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No Patent No Titel
1 DE102006028124B3 Mikrotechnologisches Bauteil mit funktionell befülltem Hohlraum und Verfahren zu dessen Herstellung
2 DE102006029627A1 Mikromechanisches System mit einstellbarem Schwingugnsverhalten und Verfahren zu seinem Betrieb
3 DE102005055206B4 Ratschenpumpe zur Erzeugung eines gerichteten Teilchenstroms
4 EP1855986 VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR RÄUMLICHE LICHTMODULATION
5 DE102007027127A1 Sensor für eine physikalische Grösse
6 DE102006028783A1 Poröser Siliziumkörper mit schichtartigem Aufbau, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung desselben
7 DE102006028435A1 Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung
8 DE102006026878A1 Premold-Gehäuse mit integrierter Schwingungsisolierung
9 DE102004058880B4 Integrierter Mikrosensor und Verfahren zur Herstellung
10 DE112005003370T5 MEMS-Verkapselung mit verbesserter Reaktion auf Temperaturänderungen
11 DE102006008315B4 Miniaturisierte Transportsysteme aus einem Formgedächtnis-Polymer und Verfahren zur Herstellung
12 DE102006024668A1 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
13 DE102006024671A1 Mikromechanisches Bauelement
14 DE102006022805A1 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
15 DE102006023701A1 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
16 DE102006022377A1 Mikromechanische Vorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung und Verwendung einer mikromechanischen Vorrichtung
17 DE60311616T2 Vorrichtung zur Kontrolle der Bewegung einer verkapselten Anordnung
18 DE102006020716A1 Mikrofluidik-Prozessor
19 DE60311982T2 HERTSELLUNGSVERFAHREN EINER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG IN EINEM HOHLRAUM MIT EINER BEDECKUNG
20 DE102006001493B4 MEMS-Sensor und Verfahren zur Herstellung
21 DE102006017482A1 Mikrofluidischer Aktor, Aktorverfahren und Verfahren zum Herstellen eines Mikroaktors
22 DE10214523B4 Mikromechanisches Bauelement mit magnetischer Aktuation
23 DE202007003877U1 Elektronische Vorrichtung
24 DE102006011545A1 Mikromechanisches Kombi-Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
25 DE102006010484A1 Bewegungssensor
26 DE102006008315A1 Miniaturisierte Transportsysteme aus einem Formgedächtnis-Polymer und Verfahren zur Herstellung
27 DE60215512T2 Mikrobearbeitete Ultraschallwandleranordnung
28 DE60309125T2 Verfahren zum Verschliessen von Öffnungen in einer Schicht
29 DE60123818T2 NANOELEKTROMECHANISCHE VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG BIOCHEMISCHER ANALYSEN
30 DE102006004218B3 Elektromechanische Speicher-Einrichtung und Verfahren zum Herstellen einer elektromechanischen Speicher-Einrichtung
31 DE102006004887A1 Vorrichtung zur Erzeugung von Flüssigkeitsströmungen und/oder Teilchenströmen, Verfahren zu ihrer Herstellung und zu ihrem Betrieb sowie ihre Verwendung
32 DE102005053722B4 Deckelwafer, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement mit einem solchen Wafer sowie Lötverfahren zum Verbinden entsprechender Bauelement-Teile
33 DE102006004922A1 Miniaturisiertes Federelement und Verfahren zu dessen Herstellung
34 DE102006004287A1 Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Herstellungsverfahren
35 DE69933380T2 Verfahren zum hermetischen Einkapseln von Mikrosystemen vor Ort
36 DE102006059091A1 Mikrooptisches reflektierendes Bauelement
37 DE202007003027U1 Vorrichtung zur Handhabung von Fluiden mit einem Flußsensor
38 DE102006001493A1 MEMS-Sensor und Verfahren zur Herstellung
39 DE102006002106A1 Mikromechanischer Sensor mit perforationsoptimierter Membran sowie ein geeignetes Hestellungsverfahren
40 DE102005062553A1 Mikromechanisches Bauelement mit Kappe
41 DE102005062554A1 Mikromechanisches Bauelement mit Kappe mit Verschluss
42 EP1786723 EINEN HOMOPOLARMOTOR VERWENDENDE EINGEBETTETEFLUIDMISCHVORRICHTUNG
43 DE102006002114A1 Mikromechanisches Sensorelement
44 DE102005061148A1 Mikromechanische Struktur mit einem Substrat und einem Thermoelement, Temperatur und/oder Strahlungssensor und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur
45 EP1785391 Multistabile elektromechanische Schalter und deren Herstellungsverfahren
46 DE102005060876A1 Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung
47 DE102005056204A1 Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
48 DE102005055206A1 Asymmetrisch texturierte Oberfläche aus Potenzialmulden, damit aufgebaute Ratschenpumpe sowie Vorrichtung zur Erzeugung elektrisch geladener Teilchenströme
49 DE102005046156B3 Vorrichtung mit Funktionselement und Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung
50 DE102005056759A1 Mikromechanische Struktur zum Empfang und/oder zur Erzeugung von akustischen Signalen, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur und Verwendung einer mikromechanischen Struktur
51 DE102005056780A1 Erzeugnis mit markiertem Schichtsystem
52 DE602004004612T2 Bauteil eines mikrofluidischen Ventils
53 DE102005055473A1 Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
54 DE102005055478A1 Mikromechanische Struktur zum Empfang und/oder zur Erzeugung von akustischen Signalen, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur und Verwendung einer mikromechanischen Struktur
55 DE102005046008B4 Halbleitersensorbauteil mit Sensorchip und Verfahren zur Herstellung desselben
56 DE102005053722A1 Deckelwafer, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement mit einem solchen Wafer sowie Lötverfahren zum Verbinden entsprechender Bauelement-Teile
57 DE102005053765A1 MEMS-Package und Verfahren zur Herstellung
58 DE102006038148A1 Standard-Spezimen zur Evaluierung einer Sondenform und Verfahren zu Evaluierung einer Sondenform
59 DE102005046008A1 Halbleitersensorbauteil mit Sensorchip und Verfahren zur Herstellung desselben
60 DE102005042664A1 Mikromechanisches Sensorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
61 DE102005042656A1 Mikropumpe und Herstellungsverfahren
62 DE102005040789A1 Mikromechanisches Bauelement mit anodisch gebondeter Kappe und Herstellungsverfahren
63 DE112005000625T5 System und Verfahren zum Direktverbinden von Substraten
64 DE102005038754A1 Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines derartigen Bauelementes
65 DE102005038755A1 Mikromechanisches Bauelement
66 DE102006018675A1 Dünnschichtstruktur und Herstellungsverfahren derselben
67 DE112005000510T5 MEMS-basierte Aktorvorrichtungen, die Elektrets verwenden
68 DE102005037741A1 Mikromechanisches Bauelement mit Anschlag
69 DE102005035058A1 Mikromechanische Vorrichtung, mikromechanischer Sensor und Verfahren
70 DE102005032635A1 Mikromechanische Vorrichtung mit zwei Sensorstrukturen, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
71 DE102006031047A1 Halbleitersensor und Herstellungsverfahren dafür
72 DE112005000276T5 Waferhäusungs- und Singulierungsverfahren
73 DE102005032927A1 Bewegungselement
74 DE102005032863A1 Mikroaktuator
75 DE202006012055U1 Verstärkte Gehäusestruktur für mikro-elektromechanische Systeme
76 DE102004061731B4 Programmierbarer Mikrostempel
77 DE102005023685A1 Abmessungen für einen MEMS-Abtastspiegel mit Rippen und sich Verjüngenden Kammzähnen
78 DE102005023699A1 Mikromechanisches Bauelement mit einer Membran und Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements
79 EP1414739 Mikrobearbeitete Ultraschallwandleranordnung
80 DE102005017452A1 Mikroverdampfer
81 DE102005058276A8 Sensorvorrichtung
82 DE102006009718A1 Sensorvorrichtung
83 DE102004062992A1 Schaltbares Hochfrequenz-MEMS-Element mit bewegbarem Schaltelement und Verfahren zu einer Herstellung
84 DE102004061731A1 Programmierbarer Mikrostempel auf Hydrogelbasis
85 DE102004058880A1 Integrierter Mikrosensor und Verfahren zur Herstellung
86 DE102005058276A1 Sensorvorrichtung
87 DE102004058064A1 Biochemisches Halbleiterchiplabor mit angekoppeltem Adressier- und Steuerchip und Verfahren zur Herstellung desselben
88 EP1640337 Vorrichtung und Verfahren, um mikromechanische Bauteile zu einer untereinander verbundenen Matrix anzuordnen
89 DE102004062874A1 Elektrokinetische Mikroleistungszelle, die einen Mikrofluidchip des Mehrfachkanaltyps verwendet
90 DE102005029841A1 Mikromechanische Vorrichtung mit integrierter Heizung
91 DE102005043906A1 Sensor vom kapazitiven Typ für eine physikalische Größe, der einen Sensorchip und einen Schaltkreischip aufweist
92 DE102005034927A1 Gelenkkonstruktion für eine Mikrospiegelvorrichtung
93 DE102004038166A1 Mikromechanischer Sensor
94 DE102005036264A1 Mikrovorrichtung mit einer Mikrosystemstruktur und Verfahren zur Herstellung derselben
95 DE102004037348A1 Fluid-Transport-Vorrichtung, Sensor-Anordnung, Fluid-Misch-Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Fluid-Transport-Vorrichtung
96 DE102005041577A1 Sensor für eine physikalische Grösse
97 DE102004039924A1 Mikromechanischer Sensor mit reduzierten elektrischen Streufeldern
98 DE102004036214A1 Mikrofluidik-Anordnung
99 EP1214271 BEWEGUNGSSENSOR IN EINEM MIKROELEKTROMECHANISCHEM BAUELEMENT
100 DE102005031408A1 Sensor für eine physikalische Grösse, sowie Verfahren zu dessen Herstellung
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