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No Patent No Titel
1 DE102007006786A1 Anlage und Verfahren zum Beschichten eines Substrates
2 DE102005061563A1 Anlage zur Behandlung von Substraten und Verfahren
3 DE102005058869A1 Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Bändern
4 DE60213038T2 Verfahren zur Herstellung optischer Schichten
5 DE60211470T2 Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von flexiblen Halbleiter-Einrichtungen
6 DE102005016405A1 Vorrichtung zur Vakuumbeschichtung von Substraten unterschiedlicher Größe
7 DE102004059200A1 Vorrichtung und Verfahren zum Kühlen von Substraten
8 DE102004051684A1 Bearbeitungsvorrichtung mit Hoch- oder Unterdruckkammer
9 DE102004043384A1 Beschichtetes Kunststoffsubstrat und Verfahren zur Herstellung beschichteter Kunststoffsubstrate
10 DE102004035335A1 Reinraumfähige Beschichtungsanlage
11 DE102004035336A1 Reinraumfähige Beschichtungsanlage
12 DE102004029677A1 Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
13 DE69820950T2 Vorrichtung zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase und Verfahren zu deren Reinigung
14 DE69711702T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER KOHLENSTOFFREICHEN BESCHICHTUNG AUF EINEM BEWEGLICHEN SUBSTRAT
15 DE69515993T2 CVD Reaktor zur Herstellung eines Leiterelements aus einem supraleitenden Oxyd
16 DE69327010T2 Verfahren zum Anbringen eines Kohlenstoff auf optischen Fasern
17 DE69418757T2 Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Beschichten eines metallischen Materials
18 DE19837851C1 Vorrichtung und Verfahren zum Überführen einer Probe aus einem Reaktionsgefäß in ein Ultrahochvakuum
19 DE69217233T2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN MITTELS PLASMAENTLADUNG
20 DE69304804T2 Verfahren und Vorrichtung zur Trockenbeschichtung
21 DE69301502T2 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes durch CVD
22 DE69117824T2 Vorrichtung und Verfahren zum Substratschutz während Substratbearbeitung
23 DE19522574A1 Reaktor zur Beschichtung von flächigen Substraten und Verfahren zur Herstellung derartiger Substrate
24 DE69017007T2 Selbstreinigende Stromregelöffnung.
25 DE69011052T2 Chemische Gasphasen-Beschichtungsanlage der In-Line-Bauart.
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