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No Patent No Titel
1 EP1848004 Spiegel zur Fokussierung von EUV Strahlung und EUV Strahlungsquelle
2 DE112004000320A5 Reflektives optisches Element und EUV-Lithographiegerät
3 EP1846929 BEWEGUNGSEINRICHTUNG FÜR EINEN MONOCHROMATOR
4 EP1842209 RÖNTGEN- ODER NEUTRONEN-MONOCHROMATISIERER
5 EP1837883 Röntgenstrahlerzeugungsverfahren und Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung
6 EP1402542 ZWEILAGIGE SCHUTZSCHICHT
7 DE60308645T2 OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN DAZU
8 EP1829052 MEHRSCHICHTIGER SPIEGEL FÜR STRAHLUNG IM WEICHRÖNTGEN- UND XUV-WELLENLÄNGENBEREICH
9 EP1202291 Beleuchtungssystem mit einem Gitterelement
10 DE10304852B4 Röntgen-Monochromator für eine Röntgeneinrichtung
11 EP1815484 SYSTEM UND VERFAHREN FÜR EINE VERSCHACHTELTE SPIRAL-KONUS-FORMUNGSKOLLIMATION
12 EP1812935 DURCH EINBIEGUNG EINES MASTER-STÜCKS GEWONNENE OPTISCHE HOCHPRÄZISIONSOBERFLÄCHE
13 EP1399927 MEHRSCHICHTGITTER FÜR DIE MONOCHROMATISIERUNG UND SPEKTROSKOPIE
14 DE102006037281A1 Röntgenoptisches Durchstrahlungsgitter einer Fokus-Detektor-Anordnung einer Röntgenapparatur zur Erzeugung projektiver oder tomographischer Phasenkontrastaufnahmen von einem Untersuchungsobjekt
15 EP1798736 Leiter für ultrakalte Neutronen
16 EP1673785 PLASMAQUELLE GERICHTETER STRAHLEN UND ANWENDUNG DAFÜR IN DER MIKROLITHOGRAPHIE
17 DE602004003347T2 OPTISCHE RÖNTGENSTRAHLUNGSVORRICHTUNG MIT VERSTELLBARER KONVERGENZ
18 EP1782434 NEGATIV-BRECHUNGS-METAMATERIALIEN MIT KONTINUIERLICHEN METALLGITTERN ÜBER MASSE ZUR STEUERUNG UND LENKUNG VON ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG
19 DE102005057700A1 Röntgen-Optisches-Element
20 DE10306328B4 Röntgenmonochromator und Röntgenfluoreszenzspektrometer, in dem der Röntgenmonochromator verwendet wird
21 DE10305813B4 Röntgenmonochromator und Röntgenfluoreszenzspektrometer, in dem der Röntgenmonochromator verwendet wird
22 DE102004059285B4 Röntgenlinse
23 DE10254026B9 Reflektor für Röntgenstrahlung
24 EP1758132 Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren einer Röntgenlinse und Röntgengerät mit einer solchen Vorrichtung
25 EP1758131 Röntgenlinsenanordnung und Röntgenvorrichtung die diese einschliesst
26 DE69932934T2 VORRICHTUNG ZUR FOKUSSIERUNG VON RÖNTGENSTRAHLEN
27 DE10134267B4 Einrichtung zur Reflexion von Röntgenstrahlen
28 EP1739687 Röntgenmonochromator und Röntgenanalysator
29 EP1732086 VERARBEITUNGSVORRICHTUNG FÜR WEICHE RÖNTGENSTRAHLEN UND VERARBEITUNGSVERFAHREN FÜR WEICHE RÖNTGENSTRAHLEN
30 EP1732087 Optische Anordnung und zugehörige Vorrichtung
31 DE102006024584A1 Leiter für polarisierte Neutronen
32 EP1727158 Optisches Element für Strahlung im EUV- und/oder weichen Röntgenwellenlängenbereich und ein optisches System mit mindestens einem optischen Element
33 EP1597737 OPTISCHE RÖNTGENSTRAHLUNGSVORRICHTUNG MIT VERSTELLBARER KONVERGENZ
34 DE60026972T2 KRISTALLVORRICHTUNG FÜR RÖNTGENSTRAHLENOPTIK UND ZUGEHÖRIGES HERSTELLUNGSVERFAHREN
35 DE102005027422A1 Verfahren und Vorrichtung zur Reflexion von Strahlung im EUV- oder Röntgen-Wellenlängenbereich sowie Verfahren zur Herstellung eines Materials mit einem dafür geeigneten Brechungsindex
36 DE60213994T2 WELLENLÄNGEN-DISPERSIVES RÖNTGENFLUORESZENZ-SYSTEM MIT FOKUSIERENDER ANREGUNGSOPTIK UND EINEM FOKUSIERENDEN MONOCHROMATOR ZUM AUFFANGEN
37 DE60305044T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG VON BOR BEI DER RÖNTGENFLUORESZENZ-SPEKTROSKOPIE
38 EP1468428 OPTISCHE ANORDNUNG UND VERFAHREN DAZU
39 DE102004031934B4 Strahlungsoptisches Bauelement
40 EP1701360 Röntgenlinse
41 DE102006011944A1 Einstellvorrichtung für die optische Achse einer Röntgenstrahlenlinse, Röntgenanalyseninstrument und Verfahren zur Einstellung der optischen Achse einer Röntgenstrahlenlinse
42 EP1099226 VORRICHTUNG ZUR FOKUSSIERUNG VON RÖNTGENSTRAHLEN
43 EP1402541 WELLENLÄNGEN-DISPERSIVES RÖNTGENFLUORESZENZ-SYSTEM MIT FOKUSIERENDER ANREGUNGSOPTIK UND EINEM FOKUSIERENDEN MONOCHROMATOR ZUM AUFFANGEN
44 DE10254026B4 Reflektor für Röntgenstrahlung
45 EP1100092 Vorrichtung zur Führung von Röntgenstrahlen
46 DE60025341T2 LINSENSYSTEM FÜR RÖNTGENSTRAHLEN
47 DE102005056829A1 Kristallmonochromator für Röntgenanalysengeräte
48 DE102004059285A1 Röntgenlinse
49 EP1535289 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESTIMMUNG VON BOR BEI DER RÖNTGENFLUORESZENZ-SPEKTROSKOPIE
50 EP1147522 KRISTALLVORRICHTUNG FÜR RÖNTGENSTRAHLENOPTIK UND ZUGEHÖRIGES HERSTELLUNGSVERFAHREN
51 EP1624467 Lithographiegerät und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
52 EP1614121 BEUGUNGS-RÖNTGENELEMENT
53 EP1169713 LINSENSYSTEM FÜR RÖNTGENSTRAHLEN
54 DE19718411B4 Röntgenstrahlen-Reflexionsvorrichtung
55 DE102004031934A1 Strahlungsoptisches Bauelement
56 EP1351258 Methode zur Auswahl der Schichtdicken eines reflektierenden Elements für elektromagnetische Strahlung im extremen ultravioletten Bereich
57 DE102004027347A1 Wellenlängenselektor für den weichen Röntgen- und den extremen Ultraviolettbereich
58 EP1584093 DEFORMIERBARES SYSTEM MIT EINEM PARALLELOGRAMMFÖRMIGEN TEIL UND EINEM BETÄTIGUNGSGLIED
59 DE60015346T2 MEHRSCHICHTIGE OPTIK MIT ABSTIMMBAREN BETRIEBSWELLENLÄNGEN
60 DE60201599T2 Mehrschichtspiegel für Strahlung im XUV-Wellenlängenbereich und Verfahren zu dessen Herstellung
61 EP1323170 RÖNTGENOPTISCHE ANORDNUNG
62 DE102004008676A1 Vorrichtung zur Fokussierung punktförmig ausgesendeter Röntgenstrahlen, insbesondere ultrakurzer Röntgenimpulse
63 EP1557844 Verwendung einer obersten Schicht auf einem Spiegel für ein Lithographiegerät, Spiegel und Lithographiegerät mit diesem sowie Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
64 DE102004002508A1 Steuerung und Regelung des Ionenstrahlprofils von Breitstrahlionenquellen durch getaktete Beamletsteuerung
65 EP1532639 OPTISCHES BAUELEMENT FÜR ENERGIEREICHE STRAHLUNG
66 EP1530222 Optisches Element, lithographische Vorrichtung mit einem solchen und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
67 DE20320792U1 Optische Anordnung und zugehörige Vorrichtung
68 EP1527461 OPTISCHE VORRICHTUNG AUS EINER VIELZAHL VON OPTISCHEN KRISTALLEN ZUM FÜHREN VON RÖNTGENSTRAHLEN
69 EP1526550 Spiegel für ein Lithographiegerät, Lithographiegerät mit einem solchen und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
70 EP1521272 Spiegel und Lithographiegerät mit Spiegel
71 EP1514279 OPTISCHE VORRICHTUNG FÜR RÖNTGENSTRAHLUNGSVERWENDUNGEN
72 EP1511043 Monochromatisierende röntgenoptische Anordnung
73 DE4423781B4 Material zur Beschichtung eines Neutronenleiters
74 EP1503386 Gekapselter Röntgenspiegel
75 DE10337996A1 Monochromatisierende röntgenoptische Anordnung
76 DE10334169A1 Gekapselter Röntgenspiegel
77 EP1496521 Spiegel und Lithographiegerät mit Spiegel
78 EP1475807 Kollektor mir hohem Wirkungsgrad für eine Laser-Plasma EUV-Quelle
79 DE69727370T2 Mehrstufiger Diffraktor hergestellt mit konstantem Stufenbreite Winkel (mehrstufiger Monochromator)
80 EP1200967 MEHRSCHICHTIGE OPTIK MIT ABSTIMMBAREN BETRIEBSWELLENLÄNGEN
81 EP1468427 NEUTRONENOPTISCHE BAUELEMENTANORDNUNG ZUR GEZIELTEN SPEKTRALEN GESTALTUNG VON NEUTRONENSTRAHLEN ODER -PULSEN
82 EP1390957 MEHRSCHICHTSPIEGEL FÜR XUV-STRAHLUNG UND VERFAHREN ZUR DESSEN HERSTELLUNG
83 EP1464061 SCHUTZSCHICHT FÜR HARTEN RÖNTGENSTRAHLEN AUSGESETZTE MEHRFACHSCHICHTEN
84 EP1076906 BELEUCHTUNGSSYSTEM INSBESONDERE FÜR DIE EUV-LITHOGRAPHIE
85 EP1446811 PROZESS ZUR HERSTELLUNG VON MEHRSCHICHTSYSTEMEN
86 DE10236640B4 Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung monochromatischer Röntgenstrahlung
87 EP1438725 OPTISCHES ELEMENT, VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG SOWIE LITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITER-BAUELEMENTS
88 DE10304852A1 Monochromator für eine Röntgeneinrichtung
89 EP1434240 Beleuchtungssystem insbesondere für die EUV-Lithographie
90 DE102004001183A1 Lichtquelle auf LED-Basis mit gleichmäßigem Lichtfeld und gut definierten Rändern
91 EP1422725 Reflektor für Röntgenstrahlung
92 DE10254026A1 Reflektor für Röntgenstrahlung
93 DE10160472B4 Röntgen-optisches System und Verfahren zur Abbildung einer Strahlungsquelle
94 EP0955641 Beleuchtungssystem insbesondere für die EUV-Lithographie
95 DE69723811T2 VERFAHREN ZUM AUFFANGEN VON IONEN IN IONENFALLEN UND IONENFALLE-MASSENSPEKTROMETERSYSTEM
96 EP1403882 Methode und Apparat zur Erzeugung paralleler Röntgenstrahlbündel und zugehöriges Röntgendiffraktometer
97 EP1397813 HYBRIDES OPTISCHES ELEMENT FÜR RÖNTGENSTRAHL-ANWENDUNGEN UND ZUGEHÖRIGES VERFAHREN
98 DE69909599T2 EINZELECKE KIRKPATRICK-BAEZ OPTISCHE STRAHLBEHANDLUNGSANORDNUNG
99 EP1394815 Lithographiegerät mit einem Mo/Si Mehrfachschichtenspiegel mit einer Schutzschicht
100 DE10242431A1 Element zur Fokussierung von elektromagnetischen Strahlen oder Strahlen von Elementarteilchen
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