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No Patent No Titel
1 DE60127017T2 Schleifaufschlämmungsrezyklierungsvorrichtung
2 DE60123156T2 Verfahren zur Polierflächenreinigung einer Poliermaschine
3 EP1142672 Aufschlämmungsrückfluss-Vorrichtung
4 EP1726402 Vorrichtung und Verfahren zum polieren von Halbleiterscheiben
5 EP1147856 Verfahren zur Polierflächenreinigung einer Poliermaschine
6 DE60017501T2 Verfahren und Vorrichtung zum Zuführen von Kühlmittel auf einer Schleifmaschine
7 EP1162033 Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen der Kanten von plattenförmigen Werkstücken
8 DE69828754T2 Aufschlämmung-Mischvorrichtung und Verfahren
9 EP1025956 Vorrichtung zum Schleifen der Messer von Zerspanern
10 DE69823194T2 POLIERFLÜSSIGKEITSSPENDER
11 EP0922534 Aufschlämmung-Mischvorrichtung und Verfahren
12 EP1063058 Verfahren und Vorrichtung zum Zuführen von Kühlmittel auf einer Schleifmaschine
13 DE19905583B4 Vorrichtung für die Zufuhr flüssiger Hilfsmittel mit abrasiven Bestandteilen bei der Feinbearbeitung optischer Flächen
14 EP0990486 POLIERFLÜSSIGKEITSSPENDER
15 EP1345735 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM CHEMISCH-MECHANISCHEN POLIEREN MIT STROMAUFWÄRTS UND STROMABWÄRTS FLÜSSIGKEITSSPEICHERN
16 EP1286808 CHEMISCH-MECHANISCHE POLIERVORRICHTUNG FÜR DIE HERSTELLUNG VON HALBLEITENDEN ANORDNUNGEN
17 DE10137577C1 Ventilmittel für eine Slurry-Auslassöffnung einer Vorrichtung für Chemisch-Mechanisches Polieren
18 EP1138439 Dispositif et procede de recyclage de suspension abrasive
19 EP1128934 CMP VORRICHTUNG MIT UNUNTERBROCHENER FILTRIERUNG
20 EP1127658 Aufschlämmung Mischvorrichtung
21 EP1110669 Appareil et procede pour couper des pièces avec injection d' un liquide entre pièce et outil
22 DE19907457A1 Verfahren zum Dosieren von Schleif- und Polierpasten
23 DE69703507T2 Verfahren und Vorrichtung zum Läppen
24 EP1053830 Vorrichtung zur Abgabe von Polierflüssigkeit während dem chemisch-mechanischen Polieren einer Halbleiterplatte
25 EP0798080 Verfahren und Vorrichtung zum Läppen
26 DE19919108A1 Zuführvorrichtung für Schleifmittel
27 DE19905583A1 Vorrichtung für die Zufuhr flüssiger Hilfsmittel bei der Feinbearbeitung optischer Flächen
28 EP0997230 Verfahren zum Dosieren von fliessfähigen Poliermitteln und Dosiervorrichtung hierfür
29 DE19845241A1 Verfahren zum Dosieren von fließfähigen Poliermitteln und Dosiervorrichtung hierfür
30 EP0947291 Aufschlämmungsrückfluss-Vorrichtung und Verfahren in einer chemisch-mechanischen Poliervorrichtung
31 DE19814333A1 Verfahren und Vorrichtung zum Versorgen von rotierenden Bearbeitungsscheiben mit Abriebstoffen
32 EP0897778 Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken, wobei eine Bearbeitungsflüssigkeit zwischen Werkstück und Werkzeug gespült wird
33 DE3814626C2 Maschine zum Schleifen und Polieren optischer Linsen
34 DE3125004C2 Einrichtung zur dosierbaren Versorgung der Läppscheibe einer Läppmaschine mit dem Läppmittelgemisch
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