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1 DE102006029622A1 Verfahren zur Herstellung eines Bauelements, insbesondere ein mikromechanisches und/oder mikrofluidisches und/oder mikroelektronisches Bauelement und Bauelement
2 DE102006028916A1 Verfahren zur Herstellung poröser Partikel, nach diesem Verfahren hergestellte poröse Partikel sowie deren Verwendung
3 DE102006028914A1 Verfahren zur Herstellung von Mikronadeln aus porösem Material
4 DE102006025121A1 Darstellung von Mikro- und Nanoporen-Massenanordnungen durch Selbstorganisation von Nanopartikeln und Sublimationstechnik
5 DE102006024287A1 Mikromechanisches Bauelement mit porösen vertikalen Strukturen sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren
6 DE602004004513T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRONISCHEN VORRICHTUNG UND ELEKTRONISCHE VORRICHTUNG
7 DE102006022378A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und mikromechanisches Bauelement
8 DE102006019656A1 Monolithische Fluid-Ausstoßeinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
9 DE102007013410A1 Verfahren zum Ausbilden von Diamant-Mikrokanal-Strukturen und daraus resultierende Vorrichtungen
10 DE102006018027A1 Mikromechanisches Bauelement mit Waferdurchkontaktierung sowie entsprechendes Herstellungsverfahren
11 DE102006016811A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
12 DE102006007800B3 Strukturierungsverfahren und Bauteil mit einer strukturierten Oberfläche
13 DE102006004209B3 Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
14 DE102007007178A1 Kapazitive mikrobearbeitete Ultraschalltransducer und Verfahren zur Herstellung derselben
15 DE102006007729A1 Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Substrats, entsprechendes MEMS-Substrat und MEMS-Prozess unter Verwendung des MEMS-Substrats
16 DE102006003718A1 Fertigungsprozess für integrierte mikroelektro-mechanische Bauelemente
17 DE102005059905A1 Mikromechanisches Bauelement und Herstellungsverfahren
18 DE102006001386A1 Verfahren zum Herstellen einer Membran auf einem Halbleitersubstrat und mikromechanisches Bauelement mit einer solchen Membran
19 DE102005060870A1 Verfahren zum Verschließen einer Öffnung
20 DE112005001713T5 Ätzen mit elektrostatisch angezogenen Ionen
21 DE102005050782A1 Mikrodüsenplatte und Herstellungsverfahren
22 DE102005046058A1 Verfahren zur Herstellung einer eine monolithisch integrierte Schaltung unfassende Sensoranordnung und Sensoranordnung
23 DE102006040235A1 Verfahren zur Herstellung einer optischen Vorrichtung, sowie hiermit hergestellte optische Vorrichtung
24 DE102006018214A1 Verringerung von Oxiden in einem fluidbasierten Schalter
25 DE102005059773A1 Mikrostruktur-Herstellungsverfahren
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