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1 DE69935351T2 Verfahren zum Abscheiden von Atomschichten
2 DE69636286T2 PLASMAUNTERSTÜTZTER CHEMISCHER REAKTOR UND VERFAHREN
3 DE96906164T1 VORRICHTUNG ZUM GENERIEREN EINES PLASMAS BEI PLASMAGEFÜHRTER MIKROWELLENVERSORGUNG
4 DE69634539T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG FÜR KALTWAND-CVD
5 DE69927146T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PROFILÄNDERUNG VON LÜCKEN MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS DURCH ANWENDUNG VON DIFFERENTIALPLASMAENERGIE
6 DE69827293T2 DAMPFPHASENABSCHEIDUNG VON ORGANISCHEN DÜNNEN SCHICHTEN BEI NIEDEREM DRUCK
7 DE69830310T2 MULTIFUNKTIONALER VERFAHRENSRAUM FÜR CVD-VERFAHREN
8 DE69920967T2 VERFAHREN ZUR CVD UNTER VERWENDUNG VON BI-ALKOXIDEN
9 DE69730861T2 FLASH-VERDAMPFER
10 DE69913906T2 Lichtundurchlässiger Siliziumkarbidwerkstoff hoher Reinheit, ein lichtundurchlässiger Bauteil für eine Halbleiterbehandlungsapparatur, und eine Halbleiterbehandlungsapparatur
11 DE202004008285U1 Atmosphärendruck-Plasma-Behandlungswerkzeug für breite Werkstücke
12 DE69432175T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR VERBRENNUNGS CVD VON FILMEN UND BESCHICHTUNGEN
13 DE69529916T2 TANTAL UND NIOBREAGENZIEN FÜR CVD UND BESCHICHTUNGSVERFAHREN
14 DE69808755T2 VORPRODUKT FÜR CVD
15 DE69901999T2 CHEMISCHES BESCHICHTUNGSVERFAHREN UNTER VERWENDUNG VON KATALYSATOREN AUF EINER OBERFLÄCHE
16 DE69710961T2 Komponenten peripher zum Sockel im Wege des Gasflusses innerhalb einer Kammer zur chemischen Gasphasenabscheidung
17 DE69709525T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ZINNOXIDBESCHICHTUNG AUF GLAS
18 DE69709270T2 Verfahren zur Verdampfung flüssiger Beschickungen und Verdampfer dafür
19 DE69428485T2 Gas-Zuführungssystem zur Bildung von Ablagerungen ausgehend von flüssigen Ausgangsprodukten
20 DE69522107T2 HERSTELLUNG VON KOHLENSTOFFBESCHICHTETEN BARRIEREFILMEN MIT ERHÖHER KONZENTRATION VON KOHLENSTOFFATOMEN MIT TETRAEDRISCHER KOORDINATION
21 DE69704514T2 Verdampfungsapparat
22 DE69427346T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ZUFÜHRUNG VON REAGENZIEN IN DAMPFFORM IN EINEN CVD-REAKTOR
23 DE69512371T2 MAGNETISCH VERBESSERTE MULTIPLE KAPAZITIVE PLASMAGENERATIONSVORRICHTUNG UND VERFAHREN
24 DE69510256T2 Verfahren zur Wiederherstellung von Formen zum Extrudieren keramischer Körper mit Honigwaben-Struktur
25 DE69411307T2 CVD Kammer
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