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1 DE102006056990A1 Langlebiges Graphitverbindungselement und Verfahren zum Herstellen desselben
2 DE102006017423A1 Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen der Lage einer Kante eines Wafers
3 DE102006009394A1 Mehrlagenschichtsystem mit einer Schicht als Trennschicht zum Trägern von dünnen Wafern bei der Halbleiterherstellung
4 DE102006009353A1 Mehrlagenschichtsystem zum Trägern von dünnen Wafern bei der Halbleiterherstellung mit der Eigenschaft zum Haltern mittels elektrostatischer Aufladung
5 DE102005046736B4 Vorrichtung und Verfahren zum Beladen einer Sockel- bzw. Adapter-Einrichtung mit einem entsprechenden Halbleiter-Bauelement
6 DE102005056364B3 Bipolarer Trägerwafer und mobile, bipolare, elektrostatische Waferanordnung
7 DE202007003416U1 Automatisierungscarrier für Substrate, insbesondere für Wafer zur Herstellung siliziumbasierter Solarzellen
8 DE102005059850A1 Vorrichtung zum Reinigen und Trocknen von Wafern
9 DE102005051346A1 Träger für einen Wafer sowie Verfahren zur Handhabung des Trägers
10 DE102005046736A1 Vorrichtung und Verfahren zum Beladen einer Sockel- bzw. Adapter-Einrichtung mit einem entsprechenden Halbleiter-Bauelement
11 DE102005049598A1 Hybrid Chuck
12 DE102006035031A1 Verfahren zum Bearbeiten eines Halbleiterwafers
13 DE102005036821A1 Verfahren zum Transferieren und Vorrichtung zum Handhaben von elektronischen Bauelementen
14 DE102005042769A1 Verfahren und Vorrichtung zur Formkorrektur eines dünngeschliffenen Wafers
15 DE102005035031A1 Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen von integrierten Halbleiterschaltkreisen auf Wafern
16 DE102005032547A1 Wafer-Klemmanordnung zur Aufnahme eines Wafers während eines Abscheidungsverfahrens
17 DE102005021048A1 Vorrichtung zum Stabilisieren eines Werkstücks bei einer Bearbeitung
18 DE102005034062A1 Vorrichtung zum Aufnehmen und Ablegen eines Flip-Chips
19 DE102005024431A1 Trägerplatte mit Klebstofffolie und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauteilen unter Verwendung der Trägerplatte mit Klebstofffolie
20 DE102006012445A1 Verfahren zur Aufbewahrung eines Siliciumsubstrats mit einem darauf erzeugten Siliciumoxidfilm
21 DE102005046987A1 Testmagazin für Handler zum Testen von Halbleitervorrichtungen
22 DE102006007431A1 Durch Halbleitersilizium-Verfahrenstechnik gebildeter Probenträger
23 DE202006002998U1 Vorrichtung zum Ausrichten und Bearbeiten eines Wafers
24 DE102005055145A1 Eliminierung von systematischen Verlusten der Prozessausbeute durch präzise Justierung der Wafer-Platzierung
25 DE102005045081A1 Suszeptor
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