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1 DE102005055206B4 Ratschenpumpe zur Erzeugung eines gerichteten Teilchenstroms
2 DE102006028124B3 Mikrotechnologisches Bauteil mit funktionell befülltem Hohlraum und Verfahren zu dessen Herstellung
3 DE102006028783A1 Poröser Siliziumkörper mit schichtartigem Aufbau, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung desselben
4 DE102006023701A1 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
5 DE102006017482A1 Mikrofluidischer Aktor, Aktorverfahren und Verfahren zum Herstellen eines Mikroaktors
6 DE202007003877U1 Elektronische Vorrichtung
7 DE102006004887A1 Vorrichtung zur Erzeugung von Flüssigkeitsströmungen und/oder Teilchenströmen, Verfahren zu ihrer Herstellung und zu ihrem Betrieb sowie ihre Verwendung
8 DE102005053722B4 Deckelwafer, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement mit einem solchen Wafer sowie Lötverfahren zum Verbinden entsprechender Bauelement-Teile
9 DE102005062553A1 Mikromechanisches Bauelement mit Kappe
10 DE102005062554A1 Mikromechanisches Bauelement mit Kappe mit Verschluss
11 DE102005061148A1 Mikromechanische Struktur mit einem Substrat und einem Thermoelement, Temperatur und/oder Strahlungssensor und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur
12 DE102005056204A1 Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
13 DE102005056780A1 Erzeugnis mit markiertem Schichtsystem
14 DE102005055206A1 Asymmetrisch texturierte Oberfläche aus Potenzialmulden, damit aufgebaute Ratschenpumpe sowie Vorrichtung zur Erzeugung elektrisch geladener Teilchenströme
15 DE102005053722A1 Deckelwafer, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement mit einem solchen Wafer sowie Lötverfahren zum Verbinden entsprechender Bauelement-Teile
16 DE102005046008B4 Halbleitersensorbauteil mit Sensorchip und Verfahren zur Herstellung desselben
17 DE102006038148A1 Standard-Spezimen zur Evaluierung einer Sondenform und Verfahren zu Evaluierung einer Sondenform
18 DE102005046008A1 Halbleitersensorbauteil mit Sensorchip und Verfahren zur Herstellung desselben
19 DE102005042656A1 Mikropumpe und Herstellungsverfahren
20 DE102005040789A1 Mikromechanisches Bauelement mit anodisch gebondeter Kappe und Herstellungsverfahren
21 DE102005038755A1 Mikromechanisches Bauelement
22 DE102005038754A1 Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines derartigen Bauelementes
23 DE102005032635A1 Mikromechanische Vorrichtung mit zwei Sensorstrukturen, Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung
24 DE102006031047A1 Halbleitersensor und Herstellungsverfahren dafür
25 DE102005011863A1 Halbleitermikrovorrichtung
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