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No Patent No Titel
1 DE69934408T2 SCHEIBENTRÄGER UND VERFAHREN ZUR BEFÖRDERUNG VON SCHEIBEN MIT MINIMALEM KONTAKT
2 DE102006008997A1 Verfahren und Vorrichtung zum Aufnehmen und/oder Transportieren von Substraten
3 DE102005026961B4 Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
4 DE102006028057A1 Vorrichtung zum Lagern von kontaminationsempfindlichen, plattenförmigen Gegenständen, insbesondere zum Lagern von Halbleiterwafern
5 DE60119119T2 Cluster-Tool mit zwei Entgasungs-/Kühlschleusenkammern
6 DE102004058108B4 Transfereinheit einer Bearbeitungsanlage
7 DE102005026961A1 Vorrichtung zum Behandeln von Substraten
8 DE102005017164A1 Einrichtung zum Handhaben scheibenförmiger Objekte
9 DE102005011129A1 Vorrichtung zum Handhaben von scheibenförmigen Substraten
10 DE102004002708B4 Sortierhandler für Burn-In-Tester
11 DE19964235B4 Substrattransportvorrichtung
12 DE19831578B4 Positioniergerät und Positionierverfahren
13 DE69635780T2 POLSTERUNG FÜR EINEN WAFERBEHÄLTER
14 DE69734104T2 KUPPLUNGSANORDNUNG FÜR DIE GESCHLOSSENE ÜBERTRAGUNG VON EINEM FLACHEN SUBSTRAT VON EINEM GESCHLOSSENEN BEHÄLTER ZU EINER BEHANDLUNGSEINRICHTUNG
15 DE102004058108A1 Transfereinheit einer Bearbeitungsanlage
16 DE102004010599B4 Übergabeeinrichtung in Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren
17 DE102004010599A1 Übergabeeinrichtung in Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren
18 DE19906805B4 Vorrichtung und Verfahren zum Transportieren von zu bearbeitenden Substraten
19 DE102004002708A1 Sortierhandler für Burn-In-Tester
20 DE19821338B4 Transportsystem und Verfahren zum Transportieren von Gegenständen in einen Arbeitsraum hinein oder aus einem Arbeitsraum heraus
21 DE19922936B4 Anlage zur Bearbeitung von Wafern
22 DE19921246C2 Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
23 DE19726305C2 System zum Transportieren von Objekten zwischen Umgebungen mit kontrollierten Bedingungen
24 DE19921245C2 Anlage zur Bearbeitung von Wafern
25 DE19951200C2 Transportvorrichtung
26 DE19921243C2 Anlage zur Bearbeitung von Wafern
27 DE19900461C2 Transportvorrichtung
28 DE19910478C2 Substrattransportverfahren und Substratbearbeitungssystem
29 DE19957758C2 Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von scheibenförmigen Substraten
30 DE19957758A1 Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von scheibenförmigen Substraten
31 DE19951200A1 Transportvorrichtung
32 DE19934301A1 Verfahren und Vorrichtung zum Transportieren eines Halbleiterwafers durch einen Behandlungsbehälter
33 DE19857142C2 Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenförmigen Gegenständen, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
34 DE19905882C1 Vorrichtung zum Transport von Gegenständen, insbesondere von Wafern und/oder Waferbehältern
35 DE19922936A1 Anlage zur Bearbeitung von Wafern
36 DE19921246A1 Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
37 DE19921245A1 Anlage zur Bearbeitung von Wafern
38 DE19921243A1 Anlage zur Bearbeitung von Wafern
39 DE19900804C2 Fördersystem
40 DE19916932C1 Einrichtung zur Handhabung eines Gegenstandes für die Be- und Entladung eines Reinstraumes
41 DE19913628A1 Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten
42 DE19907601A1 Verfahren sowie Anordnung zum kontinuierlichen Behandeln von Gegenständen
43 DE19900461A1 Transportvorrichtung
44 DE19900804A1 Fördersystem
45 DE19857142A1 Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenförmigen Gegenständen, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
46 DE19755694C2 Handhabungsvorrichtung für dünne, scheibenförmige Gegenstände
47 DE19832084C1 Vorrichtung zum Transportieren von Substraten
48 DE19841393A1 Vorrichtung für den Transport von kreisscheibenförmigen Substraten von einer Zuführstation über mehrere Zwischenstationen zu einer Endstation
49 DE19716123C2 Vorrichtung zum Bewegen von Substraten durch eine Substrat-Behandlungseinrichtung
50 DE29812696U1 Einrichtung zum Halten von scheibenförmigen Kunststoffsubstraten
51 DE19827124A1 Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten von und nach Behandlungsstationen
52 DE19910478A1 Substrattransportverfahren, Substrattransportvorrichtung und Substratbearbeitungssystem
53 DE19821019A1 Vorrichtung für den Transport von flachen, vorzugsweise kreisscheibenförmigen Substraten
54 DE19818479C1 Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten
55 DE19818478A1 Vorrichtung zum Fixieren von Substraten
56 DE19821742C1 Handhabungsvorrichtung
57 DE19913134A1 Übertragungsvorrichtung für Chipkomponenten
58 DE19812670A1 Vorrichtung zum Transport von Substraten
59 DE19805624A1 Schleuse zum Öffnen und Schließen von Reinraumtransport-Boxen
60 DE19906805A1 Vorrichtung und Verfahren zum Transportieren von zu bearbeitenden Substraten
61 DE19755694A1 Vorrichtung zum Transport dünner, scheibenförmiger Gegenstände
62 DE19831578A1 Positioniergerät und Positionierverfahren
63 DE19722408C1 Vorrichtung und Verfahren zum getrennten Transportieren von Substraten
64 DE19816199A1 Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung und darin verwendete Lagerungsvorrichtung
65 DE19729316A1 Platinenzuführeinrichtung für eine Umformanlage
66 DE19716123A1 Vorrichtung zum Bewegen von Substraten durch eine Substrat-Behandlungseinrichtung
67 DE19729525A1 Vorrichtung für den Transport von Substraten
68 DE19726305A1 System zum Transportieren von Objekten zwischen Umgebungen mit kontrollierten Bedingungen
69 DE19731174A1 Behälter und Träger für Halbleiterplättchen (Wafer)
70 DE29715535U1 Transportvorrichtung für Werkstücke in einer Vakuumanlage
71 DE29708315U1 Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung
72 DE29706556U1 Handlingsvorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer
73 DE29707657U1 Vorrichtung für den Transport von scheibenförmigen Substraten in einer Vakkuumbeschichtungsanlage oder für deren Magazinierung
74 DE29703020U1 Vorrichtung für den Transport von Substraten
75 DE29515925U1 Behandlungsanlage, insbesondere UV-Strahlen-Behandlungsanlage
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