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No Patent No Titel
1 DE10355573B4 Verfahren zum Erhöhen der Produktionsausbeute durch Steuern der Lithographie auf der Grundlage elektrischer Geschwindigkeitsdaten
2 DE60218755T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON STRUKTUREN AUF NANOMASSSTAB IN LICHTAUSHÄRTBAREN ZUSAMMENSETZUNGEN MIT EINEM ELEKTRISCHEN FELD
3 DE10243742B4 Verfahren zur Strukturierung von Halbleitersubstraten unter Verwendung eines Fotoresists
4 DE60311746T2 Verfahren zur Herstellung eines Musters und Muster mit daran haftenden Substanzen
5 DE60124377T2 EINRICHTUNG ZUM TRANSFERIEREN EINES MUSTERS AUF EIN OBJEKT
6 DE60215237T2 Flachdruckplattenvorläufer zur Direktbebilderung
7 DE69835587T2 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER FARBFILTERSCHICHT AUF EINER FLACHEN SCHIRMANZEIGESTRUKTUR
8 DE10339606B4 Vorrichtung zum Belichten der Innenwand einer Zylinderhülse zur Erzeugung von Rillenstrukturen auf zylindrischen Gleitflächen
9 DE10329867B4 Lithographieverfahren zum Verhindern einer lithographischen Belichtung des Randgebiets eines Halbleiterwafers
10 DE60121302T2 FORM ZUR NANOBEDRUCKUNG
11 DE102006040305A1 Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Gegenstandes sowie damit hergestellter Gegenstand
12 DE60307336T2 Druckstempel für Nanostrukturen
13 DE60029827T2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN IN ZUSAMMENHANG MIT DER HERSTELLUNG VON STRUKTUREN
14 DE60029445T2 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON POLYMERSCHICHTEN, UND ANWENDUNG DER VERFAHREN
15 DE60307516T2 LITHOGRAFIEVERFAHREN DURCH PRESSEN EINES SUBSTRATS IN EINEM NANOIMPRINT-PROZESS
16 DE102004044039A9 Verfahren zur Entwicklung und/oder Herstellung von Halbleiter-Chips
17 DE102005015271A1 Vorrichtung zur Erzeugung von Rillenstrukturen auf zylindrischen Gleitflächen in einem mehrzylindrigen Motorblock
18 DE102004008241B4 Enzymgestützte Nanolithografie
19 DE69734564T2 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER MONOSCHICHT VON TEILCHEN UND DAMIT HERGESTELLTE PRODUKTE
20 DE102004059147A1 Verfahren zum Übertragen von groben und feinen Strukturen in ein Substrat
21 DE60112292T2 DATENSPEICHERMEDIUM DAS EIN KOLLOIDALES METALL ENTHÄLT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
22 DE102004044039A1 Verfahren zur Entwicklung und/oder Herstellung von Halbleiter-Chips
23 DE19525745B4 Verfahren zur Bildung eines Abdeckungsmusters
24 DE102005044920A1 Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Gegenstandes, Materialsystem dafür sowie damit hergestellter Gegenstand
25 DE102004043908A1 Oberflächenstrukturierte polymere Substrate und ihre Herstellung
26 DE69826890T2 FOTOPOLYMERPLATTE FÜR DEN HOCHDRUCK
27 DE102004034572A1 Verfahren zum Herstellen einer Struktur auf der Oberfläche eines Substrats
28 DE102004059252A1 Aufbau diffraktiver Optiken durch strukturierte Glasbeschichtung
29 DE102004063246A1 Flüssige Zusammensetzung für die Immersions-Lithographie und Lithographieverfahren unter Verwendung derselben
30 DE202004019052U1 Aufbau diffraktiver Optiken durch strukturierte Glasbeschichtung
31 DE102004008241A1 Enzymgestützte Nanolithografie
32 DE10393581T5 Härtbare Schutzlackzusammensetzungen, daraus erhaltene gehärtete Produkte und Verfahren zu ihrer Herstellung
33 DE102004008782A1 Verfahren zum Glätten von Flächen in Strukturen durch Nutzung der Oberflächenspannung
34 DE19755712B4 Verfahren zum Erzeugen von Stanzstempeln für gestanzte IC-Mikrostrukturen
35 DE102004005247A1 Imprint-Lithographieverfahren
36 DE10355573A1 Verfahren und System zum Erhöhen der Produktionsausbeute durch Steuern der Lithographie auf der Grundlage elektrischer Geschwindigkeitsdaten
37 DE10339606A1 Photochemisches Behandlungsverfahren zur Erzeugung von Rillenstrukturen auf zylindrischen Gleitflächen
38 DE10343323A1 Stempellithografieverfahren sowie Vorrichtung und Stempel für die Stempellithografie
39 DE69823517T2 METHODE UND SYSTEM FÜR DIE HERSTELLUNG VON AKTIV-LICHT ABSORBIERENDEN LINSEN
40 DE102004015253A1 Verfahren zur Herstellung einer lichtempfindlichen lithographischen Druckplatte und Verfahren zur Bearbeitung derselben
41 DE10354181A1 Verfahren zur Herstellung von optischen Mikrostrukturen
42 DE60102376T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT IN EINEM INTEGRIERTEN SCHALTKREIS MIT FEINEN UND BREITEN STRUKTUREN
43 DE69822091T2 Photoempfindliches Polymer und dieses enthaltende chemisch verstärkte Resistzusammensetzung
44 DE10323350A1 Lithographisches Verfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen
45 DE202004014949U1 Vorrichtung zum Wärmebehandeln einer Beschichtung von Flachoffset-Druckplatten
46 DE69820139T2 Photoempfindliches Aufzeichnungsmedium
47 DE20122179U1 Vorrichtung zum automatischen Abgeben von Flüssigkeit für Prägelithographieprozesse
48 DE10304667A1 Verfahren zur Herstellung eines bebilderten Elements mittels UV-Excimer Laser
49 DE69819445T2 Verfahren zur Herstellung eines Musters auf einem Substrat
50 DE10261845A1 Verfahren zur Behandlung eines Resistsystems und Vorrichtung dafür
51 DE10247011A1 Mehrschichtfolie mit UV-Lackschicht
52 DE19512776B4 Verfahren zum Bilden eines feinen Musters
53 DE69718998T2 TROCKEN FLACHDRUCKPLATTE
54 DE69812824T2 Verpackung von photoempfindlichen planographischen Druckplatten
55 DE69904657T2 Herstellung von Pigment-Farbfilter-Anordnungen
56 DE10208449A1 Verfahren zur Erhöhung der Ätzresistenz und zur Verkleinerung der Loch- oder Grabenbreite einer Fotoresiststruktur unter Verwendung von Lösungsmittelsystemen geringer Polarität
57 DE10208448A1 Lithografieverfahren zur Verringerung des lateralen Chromstrukturverlustes bei der Fotomaskenherstellung unter Verwendung chemisch verstärkter Resists
58 DE69527965T2 VERFAHREN UM DIE OBERFLÄCHEN KLEBRIGKEIT EINER RELIEFDRUCKPLATTE AUS PHOTOHARZ ZU ELIMINIEREN
59 DE10142590A1 Verfahren zur Seitenwandverstärkung von Resiststrukturen und zur Herstellung von Strukturen mit reduzierter Strukturgröße
60 DE69900384T2 KOSTENGÜNSTIGER MIKROBIEGEBALKEN AUS PHOTOPLASTISCHEM MATERIAL
61 DE69713565T2 Thermisch bebilderbares Material
62 DE69712041T2 HERSTELLUNG VON BEDECKTEN MIKROKANÄLEN
63 DE10201818A1 Verfahren zum photographischen Eingravieren mit hoher Auflösung auf Metall
64 DE69709046T2 VERFAHREN ZUM KONTAKTDRUCKEN AUF MIT METALLEGIERUNG BESCHICHTETEN POLYMERFOLIEN
65 DE69801570T2 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG OPTISCHER STÄBE MIT DREIDIMENSIONAL STRUKTURIERTEN ENDFLÄCHEN
66 DE69428821T2 Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur und einer Röntgenstrahlmaske
67 DE10135351A1 Belichtungsverfahren
68 DE69705137T2 Blindplatte für den Offsetdruck
69 DE69612547T2 DRUCKENTWICKLUNGSGERÄT
70 DE69231756T2 Optisches Gerät und Verfahren zu seiner Herstellung
71 DE69132442T2 VERFAHREN UND MATERIAL ZUM BILDEN VON TEXTURIERTEN DICKEN FILMARTIGEN MUSTERN
72 DE69703326T2 Optisches Aufzeichnungsmittel und -verfahren
73 DE69515566T2 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines optischen Bauelements
74 DE19860671A1 Verfahren zur Herstellung einer farbigen Fotomaske sowie Fotomaske mit nebeneinanderliegenden unterschiedlichen Farbfilterbereichen
75 DE69421797T2 TROCKENFLACHDRUCKPLATTE
76 DE19915899A1 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und durch dieses Verfahren hergestellte Halbleitervorrichtung
77 DE69604034T2 Positiv arbeitende Fotoresistzusammensetzung
78 DE19820049A1 Thermomechanisches Verfahren zum Planarisieren einer fototechnisch strukturierbaren Schicht, insbesondere Verkapselung für elektronische Bauelemente
79 DE19843089A1 Auflösungsinhibitor eines chemisch verstärkten Photoresists und diesen enthaltende Photoresistzusammensetzung
80 DE19843179A1 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtungund dadurch hergestellte Halbleitervorrichtung
81 DE19708472C2 Herstellverfahren für chemische Mikroreaktoren
82 DE19820106A1 Wiederbeschreibbares wärmeempfindliches Farbbildspeichermedium und Verfahren zur Herstellung eines Farbbildes
83 DE69032140T2 Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters für optische Elemente
84 DE19708472A1 Herstellverfahren für chemische Mikroreaktoren
85 DE19705909A1 Neuartige Dünnschichten für die Mikrosystemtechnik und Mikrostrukturierung sowie ihre Verwendung
86 DE69409094T2 AUF DER DRUCKPRESSE ENTWICKELBARE LITHOGRAPHISCHE DRUCKPLATTEN
87 DE69222701T2 Herstellungsverfahren für mikromechanische Elemente
88 DE69219865T2 Verfahren zur Herstellung von Tintenstrahl-Druckköpfen
89 DE69310103T2 Verbesserungen bezüglich der Bilderzeugung
90 DE69500271T2 Verfahren zur Herstellung eines Stanzmessers
91 DE19542658A1 Integrierte Formeinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
92 DE69214364T2 Photovernetzbare Harzzusammensetzung, holografisches Aufzeichnungsmaterial und holografisches Aufzeichnungsverfahren
93 DE19612956A1 Verfahren zur Bildung einer schwarzen Matrix einer Flüssigkristalldisplayvorrichtung
94 DE69026661T2 Lichtempfindliche Mikrokapseln mit einer polymerisierbaren Verbindung und Pigmentpartikeln
95 DE68926517T2 Lichtempfindliches Material und Bilderzeugungsverfahren
96 DE68925321T2 Bildaufzeichnungsvorrichtung
97 DE69021787T2 Lichtempfindliches Material, das Silberhalogenid, Reduktionsmittel, eine polymerisierbare Verbindung und einen Basenvorläufer enthält.
98 DE68923994T2 Verfahren zur Herstellung von Druckplatten.
99 DE68922963T2 Lichtempfindliche Harzzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Phasenhologrammen mit dieser Zusammensetzung.
100 DE68918768T2 Hologrammfilm des Volumenphasentyps und lichtempfindliche, dafür verwendete Harzzusammensetzung.
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