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No Patent No Titel
1 EP1852948 LASERLICHTQUELLEN-STEUERVERFAHREN, LASERLICHTQUELLENEINRICHTUNG UND BELICHTUNGSVORRICHTUNGEN
2 DE69837483T2 Belichtungsverfahren und Belichtungsapparat
3 EP1850464 LINEARMOTOR, BÜHNENVORRICHTUNG UND BELICHTUNGSVORRICHTUNG
4 EP1571741 ULTRAVIOLETT-LICHTQUELLE, PHOTOTHERAPIEVORRICHTUNG MIT VERWENDUNG EINER ULTRAVIOLETT-LICHTQUELLE UND BELICHTUNGSSYSTEM MIT VERWENDUNG EINER ULTRAVIOLETT-LICHTQUELLE
5 DE60126103T2 Haltevorrichtung für optisches Element
6 DE4412901B4 Dioptrieneinstellmechanismus für Ferngläser
7 EP1369201 "SCHLEIFSTEINKORN, SCHLEIFSTEIN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG OPTISCHER ELEMENTE UNTER VERWENDUNG DES SCHLEIFSTEINS UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON PROJEKTIONSAUSRICHTERN"
8 EP1826739 DISPLAY-EINRICHTUNG UND ELEKTRONISCHE EINRICHTUNG
9 DE60122371T2 EINRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG DES POLIERFORTSCHRITTES UND POLIEREINRICHTUNG
10 EP1813982 PROJEKTOREINRICHTUNG UND MOBILTELEFON
11 EP1811327 OPTISCHES PROJEKTIONSSYSTEM DES REFLEXIONSTYPS UND MIT EINEM SOLCHEN OPTISCHEN PROJEKTIONSSYSTEM DES REFLEXIONSTYPS AUSGESTATTETE BELICHTUNGSGERÄTE
12 EP1811526 HALTEEINRICHTUNG, BÜHNENEINRICHTUNG, BELICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUELEMENTE-HERSTELLUNGSVERFAHREN
13 DE112005002465T5 Mikroskopsystem
14 EP1794650 OPTISCHE PROJEKTIONSEINRICHTUNG UND BELICHTUNGSVORRICHTUNG
15 EP1791002 AMORPHEN SILIZIUMOXIDBINDER ENTHALTENDER OPTISCHER MGF2-DÜNNFILM, OPTISCHE EINRICHTUNG DAMIT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN OPTISCHEN MGF2-DÜNNFILMS
16 DE60027371T2 Kinematische Linsenhalterung
17 DE60027942T2 Verfahren zum Herstellen von Quarzglas
18 EP1771770 EXTREM-UV-LICHT-RETIKELSCHUTZ
19 EP1767923 MIKROSKOPISCHES BEOBACHTUNGSVERFAHREN, MIKROSKOP, DIFFERENZ-INTERFERENZMIKROSKOP, PHASENDIFFERENZMIKROSKOP, INTERFERENZMIKROSKOP, BILDBEARBEITUNGSVERFAHREN UND -VORRICHTUNG
20 EP1767980 Mikroskop und System zur Erzeugung einer Bildershow
21 DE69804411T3 Verfahren zur Herstellung eines Calciumfluoridkristalles und zur Behandlung eines Calciumfluoridpulvers
22 EP1756663 FLUIDDRUCKKOMPENSATION FÜR EINE IMMERSIONSLITHOGRAPHIELINSE
23 DE69531153T3 Optisches Projektionssystem mit Belichtungsgerät
24 DE69522422T3 Belichtungsvorrichtung
25 DE69812450T3 Mehrschichtige Antireflexbeschichtungen für flach einfallendes Ultraviolettlicht
26 DE60026623T2 Katadioptrisches optisches System und Belichtungsvorrichtung mit einem solchem System
27 EP1720194 PROJEKTIONS-ELEKTRONENMIKROSKOP, ELEKTRONENMIKROSKOP, EXEMPLAR-OBERFLÄCHENBEOBACHTUNGSVERFAHREN UND MIKROBAUELEMENTEHERSTELLUNGSVERFAHREN
28 DE69735398T2 Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten zur Verwendung im ultravioletten Gebiet
29 EP1710048 POLIERKISSENFLÄCHENFORMMESSGERÄT, VERFAHREN ZUR VERWENDUNG EINES POLIERKISSENFLÄCHENFORMMESSGERÄTS, VERFAHREN ZUM MESSEN DES KEGELSCHEITELWINKELS EINES POLIERKISSENS, VERFAHREN ZUM MESSEN DER NUTTIEFE EINES POLIERKISSENS, CMP-POLIERER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
30 DE60025765T2 BRILLEN MIT SCHRAUBENLOSEN GELENKEN
31 DE69834083T2 Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
32 EP1701194 OPTISCHES PROJEKTIONSSYSTEM UND BELICHTUNGSVORRICHTUNG DAMIT
33 DE60208644T2 Doppelfernrohr
34 DE69930398T2 Belichtungssystem mit einem parallelen Verbindungsmechanismus und Belichtungsverfahren
35 EP1684298 Elektronisches Gerät, das ein Schock-empfindliches Speichermodul enthält
36 EP1666865 ILLUMINANZ-VERTEILUNGS-BEWERTUNGSVERFAHREN, FESTSTELLUNGSVERFAHREN FÜR OPTISCHE GLIEDER, OPTISCHE BELEUCHTUNGSEINRICHTUNG, BELICHTUNGSVORRICHTUNG UND BELICHTUNGSVERFAHREN
37 EP1652003 WAFER-TISCH FÜR DIE IMMERSIONS-LITHOGRAPHIE
38 EP1652972 ELEMENT AUS KÜNSTLICHEM KRISTALL, EXPOSITIONSSYSTEM UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR DAS EXPOSITIONSSYSTEM
39 DE102005055679A1 Spektroskop und damit ausgerüstetes Mikrospektroskop
40 DE102005056663A1 Spektroskop vom Lichtleitfaser-Typ und damit ausgerüstetes Spektroskopsystem
41 DE10114757B4 Digitalkamera für ein Mikroskop und Mikroskopsystem mit derartiger Kamera
42 DE112004000348T5 Digitales Mikroskopbild-Erfassungssystem
43 DE60112236T2 Thermisches Verschiebungselement und Strahlungsdetektor, der dieses verwendet
44 EP1611486 UMWELTSYSTEM MIT EINER TRANSPORTREGION FÜR EINE IMMERSIONSLITHOGRAPHIEVORRICHTUNG
45 EP1611482 WEGLAUFWEG ZUM SAMMELN VON FLÜSSIGKEITEN AUS EINER IMMERSIONSLITHOGRAPHIEVORRICHTUNG
46 EP1315014 Doppelfernrohr
47 EP1616666 Verfahren zur Herstellung eines Belichtungsgerätes
48 DE69923376T2 Belichtungsprojektionsapparat mit einem optischen catadioptrischen Belichtungssystem
49 DE102005044842A1 Konfokalmikroskop
50 DE102005039856A1 Spektroskop und spektrales Lasermikroskop
51 DE112004000435T5 Objektträgertisch und mit Objektträgertisch ausgestattetes biologisches Mikroskop
52 DE69926753T2 STATISCHDRUCKLAGER,DIESES VERWENDENDE EINRICHTUNG UND OPTISCHES GERÄT VERSEHEN MIT SOLCH EINER EINRICHTUNG
53 DE69732023T2 Optisches Projektionssystem und Verfahren zu dessen Anwendung bei der Herstellung von Vorrichtungen
54 EP1227307 THERMISCHES VERSCHIEBUNGSELEMENT UND STRAHLUNGSDETEKTOR, DER DIESES VERWENDET
55 EP1548467 OPTISCHES ELEMENT, SPEKTROSKOP UND KONDENSATOR
56 DE10392704T5 Verfahren zur Bewertung der Homogenität des Brechungsindex von optischen Bauteilen
57 DE69824658T2 Optisches System für Projektion
58 DE69434252T2 ANTRIEBSEINRICHTUNG
59 DE102004035617A1 Verfahren zur Herstellung von Substraten für Fotomaskenrohlinge
60 DE102004035559A1 Verfahren zur Auswahl von Substraten für Fotomaskenrohlinge
61 EP0654697 ANTRIEBSEINRICHTUNG
62 DE102004035560A1 Substrat für Fotomaskenrohling, Fotomaskenrohling und Fotomaske
63 DE102004035610A1 Verfahren zur Auswahl von Stubstraten für einen Fotomaskenrohling
64 DE10297560T5 Filmausbildungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für ein optisches Element
65 EP1494170 Signalverarbeitungsapparat, Signalverarbeitungsprogramm und elektronische Kamera
66 DE10297510T5 Schleifstein und Verfahren zum Herstellen eines optischen Elements
67 EP1464992 FLUORIDKRISTALLMATERIAL FÜR EINE OPTISCHE EINRICHTUNG FÜR EINE FOTOLITHOGRAPHISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
68 DE69630548T2 Belichtungsvorrichtung
69 EP1446698 INTEFEROMETERSYSTEM FÜR EIN HALBLEITERBELICHTUNGSSYSTEM
70 DE102004001349A1 Bildstabilisiervorrichtung und damit ausgestattetes Fernglas
71 EP1426140 RICHTWERKZEUG, RICHTVORRICHTUNG, RICHTVERFAHREN, BEARBEITUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
72 DE69910863T2 Verfahren zur Herstellung von Calciumfluorid und Calciumfluorid für Fotolithographie
73 DE69727275T2 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Kunststofflinse
74 EP1413909 OPTISCHES PROJEKTIONSSYSTEM UND BELICHTUNGSEINRICHTUNG MIT DEM OPTISCHEN PROJEKTIONSSYSTEM
75 EP1413870 OPTISCHES GLIED FÜR DIE OPTISCHE LITHOGRAPHIE UND BEWERTUNGSVERFAHREN DAFÜR
76 EP1413908 Optisches Projektionssystem und Belichtungsgerät unter Verwendung desselben
77 DE69629277T2 Optisches Projektionssystem und damit ausgerüstetes Belichtungsgerät
78 EP1403663 OPTISCHES GLIED, PROZESS ZU SEINER HERSTELLUNG UND PROJEKTIONSAUSRICHTUNGSVORRICHTUNG
79 DE69531153T2 Optisches Projektionssystem mit Belichtungsgerät
80 DE10345895A1 Verfahren zur Herstellung eines durch einen Fluoridkristall gebildeten optischen Elements
81 EP1394590 Verfahren zur Züchtung von Calciumfluorid-Einkristallen
82 DE68929457T2 Fokusverstelleinrichtung
83 DE69806667T2 Katadioptrisches optisches System
84 EP1385034 Adaptiver Lithographiespiegel mit Stellelementen
85 EP1380855 Vorrichtung und Verfahren zur Fluorierungsbehandlung von Substraten
86 EP1378780 Optisches Projektionssystem, Belichtungsapparat und Bauelementherstellungsverfahren
87 DE60001691T2 Katadioptrisches optisches System und Projektionsbelichtungsvorrichtung mit einem solchen System
88 EP1378918 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN MEHRSCHICHTIGEN FILMREFLEKTOR
89 EP1376185 Minimalisierung thermischer Verformungen eines EUV Spiegels
90 EP1376092 Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der thermisch bedingten Verformung in Bestandteilen eines lithographischen Systems
91 EP1369708 OPTISCHES GLIED UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG UND PROJEKTIONSAUSRICHTUNGSVORRICHTUNG
92 EP1367605 Reflektierende Spiegel mit Mehrschichtfilm und optische Systeme mit diesen
93 DE69133220T2 Kamera mit Informationsaufzeichnung und Filmende-Detektor
94 EP0723173 Belichtungsvorrichtung
95 DE69626712T2 Catadioptrisches System und dieses verwendender Belichtungsapparat
96 EP1355140 "VERFAHREN ZUR MESSUNG VON BILDEIGENSCHAFTEN, VERFAHREN ZUR EINSTELLUNG VON BILDEIGENSCHAFTEN, BELICHTUNGSVERFAHREN UND SYSTEM, PROGRAMM UND AUFZEICHNUNGSMEDIUM UND BAUELEMENTEHERSTELLUNGS-VERFAHREN"
97 DE69812450T2 Mehrschichtige Antireflexbeschichtungen für flach einfallendes Ultraviolettlicht
98 EP1331646 Röntgenstrahlen reflektierende Spiegel mit verminderten thermischen Spannungen und Röntgenstrahloptische Systeme mit diesen Spiegeln
99 EP0803755 Optisches Projektionssystem und damit ausgerüstetes Belichtungsgerät
100 DE69432201T2 Progressive Multifokallinse
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