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No Patent No Titel
1 DE102006004644B4 Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
2 DE102006019962A1 Imprint-Maske und Verfahren zum Ausrichten der Imprint-Maske
3 DE102006006890A1 Verfahren zur Herstellung einer Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran eines mikromechanischen Bauelements und entsprechende Prüfstruktur
4 DE102006004644A1 Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
5 DE102005025367A8 Verfahren zum Ausbilden einer Struktur mit optimierter Raumform
6 DE102005047082A1 Verfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen eines Werkstücks und seine Verwendung
7 DE102005025247B3 Verfahren zur Herstellung von Durchbrüchen in thermoplastischen Komponenten
8 DE102005026334A1 Verfahren zur Präzisionsbearbeitung der mittel- und langwelligen Oberflächenform eines Werkstück
9 DE102005024860A1 Mikroimprint/Nanoimprint-Vorrichtung für eine gleichmässige Pressung
10 DE102005025367A1 Verfahren zum Ausbilden einer Struktur mit optimierter Raumform
11 DE102005054404A1 Mikro/Nano-Prägevorrichtung
12 DE102005002006A1 Vorrichtung zur Herstellung von 3D-Strukturen
13 DE102004063311A1 Kreiseltisch zur Entkopplung mechanischer Schwingungen in der Mikro- und Nanofertigung
14 DE10331806B4 Verfahren zur Herstellung großflächiger mikrostrukturierter Funktionselemente
15 DE102004055223A1 Stempel für die Prägelithographie
16 DE102004053789A1 Prägeverfahren mit indirektem Fluiddruck
17 DE10357152A1 Bauelement
18 DE10392431T5 Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten
19 DE102004040067A1 Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Zugspannungsmembran mit einer Druckspannungsregion
20 DE10334240A1 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht
21 DE10334243A1 Mikromechanisches Verfahren zum Herstellen eines flexiblen Schichtelements und Bauelement mit flexiblem Schichtelement mit verringerter Neigung zum Ankleben
22 DE10331806A1 Verfahren zur Herstellung großflächiger mikrostrukturierter Funktionselemente
23 DE10329326B3 Miniaturisiertes MEMS-Package mit Kontakten auf der Wafer-Rückseite
24 DE10201640A1 Verfahren zur Herstellung einer Folie mit Oberflächenstrukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie eine diesbezügliche Folie
25 DE10146986A1 Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Prägewerkzeugen
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