No
Patent No
Titel
1
DE102006004644B4
Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
2
DE102006019962A1
Imprint-Maske und Verfahren zum Ausrichten der Imprint-Maske
3
DE102006006890A1
Verfahren zur Herstellung einer Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran eines mikromechanischen Bauelements und entsprechende Prüfstruktur
4
DE102006004644A1
Werkzeug und Verfahren zum Erzeugen einer Schicht mit mikrostrukturierter Außenfläche auf einer Substratoberfläche
5
DE102005025367A8
Verfahren zum Ausbilden einer Struktur mit optimierter Raumform
6
DE102005047082A1
Verfahren zur Mikrostrukturierung von Oberflächen eines Werkstücks und seine Verwendung
7
DE102005025247B3
Verfahren zur Herstellung von Durchbrüchen in thermoplastischen Komponenten
8
DE102005026334A1
Verfahren zur Präzisionsbearbeitung der mittel- und langwelligen Oberflächenform eines Werkstück
9
DE102005024860A1
Mikroimprint/Nanoimprint-Vorrichtung für eine gleichmässige Pressung
10
DE102005025367A1
Verfahren zum Ausbilden einer Struktur mit optimierter Raumform
11
DE102005054404A1
Mikro/Nano-Prägevorrichtung
12
DE102005002006A1
Vorrichtung zur Herstellung von 3D-Strukturen
13
DE102004063311A1
Kreiseltisch zur Entkopplung mechanischer Schwingungen in der Mikro- und Nanofertigung
14
DE10331806B4
Verfahren zur Herstellung großflächiger mikrostrukturierter Funktionselemente
15
DE102004055223A1
Stempel für die Prägelithographie
16
DE102004053789A1
Prägeverfahren mit indirektem Fluiddruck
17
DE10357152A1
Bauelement
18
DE10392431T5
Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten
19
DE102004040067A1
Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer Zugspannungsmembran mit einer Druckspannungsregion
20
DE10334240A1
Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht
21
DE10334243A1
Mikromechanisches Verfahren zum Herstellen eines flexiblen Schichtelements und Bauelement mit flexiblem Schichtelement mit verringerter Neigung zum Ankleben
22
DE10331806A1
Verfahren zur Herstellung großflächiger mikrostrukturierter Funktionselemente
23
DE10329326B3
Miniaturisiertes MEMS-Package mit Kontakten auf der Wafer-Rückseite
24
DE10201640A1
Verfahren zur Herstellung einer Folie mit Oberflächenstrukturen im Mikro- und Nanometerbereich sowie eine diesbezügliche Folie
25
DE10146986A1
Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Prägewerkzeugen
1
IPC
A
Täglicher Lebensbedarf
B
Arbeitsverfahren; Transportieren
C
Chemie; Hüttenwesen
D
Textilien; Papier
E
Bauwesen; Erdbohren; Bergbau
F
Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
G
Physik
H
Elektrotechnik
Anmelder
Datum
Patentrecherche
Copyright © 2008
Patent-De
Alle Rechte vorbehalten. eMail: info@patent-de.com