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Dokumentenidentifikation EP1998906 22.01.2009
EP-Veröffentlichungsnummer 0001998906
Titel VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG EINES SUBSTRATS
Anmelder Applied Materials, Inc.,Santa Clara, CA 95054,US
Erfinder LU, Wei,Fremont, CA 94538,US;
TANG, Jianshe,San Jose, CA 95123,US;
KO, Alexander Sou-Kang,Santa Clara, CA 95050,US;
YEE, Nelson, A.,Redwood City, CA 94061,US;
XIE, Bo,Sunnyvale, CA 94086,US;
LEE, John Tseng-Chung,San Jose, CA 94138,US;
ENDO, Rick, R.,San Carlos, CA 94070,US
Vertreter derzeit kein Vertreter bestellt
Vertragsstaaten , AT, , BE, , BG, , CH, , CY, , CZ, , DE, , DK, , EE, , ES, , FI, , FR, , GB, , GR, , HU, , IE, , IS, , IT, , LI, , LT, , LU, , LV, , MC, , MT, , NL, , PL, , PT, , RO, , SE, , SI, , SK, , TR,
Sprache des Dokument en
EP-Anmeldetag 23.03.2007
EP-Aktenzeichen 077537983
WO-Anmeldetag 23.03.2007
PCT-Aktenzeichen PCT/2007/007199
WO-Veröffentlichungsnummer 2007111976
WO-Veröffentlichungsdatum 04.10.2007
EP-Offenlegungsdatum 10.12.2008
EP date of grant 10.10.2007
Veröffentlichungstag der Übersetzung europäischer Ansprüche 10.10.2007
Veröffentlichungstag im Patentblatt 22.01.2009
IPC-Hauptklasse B08B 3/00  (2006.01)  A,  F,  I,  20081008,  B,  H,  EP








IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
C Chemie; Hüttenwesen
D Textilien; Papier
E Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G Physik
H Elektrotechnik

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