frequenz steuern.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist die Laseranordnung
in Strahlrichtung vor dem akustooptischen Modulator angeordnet einen Frequenzverdoppler
auf und ist die Absorptionszelle als temperaturstabilisierte Joddampf Absorptionszelle
ausgebildet. Die doppelte Frequenz des Nd:YAG Lasers entspricht einer Absorptionslinie
von Joddampf, wodurch die Frequenzänderungen des Lasers zu deutlichen Änderungen
der Restintensität der Strahlen nach Durchgang durch die Absorptionszelle führen.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist die Absorptionszelle
als optischer Resonator mit schmalen Absorptions- bzw. Transmissionslinien ausgeführt.
Der optische Resonator kann als Fabry-Perot Interferometer mit äquidistanten
Transmissionslinien ausgeführt sein. Durch die Dimensionierung des Interferometers
kann eine geeignete Transmissionslinie im Bereich der Laserfrequenz erzeugt werden.
Auch können die Meßsensoren für die Strahlintensitäten
als kalibrierte Meßsensoren ausgebildet werden. Mögliche Empfindlichkeitsunterschiede
der Meßsensoren durch Streuung der Sensoreigenschaften oder Alterungseffekte
werden hierdurch ausgeglichen. In weiterer Ausgestaltung können die Meßsensoren
für die Strahlintensitäten als Fotodioden ausgebildet sein. Derzeit verfügbare
Fotodioden ermöglichen eine einfache Messung der Strahlintensitäten mit
hinreichender Genauigkeit.
Der Laser kann ein Pulslaser oder Dauerstrichlaser sein. Hierbei wird
dem Umstand Rechnung getragen, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung neben
der Frequenzstabilisierung von Dauerstrichlasern auch die Frequenzstabilisierung
von Pulslasern durchführen kann, welche hier zum ersten Mal mit Hilfe der akusto-optischen
Modulation realisiert wird. Pulslaser sind für viele Anwendungen eingesetzt,
weshalb auch die Frequenzstabilisierung von diesen Lasern an Bedeutung gewinnt.
Hinsichtlich weiterer Ausgestaltungen der Erfindung wird auf die Unteransprüche
sowie die nachfolgende Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der beigefügten
Zeichnung verwiesen. Von der Zeichnung zeigt
1 den schematischen Aufbau einer erfindungsgemäßen
Laseranordnung mit Frequenzstabilisierung,
2 den detaillierten internen Aufbau der Laseranordnung,
3a die simulierten Transmissionsspektren einer Absorptionslinie
von Joddampf bei einer Wellenlänge von 532,218 nm und einer akusto-optischen
Modulationsfrequenz von 250 MHz,
3b den Verlauf des Fehlersignals über die Frequenzverschiebung
der Laseranordnung,
4 das Fehlersignal bei einer über die Zeit linear
steigenden Frequenz der Laseranordnung,
5 das Transmissionsspektrum eines Fabry-Perot Interferometers.
Die 1 zeigt eine Laseranordnung gemäß
der vorliegenden Erfindung. Diese umfasst einen Seed-Laser 1, der mit einem
Nd:YAG Kristall ausgeführt und an einen Hauptlaser 2 zur Erzeugung
des Laserstrahls angeschlossen ist. Der Hauptlaser 2 ist als Pulslaser
ausgeführt, ohne dass dies eine Beschränkung für die Erfindung bedeuten
würde, und weist außerdem einen Triggerausgang auf. Im Strahlengang des
aus dem Hauptlaser 2 austretenden Laserstrahls befinden sich hintereinander
ein Ablenkspiegel 3 und ein erster Strahlteiler 4, der einen eintretenden
Laserstrahl in einen Nutzstrahl N und einen Meßstrahl M aufteilt. Der erste
Strahlteiler 4 weist einen Austritt für den Nutzstrahl N und einen
seitlichen Austritt für den Meßstrahl M auf. Der Meßstrahl M wird
als einziger weiter betrachtet und daher im weiteren auch als „Laserstrahl"
bezeichnet.
Im weiteren Verlauf des Meßstrahls M sind eine optische Kollimierungsfaser
5 gefolgt von einem akusto-optischen Modulator 6 mit einer Modulationsfrequenz
von 250 MHz und ein zweiter Strahlteiler 7 angeordnet. Der zweite Strahlteiler
7 ist so ausgeführt, daß er die eintreffenden Strahlen in zwei
Teilstrahlen gleicher Intensität aufteilt, die aus dem zweiten Strahlteiler
7 vorne und seitlich austreten.
Im Strahlengang der gerade durch den zweiten Strahlteiler
7 durchtretenden ersten Teilstrahlen befinden sich eine temperaturstabilisierte
Joddampf Absorptionszelle 8 und eine erste Meßanordnung bestehend
aus zwei Fotodioden 9, 10 und einer mittig angeordneten Strahlensenke
11.
Im Strahlengang der aus dem zweiten Strahlteiler 7 seitlich
austretenden zweiten Teilstrahlen befindet sich zunächst ein Ablenkspiegel
12, über den die zweiten Teilstrahlen auf eine zweite Meßanordnung
bestehend aus zwei seitlich angeordneten Fotodioden 13, 14 und
einer mittig angeordneten Strahlensenke 15 geleitet werden.
Die Fotodioden 9, 10, 13, 14 sind
mit dem Eingang eines synchronisierten Meßverstärkers 16 verbunden,
der zusätzlich mit dem Trigger des Hauptlasers 2 verbunden ist, und
die Ausgänge des Meßverstärkers 16 sind mit einem AD-Wandler
mit angeschlossenem Schalter 17 und einem nachgeschalteten PID-Regler
18 verbunden. Der PID-Regler 18 ist an die Frequenzsteuerung des
Seed-Lasers 1 angeschlossen.
Im Betrieb erzeugt der Seed-Laser 1 einen Laserstrahl mit
einer Referenzfrequenz, der dem Hauptlaser 2 zugeführt wird. Der Hauptlaser
2 wird dadurch zur Emission von gepulsten Laserstrahlen mit dieser Referenzfrequenz
angeregt. Die Frequenz des Laserstrahls wird innerhalb des Hauptlasers
2 verdoppelt, bevor der Laserstrahl aus dem Hauptlaser 2 austritt.
Der erste Strahlteiler 4 wird dazu genutzt, den Laserstrahl in einen Nutzstrahl
N und einen Meßstrahl M gleicher Frequenz aufzuteilen, von denen nur der Meßstrahl
M zur Ermittlung der Frequenz weiter betrachtet wird. Der Nutzstrahl N steht für
die geplante Nutzung zur Verfügung, während gleichzeitig die Frequenzstabilisierung
durchgeführt wird.
Im nächsten Schritt wird der Laserstrahl in der optischen Faser
5 parallel gerichtet, bevor er in den akustooptischen Modulator
6 eingeleitet wird.
In dem akusto-optischen Modulator 6, der bei einer Modulationsfrequenz
von 250 MHz betrieben wird, findet eine Beugung des einfallenden Laserstrahls statt,
so dass neben einem Hauptband mit der Grundfrequenz des einfallenden Laserstrahls
(0. Beugungsordnung) zwei Seitenbänder des einfallenden Laserstrahls mit einer
um die Modulationsfrequenz verschobenen Frequenz (1. Beugungsordnung) erzeugt werden.
Die Seitenbänder sind symmetrisch um die Grundfrequenz des Laserstrahls angeordnet.
Neben der Frequenzverschiebung der Seitenbänder weisen diese außerdem
eine Winkeldifferenz zu dem Laserstrahl auf, so dass die Strahlen räumlich
getrennt sind. Es treten also insgesamt drei betrachtete Strahlen aus dem akusto-optischen
Modulator 6 aus. Durch die speziellen Absorptionseigenschaften der Joddampf
Absorptionszelle 8 werden durch die eingestellte Modulationsfrequenz die
Seitenbänder in einem Frequenzbereich erzeugt, in dem sich die Absorption mit
der Frequenzänderung der eintretenden Strahlen besonders deutlich ändert.
Die drei aus dem Modulator 6 austretenden, gebeugten Strahlen
0. und 1. Ordnung werden dem zweiten Strahlteiler 7 zugeführt, der
die drei Strahlen jeweils in erste und zweite Teilstrahlen teilt, wobei die drei
ersten Teilstrahlen an der Vorderseite des Strahlteilers 7 austreten und
die drei zusätzlichen zweiten Teilstrahlen mit jeweils gleicher Frequenz und
Intensität seitlich ausgekoppelt werden. Die durch den zweiten Strahlteiler
7 gerade durchtretenden ersten Teilstrahlen treffen auf die Absorptionszelle
8, in der die ersten Teilstrahlen gemäß ihrer Frequenz unterschiedlich
stark absorbiert werden. Danach treffen die ersten Teilstrahlen der Seitenbänder
auf die Fotodioden 9, 10 der ersten Meßanordnung, mit denen
die Restintensitäten dieser Teilstrahlen bestimmt werden. Der Hauptstrahl mit
der Grundfrequenz 0. Ordnung trifft auf die Strahlsenke 11, von der er
vollständig absorbiert wird und ist daher für die weiteren Schritte ohne
Bedeutung.
Die aus dem zweiten Strahlteiler 7 seitlich austretenden
zweiten Teilstrahlen werden über den im Strahlengang befindlichen Ablenkspiegel
12 derart weitergeleitet, dass die den beiden Seitenbändern entsprechenden
zweiten Teilstrahlen auf die Fotodioden 13, 14 der zweiten Meßanordnung
treffen, welche die Intensität dieser Teilstrahlen messen, und der dem Hauptband
entsprechende Teilstrahl mit der Grundfrequenz auf die Strahlensenke 15
trifft, von der er vollständig absorbiert wird.
Die in den Fotodioden 9, 10, 13,
14 gemessenen Strahlintensitäten werden als Eingangssignale in den
synchronisierten Verstärker 16 geleitet. Durch das Triggersignal des
Hauptlasers 2 für die synchronisierte Messung wird wie beschrieben
die Messung der Intensitäten der Teilstrahlen verbessert.
Durch die Aufteilung der Strahlen der Seitenbänder im zweiten
Strahlteiler 7 in Teilstrahlen gleicher Intensität und die Messung
der Intensitäten dieser Teilstrahlen mit und ohne Durchgang durch die Absorptionszelle
8 kann das genau Maß der Transmissionen durch die Absorptionszelle
8 bestimmt werden. Die Bestimmung der Transmission durch die Absorptionszelle
8 führt bei bekannten Absorptionseigenschaften zur verbesserten Bestimmung
der Frequenzabweichung der Laseranordnung.
Die Ausgangssignale des synchronisierten Verstärkers
16 werden von dem AD-Wandler mit kombiniertem Schalter 17 sequentiell
eingelesen und in digitaler Form in den PID-Regler 18 eingespeist. Der
PID-Regler 18 benutzt als Fehlersignal den Quotienten aus der Differenz
der Transmissionen der beiden Seitenbänder und der Summe der Transmissionen
der beiden Seitenbänder und regelt die Frequenz des Seed-Lasers 1,
indem er die Temperatur des Nd:YAG Kristalls im Seed-Laser 1 beeinflusst.
2 zeigt den detaillierten Aufbau des zu stabilisierenden
Lasersystems. Das Lasersystem besteht aus dem Seed-Laser 1, der mit dem
Nd:YAG Kristall mit einer Wellenlänge von 1064 nm und einer Ansteuerung zur
Frequenzkorrektur ausgeführt ist, einem Hauptoszillator 19, einem
dreistufigen Verstärkersystem bestehend aus einem Vorverstärker
20, einer ersten Verstärkungsstufe 21 und einer zweiten Verstärkungsstufe
22, einem Frequenzverdoppler 23 und dem ersten Strahlteiler
4, die in dieser Reihenfolge im Strahlengang des im Seed-Laser
1 erzeugten Laserstrahls angeordnet sind. Des weiteren weist der Laser
Ablenkspiegel 24, 25, 26, 27, 28,
29 auf, die auf die Funktionsweise des Lasers keine Auswirkung haben und
lediglich durch die Bauform des Lasersystems bzw. dessen Darstellung bedingt sind.
Der Seed-Laser 1 erzeugt dabei den Laserstrahl mit den Referenzfrequenz,
der dem Hauptoszillator 19 zugeführt wird. Der erzeugte Laserstrahl
weist eine Wellenlänge von 1064 nm auf. Durch diesen Laserstrahl wird der Hauptoszillator
19 zur Emission von Laserstrahlen mit der Referenzfrequenz angeregt. Durch
die Ausführungsform des Lasers werden Laserpulse mit der Referenzfrequenz erzeugt,
die eine Pulsdauer von 18 ns und eine Pulsfrequenz von 100 Hz aufweisen. Der so
erzeugte Laserstrahl wird in dem dreistufigen Verstärkersystem verstärkt
und in dem Frequenzverdoppler 23, der als KTP Kristall ausgeführt
ist, in seiner Frequenz verdoppelt, sodass die Wellenlänge des emittierten
Strahls 532 nm beträgt. Der erste Strahlteiler 4 teilt den Laserstrahl
wie bereits beschrieben in einen Nutzstrahl N und einen Meßstrahl M gleicher
Frequenz auf.
3a zeigt die simulierten Transmissionsspektren einer
Absorptionslinie von Joddampf bei einer Wellenlänge von 532 nm und einer Modulationsfrequenz
von 250 MHz. Beide Spektren sind um die Modulationsfrequenz relativ zur Grundfrequenz
verschoben.
3b zeigt den Verlauf der Fehlersignalkurve basierend
auf den simulierten Transmissionsspektren. Die Berechnung des Fehlersignals folgt
der Formeln
wobei
e
das Fehlersignal darstellt
&tgr;+1
die Transmission des 1. Seitenbandes ist, bei dem die Frequenz um die Modulationsfrequenz
erhöht ist,
&tgr;–1
die Transmission des 1. Seitenbandes ist, bei dem die Frequenz um die Modulationsfrequenz
vermindert ist,
S+1
die Restintensität des 1. Seitenbandes, bei dem die Frequenz um die Modulationsfrequenz
erhöht ist, nach dem Durchgang durch die Absorptionszelle ist,
S–1
die Restintensität des 1. Seitenbandes, bei dem die Frequenz um die Modulationsfrequenz
vermindert ist, nach dem Durchgang durch die Absorptionszelle ist,
R+1
die Intensität des 1. Seitenbandes ist, bei dem die Frequenz um die Modulationsfrequenz
erhöht ist,
R–1
die Intensität des 1. Seitenbandes ist, bei dem die Frequenz um die Modulationsfrequenz
vermindert ist.
Bei der alternativen Ausführungsform, bei der nur die Restintensitäten
der Seitenbänder nach Durchgang durch die Absorptionszelle gemessen werden,
berechnet sich das Fehlersignal durch
e = S+1 – S–1.
4 zeigt den gemessenen Verlauf der Fehlersignalkurve
bei einer linearen Veränderung der Frequenz des Lasers über die Zeit.
Das gemessene Fehlersignal zeigt im Bereich der gewünschten zu stabilisierenden
Frequenz einen steilen Nulldurchgang, wodurch bereits geringe Änderungen der
Frequenz sicher erfaßt werden die Frequenz des Lasers korrigiert wird.
5 zeigt das Transmissionsspektrum eines Fabry-Perot
Interferometers, wie es in einer alternativen Ausführungsform aufgrund seiner
frequenzselektiven Absorptionseigenschaften verwendet werden kann.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert
erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen.
Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung.
Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Nicht-Patentliteratur
- S. Yokohama et al „A simple frequency lock of green YAG laser to Dopplerbroadened
spectrum of iodine molecules utilizing an acousto-optic frequency shifter", erschienen
in Meas Sci. Tech. 9, 1252–1258 (1998) [0003]
Anspruch[de]
Verfahren zur Frequenzstabilisierung eines von einem Laser abgegebenen
Laserstrahls, bei welchem ein von einem Laser emittierter Laserstrahl vorgebbarer
Frequenz einer akusto-optischen Modulation unterworfen wird, die Intensitäten
von frequenzmodulierten Teilstrahlen ermittelt werden und auf der Basis der Intensitätsunterschiede
ein Fehlersignal ermittelt wird, auf dessen Grundlage die Laserfrequenz korrigiert
wird, dadurch gekennzeichnet, dass bei der akusto-optischen Modulation zwei
Seitenbänder erzeugt werden, die symmetrisch zur Grundfrequenz des Laserstrahls
in beide Richtungen um die Modulationsfrequenz frequenzverschoben sind, die Seitenbänder
zumindest teilweise einer frequenzselektiven Absorptionszelle (8) zugeführt
werden, in welcher die Seitenbänder frequenzabhängig unterschiedlich stark
absorbiert werden, und anschließend die Restintensität der Seitenbänder
bestimmt wird, wobei das Fehlersignal, auf dessen Basis die Laserfrequenz korrigiert
wird, auf der Grundlage der Unterschiede zwischen den Restintensitäten erzeugt
wird.Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Fehlersignal
die Differenz der Restintensitäten der beiden Seitenbänder nach dem Durchgang
durch die Absorptionszelle (8) herangezogen wird.Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Seitenbänder
jeweils in zwei Teilstrahlen insbesondere gleicher Intensität aufgespalten
werden, wobei die ersten Teilstrahlen der Absorptionszelle (8) zugeführt
und anschließend die Restintensitäten der Teilstrahlen der Seitenbänder
bestimmt werden, während die Intensität der zweiten Teilstrahlen der Seitenbänder
ohne Durchgang durch die Absorptionszelle (8) bestimmt wird, und wobei
auf der Basis der ermittelten vier Intensitätswerte das Fehlersignal erzeugt
wird.Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass als Fehlersignal
der Quotient aus der Differenz der Transmissionen der beiden ersten Teilstrahlen
durch die Absorptionszelle (8) und der Summe der Transmissionen herangezogen
wird, wobei die Transmission sich als Quotient der Restintensität eines Teilstrahls
eines Seitenbandes nach Durchgang durch die Absorptionszelle (8) und der
Intensität des Teilstrahls des jeweiligen Seitenbandes ohne Durchgang durch
die Absorptionszelle (8) berechnet.Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass die gemessenen Intensitäten der Strahlen in einen synchronisierten Meßverstärker
(16) geleitet werden, wobei zur Synchronisation der Messung ein Triggersignal
von dem Laser verwendet wird.Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass die akusto-optische Modulation bei einer Modulationsfrequenz von mehr als 200
MHz durchgeführt wird.Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass der Laserstrahl vor der akusto-optischen Modulation in einer optischen Faser
(5) kollimiert wird.Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass der aus dem Laser austretende Laserstrahl geteilt wird und nur ein Teilstrahl
für die Frequenzstabilisierung herangezogen wird.Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,
dass das Fehlersignal in einen PID-Regler (18) eingespeist wird und der
PID-Regler (18) die Frequenzstabilisierung des Lasers vornimmt.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung mit einem Laser mit Frequenzssteuerung,
einem akusto-optischen Modulator (6), einer frequenzselektiven Absorptionszelle
(8), Meßsensoren (9, 10, 13,
14) für Strahlintensitäten und einer Regeleinrichtung für
die Laseranordnung, welche auf der Basis der gemessenen Intensitätsunterschiede
der Strahlen ein Fehlersignal ermittelt und damit die Laserfrequenz korrigiert,
die in dieser Reihenfolge in der Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls angeordnet
sind, dadurch gekennzeichnet, dass der akusto-optische Modulator (6) ausgelegt
ist, um zwei Seitenbänder zu erzeugen, die symmetrisch zur Grundfrequenz des
Laserstrahls in beide Richtungen um die Modulationsfrequenz frequenzverschoben sind,
die Absorptionszelle (8) im Strahlengang von zumindest Teilstrahlen der
Seitenbänder angeordnet ist, um diese zu empfangen, und zwei Meßsensoren
(9, 10) hinter der Absorptionszelle (8) angeordnet sind,
um die Restintensität der Seitenbänder nach Durchgang durch die Absorptionszelle
(8) zu messen.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung ausgebildet ist, um auf der Basis
eines Fehlersignals, das aus der Differenz der Restintensitäten der beiden
Seitenbänder nach Durchgang durch die Absorptionszelle (8) gebildet
ist, die Laserfrequenz zu regeln.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass hinter dem akusto-optischen
Modulator (6) ein Strahlteiler (7) vorgesehen und angeordnet ist,
um die aus dem akusto-optischen Modulator (6) austretenden Seitenbänder
in erste und zweite Teilstrahlen aufzuteilen, wobei im Verlauf der ersten Teilstrahlen
der Seitenbänder die Absorptionszelle (8) und anschließend je
ein Meßsensor (9, 10) für die Strahlintensitäten
der Seitenbänder nach Durchgang durch die Absorptionszelle (8) angeordnet
sind, und im Verlauf der zweiten Teilstrahlen der zwei Seitenbänder Meßsensoren
(13, 14) für die Strahlintensitäten angeordnet sind,
und wobei das Fehlersignal auf Basis der vier ermittelten Intensitätswerte
erzeugt wird.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß Ansprüche
12, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung ausgebildet ist, um auf der
Basis eines Fehlersignals, das aus dem Quotient aus der Differenz der Transmissionen
der Teilstrahlen der beiden Seitenbänder durch die Absorptionszelle (8)
und der Summe dieser Transmissionen gebildet ist, die Laserfrequenz zu regeln, wobei
die Transmission sich als Quotient der Restintensität eines Teilstrahls eines
Seitenbandes nach Durchgang durch die Absorptionszelle (8) und der Intensität
des Teilstrahls des jeweiligen Seitenbandes ohne Durchgang durch die Absorptionszelle
(8) berechnet.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung einen
als synchronisierter Verstärker ausgeführten Meßverstärker (16)
aufweist und die Meßsensoren (9, 10, 13,
14) mit den Eingängen dieses Verstärkers verbunden sind und ein
Triggersignal von dem Laser mit dem Synchronisationseingang des Verstärkers
(16) verbunden ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der akusto-optische Modulator
(6) mit einer Modulationsfrequenz von mehr als 200 MHz ausgeführt
ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass eine optische Faser (5),
die als Faserkuppler zur Kollimierung ausgeführt ist, im Strahlrichtung vor
dem akustooptischen Modulator (6) angeordnet ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlengang des Lasers
eine Vorrichtung zum Teilen des Laserstrahls (4) angeordnet ist und nur
ein Teilstrahl dem akusto-optischen Modulator (6) zugeführt wird.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die verwendete Regeleinrichtung
mit einem PID Regler (18) ausgeführt ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser und die Absorptionszelle
(8) so ausgeführt sind, dass die Grundfrequenz des Lasers näherungsweise
einer Absorptionslinie der Absorptionszelle (8) entspricht.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass eine Vorrichtung zur Frequenzmodifikation
(23) in den Laserstrahl eingebracht ist und Laser und Absorptionszelle
(8) so ausgeführt sind, dass die modifizierte Frequenz des Lasers
näherungsweise einer Absorptionslinie der Absorptionszelle (8) entspricht.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser als diodengepumpter
Laser mit injection seeding und einem Referenzlaser (1) mit Nd:YAG Kristall
ausgeführt ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß Anspruch 21,
dadurch gekennzeichnet, dass sie einen in Strahlrichtung vor dem akusto-optischen
Modulator (6) angeordneten Frequenzverdoppler (23) aufweist und
die Absorptionszelle (8) als temperaturstabilisierte Joddampf Absorptionszelle
(8) ausgebildet ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Absorptionszelle (8)
als optischer Resonator mit schmalen Absorptions- bzw. Transmissionslinien ausgeführt
ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß Anspruch 23,
dadurch gekennzeichnet, dass der optischer Resonator als Fabry-Perot Interferometer
mit äquidistanten Transmissionlinien ausgeführt ist.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass die Meßsensoren (9,
10, 13, 14) für die Strahlintensitäten als
kalibrierte Meßsensoren (9, 10, 13, 14)
ausgebildet sind.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Meßsensoren (9,
10, 13, 14) für die Strahlintensitäten als
Fotodioden (9, 10, 13, 14) ausgebildet sind.Eine frequenzstabilisierte Laseranordnung gemäß jedem der
Ansprüche 10 bis 26, dadurch gekennzeichnet, dass der Laser ein Pulslaser oder
Dauerstrichlaser ist.