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1 DE102004036170B4 Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zur Vakuumbeschichtung und deren Verwendung
2 DE69927548T2 Vorrichtung zur Herstellung von Dünnfilmen
3 DE69927003T2 VAKUUMBEHANDLUNGSVORRICHTUNG
4 DE69829390T2 GASINJEKTIONS-SYSTEM FÜR PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG
5 DE102004036170A1 Vakuumbeschichtungsanlage und Verfahren zur Vakuumbeschichtung
6 DE69925434T2 Gasdichte Reaktionsgaseinlassvorrichtung eines Ofens zur Gasphaseninfiltration bzw. -Beschichtung
7 DE69923436T2 VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN VON SILIZIUM MIT HOHER KANTENABDECKUNG
8 DE102004020768A1 Plasmareaktor mit hoher Produktivität
9 DE69826171T2 Zuführvorrichtung für Prozessgas
10 DE102004013306A1 Beschichtungsverfahren
11 DE102004034103A1 Verfahren zur Abscheidung von Silizium und Germanium enthaltenen Schichten und Schichtfolgen unter Verwendung von nicht-kontinuierlicher Injektion von flüssigen und gelösten Ausgangssubstanzen über eine Mehrkanalinjektionseinheit
12 DE69915853T2 REGELUNG DES REAKTIONSMITTELÜBERSCHUSSES BEI CVD
13 DE69915866T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BESCHICHTUNGEN AUF TITANBASIS
14 DE69819760T2 CVD-KAMMER MIT INNERER VERKLEIDUNG
15 DE69909730T2 Verfahren zur Herstellung freistehender Gegenstände
16 DE69907299T2 Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Sättigung eines Gases
17 DE69812239T2 Verfahren und Vorrichtung zum Vorbeschichten einer Kammer zur Behandlung von Substraten
18 DE69904826T2 IONENERGIEDÄMPFUNG
19 DE69809899T2 WIRBELSCHICHTREAKTOR ZUR ABSCHEIDUNG EINES MATERIALES AUF EINER OBERFLÄCHE MITTELS CVD UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BESCHICHTETEN SUBSTRATS MIT DIESEM REAKTOR
20 DE69903466T2 GASVERTEILUNGSPLATTE MIT ZWEI GASKANÄLEN
21 DE69806650T2 Vorrichtung zur Abscheidung eines Films aus der Gasphase und Gasinjektionsdüse
22 DE69904000T2 Dünnfilm-Herstellungsvorrichtung zur Herstellung eines dünnen kristallinen Silicium-Films
23 DE69806578T2 WAFERHALTEVORRICHTUNG
24 DE69804808T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REDUZIERUNG VON VERUNREINIGUNGEN
25 DE69803096T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON DIAMANTARTIGEN KOHLENSTOFFSCHICHTEN AUF PARTIKELN
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