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1 DE69934565T2 Ultraschall-Füllstandmessung in einem chemischen Nachfüllsystem
2 DE60125338T2 GRADIERTE DÜNNE SCHICHTEN
3 DE60112372T2 Vorrichtung und Verfahren zur chemischen Gasphasenabscheidung
4 DE69728681T2 Verfahren und Vorrichtung zur epiktaktischem Wachsen von Objekten
5 DE60006095T2 REAKTORKAMMER FÜR EINEN EPITAXIEREAKTOR
6 DE60008241T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEM WACHSEN EINES MATERIALS AUF EINEM SUBSTRAT
7 DE60005712T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ZUFÜHREN VON VORLÄUFERN ZU MEHREREN EPITAXIALREAKTOREN
8 DE69900910T2 EINSPRITZVORRICHTUNG FÜR EINEN REAKTOR
9 DE69900865T2 VORRICHTUNG ZUR BEWEGUNG EINER ABGASRÖHRE IN EINEM ZYLINDRISCHEN REAKTOR
10 DE69804422T2 Verfahren und Vorrichtung zur Lieferung eines Gases an eine Epitaxie-Züchtung
11 DE10064944A1 Verfahren zum Abscheiden von insbesondere kristallinen Schichten, Gaseinlassorgan sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
12 DE69706248T2 Gasstromsteuerung für mehrfachige Zonen in einer Prozesskammer
13 DE69229870T2 VORRICHTUNG ZUM EINFÜHREN VON GAS, SOWIE GERÄT UND VERFAHREN ZUM EPITAXIALEN WACHSTUM.
14 DE69603126T2 Vorrichtung für epitaxiales Aufwachsen aus der Gasphase
15 DE69510138T2 Verfahren und Vorrichtung zur chemischen Gasphasenabscheidung
16 DE19801439A1 Vorrichtung und ein Verfahren zum Züchten einer epitaktischen Schicht aus Silizium
17 DE69310422T2 Vorrichtung für Dampfphasenepitaxie von zusammengesetzten Halbleitern
18 DE19536253C2 Vorrichtung zum epitaxialen Kristallaufwachsen
19 DE19510853A1 Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitermaterialien
20 DE69112506T2 CVD-Anlage und Verfahren zur Reduzierung der Teilchen-Verseuchung in einem CVD-Verfahren.
21 DE19536253A1 Vorrichtung zum epitaxialen Kristallaufwachsen
22 DE69205648T2 Abgasvorrichtung für Epitaxie-Anlage.
23 DE69108824T2 Kammer mit einer Warm- und einer Kaltzone und mindestens mit einem Gaszuführungsrohr.
24 DE69012409T2 Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitern durch Abscheidung aus der Gasphase.
25 DE68908335T2 Epitaxiereaktor mit einem verbesserten Gassammler.
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