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No Patent No Titel
1 DE202007012384U1 Kammartiger Halter einer Halterungsvorrichtung für scheibenartige Substrate wie Solarzellenwafer
2 DE102006028809A1 Wafer-Träger-Anordnung, Schichtverbund zur Verwendung bei der Herstellung einer solchen Wafer-Träger-Anordnung sowie entsprechende Verfahren und Verwendungen
3 DE102005052798B4 Anordnung mit Leistungshalbleitermodulen und mit Vorrichtung zu deren Positionierung sowie Verfahren zur Oberflächenbehandlung der Leistungshalbleitermodule
4 DE602005001721T2 Eine Vorrichtung und ein Verfahren, um ein Gas in einem Lagerungscontainer zu ersetzen
5 DE102007020532A1 Mobiler, transportabler, elektrostatischer Substrathalter aus Halbleitermaterial
6 DE102006015089A1 System und Verfahren zur Scheibenhandhabung in Halbleiterprozessanlagen
7 DE112005001568T5 Antrieb und Transferroboter
8 DE102006059736A1 Ätzbeständige Wafer-Verarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben
9 DE112005001733T5 Ultraviolettbestrahlungseinrichtung
10 DE102005052798A1 Vorrichtung zur Positionierung und Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Leistungshalbleitermodulen
11 DE202005016216U1 Vorrichtung zum Temperieren eines Substrats
12 DE602004003254T2 PLASMAVERARBEITUNGSVORRICHTUNG
13 DE202005014918U1 Vorrichtung zum Temperieren eines Substrats
14 DE112005000621T5 Bipolare elektrostatische Haltevorrichtung
15 DE102006018644A1 Halbleiterwafer und Bearbeitungsverfahren für denselben
16 DE112004002610T5 Haltesystem für Halbleiterwafer und Verfahren davon
17 DE112004001044T5 Elektrostatische Aufspannvorrichtung mit Heizvorrichtung
18 DE202004011907U9 Ausrichtvorrichtung für einen Wafer und Waferbearbeitungsvorrichtung
19 DE202004020336U1 Mobiler, elektrostatischer Substrathalter
20 DE202004011907U1 Ausrichtvorrichtung für einen Wafer und Waferbearbeitungsvorrichtung
21 DE202004009975U1 Mobiler, elektrostatischer Substrathalter
22 DE202004010351U1 Mobiler, elektrostatischer Substrathalter
23 DE202004006092U1 Übergabe- und Ladestation für mobile, elektrostatische Substrathalter
24 DE202004003434U1 Mobiles, manuelles, elektrostatisches Handhabungsgerät
25 DE202004005378U1 Trägerhorde aus Quarzglas für die Aufnahme von scheibenförmigen Substraten aus Halbleiterwerkstoff
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