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No Patent No Titel
1 EP1801961 Elektrostatische Haltevorrichting
2 DE60123052T2 ELEKTRO-ADHÄSIONS-VORRICHTUNG
3 EP1295385 ELEKTRO-ADHÄSIONS-VORRICHTUNG
4 DE69831152T2 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR EINSTELLUNG DER PLASMAVORSPANNUNGSQUELLE BEI EINER BIPOLAREN ELEKTROSTATISCHEN HALTEPLATTE
5 EP0992106 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR EINSTELLUNG DER PLASMAVORSPANNUNGSQUELLE BEI EINER BIPOLAREN ELEKTROSTATISCHEN HALTEPLATTE
6 EP1532728 VERBESSERTE PLATTE FÜR EINE ELEKTROSTATISCHE WAFER-KLEMMVORRICHTUNG
7 DE60103930T2 ELEKTROSTATISCHEVORRICHTUNG ZUR GREIFEN EINES WAFERS
8 EP1342311 ELEKTROSTATISCHEVORRICHTUNG ZUR GREIFEN EINES WAFERS
9 DE69904709T2 ELEKTROSTATISCHE KLEMMVORRICHTUNG ZUR HALTERUNG EINES WAFERS, DIE EINE NIEDRIGE PARTIKELVERSCHMUTZUNG AUFWEIST
10 DE69904755T2 ELECTROSTATISCHE HALTERORRICHTUNG
11 EP1138111 ELECTROSTATISCHE HALTERORRICHTUNG
12 EP1070381 ELEKTROSTATISCHE KLEMMVORRICHTUNG ZUR HALTERUNG EINES WAFERS, DIE EINE NIEDRIGE PARTIKELVERSCHMUTZUNG AUFWEIST
13 EP1210760 HANDHABUNGSVORRICHTUNG FÜR KÜGELCHEN ODER TEILCHEN
14 EP1178597 Elektrostatische Vorrichtung zum mechanischen Festklemmen
15 EP1121752 ELEKTROSTATISCHER HALTER MIT SENSORELEKTRODEN MIT ABGESTIMMTER OBERFLÄCHE
16 EP1086524 HALTEVORRICHTUNG ZUM AUFSPANNEN VON PLANAREN SUBSTRATEN ZUR VERWENDUNG BEI EINEM VERFAHREN ZUM ELEKTROSTATISCHEN ÜBERZIEHEN VON GEGENSTÄNDEN
17 EP1061639 Klemmsystem und -verfahren
18 EP1044494 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM KLEMMEN EINES SUBSTRATES
19 DE69510419T2 VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES WERKSTÜCKES VON EINER ELEKTROSTATISCHEN HALTEPLATTE
20 DE19782130T1 Elektrostatische Halteeinrichtungen
21 EP0700593 VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES WERKSTÜCKES VON EINER ELEKTROSTATISCHEN HALTEPLATTE
22 EP0900475 ELEKTROSTATISCHER HALTER
23 DE69411873T2 Elektrostatische Halteplatte mit Referenzelektrode
24 DE69410765T2 Elektrostatische Halteplatte mit Schutzring
25 EP0660500 Elektrostatische Halteplatte mit Referenzelektrode
26 EP0660499 Elektrostatische Halteplatte mit Schutzring
27 EP0839404 ELECTROSTATISCHE HALTEVORRICHTUNG
28 EP0840434 Verbesserte topographische Struktur eines elektrostatischen Halters und Verfahren zur Herstellung
29 DE69316872T2 ELEKTROSTATISCHE KLEMMVORRICHTUNG ZUR HALTERUNG EINER WAFER
30 EP0620953 ELEKTROSTATISCHE KLEMMVORRICHTUNG ZUR HALTERUNG EINER WAFER
31 EP0806834 Verfahren und Vorrichtung zum Auswuchten der elektrostatischen Kraft einer elektrostatischen Halteplatte
32 DE69023522T2 Elektrostatische Haltevorrichtung.
33 EP0701319 Elektrostatischer Substrathalter
34 EP0692156 ELEKTROSTATISCHE HALTEPLATTE MIT GUT AN DER FORM ANLIEGENDEM ISOLIERENDEN FILM
35 DE69111027T2 Elektrostatische Halteplatte.
36 EP0384751 Elektrostatische Haltevorrichtung.
37 EP0486966 Elektrostatische Halteplatte.
38 DE69013593T2 Ofen mit elektrostatischem Tragsystem.
39 DE69103915T2 Elektrostatische Klemmvorrichtung und Verfahren.
40 DE69014417T2 Anziehende elektrostatische Schicht.
41 DE69010559T2 Elektrode für eine elektroviskose Flüssigkeit.
42 EP0401489 Anziehende elektrostatische Schicht.
43 EP0407894 Ofen mit elektrostatischem Tragsystem.
44 EP0439000 Elektrostatische Klemmvorrichtung und Verfahren.
45 EP0395453 Elektrode für eine elektroviskose Flüssigkeit.
46 DE9302561U1 Scheibenkupplungssystem
47 DE3879295T2 Maschine-Einheit mit einer statische Elektrizität benutzenden Haltevorrichtung.
48 DE3879281T2 Elektrostatische Haltevorrichtung.
49 EP0297227 Maschine-Einheit mit einer statische Elektrizität benutzenden Haltevorrichtung.
50 EP0294556 Elektrostatische Haltevorrichtung.
51 EP0169762 Vorrichtung zur elektrostatischen Aufhängung eines Körpers oder eines Musters.
52 EP0100201 Von einem elektroviskosen Fluidum betätigte Vorrichtungen.
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