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1 DE102006036488A1 Optisches System, insbesondere Projektionsobjektiv in der Mikrolithographie
2 DE102006036064A1 Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage mit Wellenlängen
3 DE102006034709A1 Beleuchtungssystem für die Mikro-Lithographie, Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Beleuchtungssystem, mikrolithographisches Herstellungsverfahren für Bauelemente sowie mit diesem Verfahren hergestelltes Bauelement
4 DE102006034755A1 Optische Vorrichtung sowie Verfahren zur Korrektur bzw. Verbesserung des Abbildungsverhaltens einer optischen Vorrichtung
5 DE602004006281T2 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR LITHOGRAPHIE DURCH EXTREM-ULTRAVIOLETTSTRAHLUNG
6 DE602006000087T2 Verfahren zur Herstellung von Mustern
7 DE102006022958A1 Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsbelichtungsverfahren und Verwendung eines Projektionsobjektivs
8 DE102006023876A1 Optische Abbildungseinrichtung
9 DE602004005210T2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MUSTERN MIT GENEIGTEN FLANKEN MITTELS FOTOLITHOGRAPHIE
10 DE102007021649A1 Verfahren zur Korrektur von optischen Umgebungseffekten, optisches Filter und Verfahren zur Herstellung eines optischen Filters
11 DE102007022571A1 Belichtungssystem und Fotolithografiegerät
12 DE602004004468T2 Anordnung zum zweiseitigen Beleuchten einer gedruckten Schaltungsplatte und Vorrichtung mit wenigstens einer solchen Anordnung
13 DE602005000147T2 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
14 DE102006011140A1 Prozesskontrollstreifen und Verfahren zur Aufzeichnung
15 DE102006001435A1 Vorrichtung zur Beleuchtung und Inspektion einer Oberfläche
16 DE102006054335A1 Verfahren zur Bestimmung einer Belichtungsdosis und Belichtungsvorrichtung
17 DE102006033447A1 System und Verfahren für die Photolithographie in der Halbleiterherstellung
18 DE102006040275A1 Ausrichtmarken für Lithografie mit polarisiertem Licht und Verfahren zur Verwendung derselben
19 DE602004003015T2 Verfahren und Gerät zur Herstellung einer Schutzschicht auf einem Spiegel
20 DE102006027787A1 Projektionsbelichtungsanlage und Betriebsmethode dieser
21 DE102006031807A1 Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sowie Depolarisator
22 DE102006008708A1 Automatisierte Brennpunktrückkopplung für ein optisches Lithographiewerkzeug
23 DE602004000459T2 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
24 DE112004001942T5 Kombinierte Musterung mit Gräben
25 DE202004017044U1 Leuchte zur Belichtung von Siebdruckschablonen, Offsetdruckplatten, Flexodruckplatten, Inkjet-Beschichtungen o.dgl. sowie Vorrichtung zur Belichtung
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