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No Patent No Titel
1 DE10047688B4 Ionenquelle
2 DE69723404T2 Elektrode
3 DE10047688A1 Ionenquelle
4 DE10112817A1 Ionenextraktionsanordnung
5 DE10049536A1 Ionenquellenanordnung
6 DE19846926C2 Verfahren und Vorrichtung zur Regelung des Ionenstroms eines Ionenbeschleunigers
7 DE19960314A1 Ionenstrahl-Bearbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Ionenquelle für diese
8 DE19821802A1 Vorrichtung für die Erzeugung von Ionen- und Elektronenstrahlen mit großem Querschnitt
9 DE19700856C2 Ionenquelle für eine Ionenstrahlanlage
10 DE19618734C2 Ionenquelle für eine Ionenstrahlanlage
11 DE19700856A1 Ionenquelle für eine Ionenstrahlanlage
12 DE19618734A1 Ionenquelle für eine Ionenstrahlanlage
13 DE69122526T2 Ionenstrahl-Steuersystem
14 DE69123062T2 Vorrichtung zum Ionisieren von Metallen hoher Schmelzpunkte verwendbar in mit Freeman oder ähnlichen Ionenquellen ausgerüstete Ionenimplantierungsgeräte
15 DE69303299T2 Steuerung der Strömungsdichte eines breiten Strahles
16 DE19518374A1 Verfahren zur hochfrequenzbetriebenen Magnetron-Glimmentladungsionisation, sowie Ionenquelle
17 DE69018018T2 Verfahren und Gerät zur Erzeugung eines elliptisch verteilten Ionenstrahls.
18 DE4334357A1 Sattelfeldquelle
19 DE68919671T2 Universelle Kaltkathoden-Ionenerzeugungs- und -beschleunigungsvorrichtung.
20 DE4312028A1 Flüssigmetall-Ionenquelle zur Erzeugung von Kobalt-Ionenstrahlen
21 DE4227164A1 Sputterionenquelle
22 DE4226299A1 Verfahren zur Erzeugung von Strahlen beliebiger, hochgeladener Ionen niedriger kinetischer Energie sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
23 DE4133121A1 Anordnung zur Erzeugung einer feinfokussierten niederenergetischen Ionensonde
24 DE4129264A1 Verfahren und Hohlkathode zur Erzeugung einer selbständigen Gasentladung in Ionenquellen
25 DE4105467A1 Verfahren zur Mikroflächenanalyse mittels eines fokussierten Cäsium-Ionenstrahls
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