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1 DE102006019505B4 Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Bodenelektrode in einem piezoelektrischen Bauelement
2 DE60130298T2 Akustischer Resonator
3 DE102006019505A1 Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Bodenelektrode in einem piezoelektrischen Bauelement
4 EP1187318 Akustischer Resonator
5 EP1829209 DÜNNFILMSTAPEL EINES AKUSTISCHEN REFLEKTORS
6 DE102007000101A1 Piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung und Verfahren zu dessen Herstellung
7 DE60123709T2 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER HYBRIDEN INTEGRIERTEN SCHALTUNG MIT EINEM HALBLEITERBAUELEMENT UND EINEM PIEZOELEKTRISCHEN FILTER
8 DE69933907T2 Akustischer Resonator und Verfahren zur Herstellung desselben
9 EP1760880 Halterung für akustischen Resonator und entsprechende integrierte Schaltung
10 DE10254611B4 Kristalloszillator und Verfahren zu dessen Herstellung
11 EP1128551 Vorrichtung und Verfahren zur Härtung von Silikonkautschuk
12 EP1735908 ELEKTROMECHANISCHE EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
13 EP1732213 Piezoelektrischer Dünnschichtresonator, Filter und Spannungsgesteuerter Oszillator
14 EP0963040 Akustischer Resonator und Verfahren zur Herstellung desselben
15 EP1175727 HERSTELLUNGSVERFAHREN EINER HYBRIDEN INTEGRIERTEN SCHALTUNG MIT EINEM HALBLEITERBAUELEMENT UND EINEM PIEZOELEKTRISCHEN FILTER
16 EP1701440 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN DÜNNFILMBAUELEMENTS UND PIEZOELEKTRISCHES DÜNNFILMBAUELEMENT
17 EP1684420 Bandfilter mit Dünnschicht-Volumenwellen-Resonator und Verfahren zu seiner Herstellung
18 EP1675259 Elektronische Anordnung und deren Herstellungsverfahren
19 EP1464113 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER TOPOLOGIEOPTIMIERTEN ELEKTRODE FÜR EINEN RESONATOR IN DÜNNFILMTECHNOLOGIE
20 EP1615339 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN DÜNNFILMRESONATORS, VORRICHTUNG ZUR HERTELLUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN DÜNNFILMRESONATORS, PIEZOELEKTRISCHER DÜNNFILMRESONATOR UND ELEKTRONISCHE KOMPONENTE
21 EP1585218 Volumenwellenresonator und Herstellungsverfahren dafür
22 EP1603232 Kristalloszillator
23 EP1543615 HERSTELLUNG EINES VOLUMENWELLEN-RESONATORS (FBAR) AUF SILIZIUM 110 WAFERN MITTELS ANISOTROPEM ÄTZEN WELCHES VON DER KRISTALLORIENTIERUNG ABHÄNGT
24 EP1219028 AKUSTISCHER SPIEGEL UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
25 EP1530290 Piezoelektrische Vorrichtung, Antennenweiche und Herstellungsverfahren des piezoelektrischen Resonators dafür
26 EP1523097 Dünnschicht-Resonator von Luftspaltbauart, dessen Herstellungsverfahren, und dessen Verwendung in Filter und Duplexer
27 EP1523096 Filmresonator mit akustischen Volumenwellen und Verfahren zur Herstellung desselben
28 EP1519482 Stimmgabel-Krystalloszillator und Verfahren zur Herstellung desselben
29 EP1515435 Dünnfilmresonator, Verfahren zur Herstellung desselben und Filter mit Dünnfilmresonatoren
30 EP1489740 Elektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung desselben
31 EP1482638 Akustischer Filmresonator mit Stützen und Verfahren zur Herstellung desselben
32 EP1480335 Herstellungsverfahren für akustischen Volumenwellen Resonator unter Verwendung der inneren mechanischen Spannung einer Metallschicht und damit hergestellter Resonator
33 DE10354426A1 FBAR-Massebelastungsverfahren, das selektives Trockenätzen einsetzt
34 EP1456946 FILM-HAUPTKÖRPER-SCHALLRESONATORSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
35 EP1406383 Dünnfilmresonator und Verfahren zum Herstellen desselben
36 DE69816737T2 Herstellungsverfahren für piezoelektrischen Resonator
37 DE10333782A1 Herstellung von FBAR-Filtern
38 EP1388938 Herstellen des Dünnfilmresonatorfilters
39 EP0907240 Herstellungsverfahren für piezoelektrischen Resonator
40 DE10162580A1 Piezoelektrischer Schwingkreis, Verfahren zu dessen Herstellung und Filteranordnung
41 EP1315293 Herstellung eines Dünnfilmresonators mit akustischen Volumenwellen
42 DE10147075A1 Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
43 EP1290789 VERBESSERUNGEN AN FILTERN
44 EP1287613 VERBESSERUNGEN AN FILTERN
45 EP1249932 Verfahren zur Herstellung von Dünnschicht-Volumenwellenvorrichtungen
46 DE10207330A1 Verfahren zum Herstellen akustischer Dünnfilmvolumenresonatoren (FBARs) mit unterschiedlichen Frequenzen auf dem gleichen Substrat durch eine Subtraktionsverfahren und Vorrichtung, die das Verfahren beinhaltet
47 DE10207342A1 Verfahren zum Liefern unterschiedlicher Frequenzeinstellungen bei einem akustischen Dünnfilmvolumenresonator- (FBAR-) Filter und Vorrichtung, die das Verfahren beinhaltet
48 DE10207329A1 Verfahren zur Massenbelastung akustischer Dünnfilmvolumenresonatoren (FBARs) zum Erzeugen von Resonatoren mit unterschiedlichen Frequenzen und Vorrichtung, die das Verfahren beinhaltet
49 EP1227581 Akustischer Vollumenwellenresonator mit einem leitenden akustischen Spiegel
50 DE69330499T2 Piezoelektrischer Resonator und Herstellungsverfahren derselben
51 DE10058339A1 Bulk-Acoustic-Wave-Filter
52 EP1156584 Verfahren zum Formen von Dünnfilmresonatoren, zur Erzeugung von akustischen ModeN
53 EP1126601 Verfahren zur Isolierung von akustischen Resonatoranordnungen
54 EP0797300 Piezoelektrischer Resonator und Herstellungsverfahren derselben
55 EP1073197 Verfahren zur Herstellung orientierter piezoelektrischer Filme
56 EP1022850 Verfahren zur Herstellung elektronischer Bauteile, Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer resonanter Bauteile, elektronisches Bauteil und piezoelektrisches resonantes Bauteil
57 DE19910368A1 Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Resonators
58 DE69322819T2 Piezoelektrischer Schwinger und sein Herstellungsverfahren
59 DE69413751T2 Piezoelektrischer Resonator und Verfahren zur Herstellung
60 EP0580025 Piezoelektrischer Schwinger und sein Herstellungsverfahren
61 DE69129957T2 In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren
62 EP0631384 Piezoelektrischer Resonator und Verfahren zur Herstellung
63 DE4035240C2 Messen und Steuern des Beschichtens auf einem piezoelektrischen Meßkristall
64 EP0459631 In AT-Richtung geschnittenes Kristalloszillatorelement und sein Herstellungsverfahren
65 DE4042436C2 Longitudinal schwingendes mechanisches Koppelfilter und Verfahren zum Herstellen eines solchen Koppelfilters
66 DE69310504T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON PIEZOELEKTRISCHEN RESONATOREN
67 EP0629320 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON PIEZOELEKTRISCHEN RESONATOREN
68 DE4035240A1 Messen und Steuern des Beschichtens auf einem piezoelektrischen Meßkristall
69 DE3730692C2 Verfahren zum Ziehen der Resonanzfrequenz einer Quarzschaltung und Quarzschaltung für großen Frequenzziehbereich
70 EP0191479 Herstellungsverfahren eines hochfrequenten Quarzresonators.
71 DE3730692A1 Verfahren zum Ziehen der Resonanzfrequenz einer Quarzschaltung und Quarzschaltung für großen Frequenzziehbereich
72 EP0143686 Herstellungsverfahren eines piezoelektrischen Resonators und auf diese Weise hergestellter Resonator.
73 DE3423498C2 Verfahren zum Abgleich des elektromechanischen Kopplungsfaktors für elektromechanische Wandlerresonatoren
74 EP0060087 Vorrichtung zur Herstellung linsenförmiger Artikel.
75 DE3423498A1 Verfahren zum Abgleich des elektromechanischen Kopplungsfaktors für elektromechanische Wandlerresonatoren
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