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1 DE69737461T2 MAGNETISCHE VORRICHTUNG, INSBESONDERE FUER ELEKTRONZYKLOTRONRESONANZIONENQUELLEN, DIE DIE ERZEUGUNG GESCHLOSSENER OBERFLAECHEN MIT KONSTANTER MAGNETFELDSTAERKE B UND BELIEBIGER GROESSE ERMOEGLICHEN
2 EP0946961 MAGNETISCHE VORRICHTUNG, INSBESONDERE FUER ELEKTRONZYKLOTRONRESONANZIONENQUELLEN, DIE DIE ERZEUGUNG GESCHLOSSENER OBERFLAECHEN MIT KONSTANTER MAGNETFELDSTAERKE B UND BELIEBIGER GROESSE ERMOEGLICHEN
3 DE69733350T2 HOCHTETRAEDRISCHE AMORPHE KOHLENSTOFFFILME SOWIE VERFAHREN UND IONENSTRAHLQUELLE ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
4 EP0906636 HOCHTETRAEDRISCHE AMORPHE KOHLENSTOFFFILME SOWIE VERFAHREN UND IONENSTRAHLQUELLE ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
5 EP1450389 Multi-Mode-Metall-Ionenquelle mit der Struktur einer Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle mit radialer Ionenextraktion
6 DE69711764T2 Magnetfelderzeugungsvorrichtung und ECR Ionenquelle dafür
7 DE69524830T2 HOCHENERGIE-IONIMPLANTIERUNGSVORRICHTUNG VOM SCHWACH -ODER MITTELSTROMTYP UND VERWENDUNG EINER SOLCHEN VORRICHTUNG
8 EP0813223 Magnetfelderzeugungsvorrichtung und ECR Ionenquelle dafür
9 EP0967628 ECR-Ionenquelle 2,45GHz
10 EP0959487 "Multicusp"-Ionenquelle
11 EP0939968 ELEKTRONCYCLOTRONRESONANZ-IONENQUELLE ZUR ERZEUGUNG VON MEHRFACHGELADENEN IONEN IN EINER FEINDLICHEN UMGEBUNG
12 DE69130913T2 Quelle starkgeladener Ionen mit polarisierbarer Probe und mit Elektronzyklotronresonanz
13 DE68926923T2 Mikrowellenionenquelle
14 DE69210501T2 Elektroncyclotionresonanz-Ionenquelle vom Wellenleiter-Typ zur Erzeugung mehrfachgeladenen Ionen
15 DE69207641T2 Elektronzyklotronresonanz-Ionenquelle
16 DE69206543T2 Elektronzyklotronresonanz-Ionenquelle mit koaxialer Zuführung elektromagnetischer Wellen.
17 DE68921370T2 Electronzyklotronresonanz-Ionenquelle.
18 DE3789618T2 IONENERZEUGENDE APPARATUR, DÜNNSCHICHTBILDENDE VORRICHTUNG UNTER VERWENDUNG DER IONENERZEUGENDEN APPARATUR UND IONENQUELLE.
19 DE68914421T2 Verfahren und Vorrichtung unter Benutzung einer ECR-Quelle für die Herstellung von hochgeladenen, schweren Ionen.
20 DE3834984C2 Einrichtung zur Erzeugung von elektrisch geladenen und/oder ungeladenen Teilchen
21 DE3834984A1 Einrichtung zur Erzeugung von elektrisch geladenen und/oder ungeladenen Teilchen
22 DE0270667T1 DOPPELPLASMA-MIKROWELLENGERÄT UND OBERFLÄCHENBEARBEITUNGSVERFAHREN.
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