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No Patent No Titel
101 DE69908727T2 GATE-PHOTOKATHODE FÜR KONTROLLIERTE EINFACH ODER MEHRFACH ELEKTRONENSTRAHLEMISSION
102 EP1360474 WAFERÜBERPRÜFUNG MIT EINEM LASERSCANNER UNTER VERWENDUNG VON NICHTLINEAREN OPTISCHEN PHÄNOMENEN
103 DE69626057T2 Ionenenergie Analysator und elektrisch gesteuerter geometrischer Filter für einen solchen Analysator
104 DE69812239T2 Verfahren und Vorrichtung zum Vorbeschichten einer Kammer zur Behandlung von Substraten
105 EP1356324 OPTISCHE INTEGRIERTE SCHALTUNGEN (ICS)
106 EP1133380 TRÄGERPLATTE MIT RANDSTEUERUNG FÜR CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN
107 DE69718551T2 Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Substrattemperaturen
108 DE69625964T2 Methode und Vorrichtung zur Eichung eines Infrarot-Pyrometers in einer Wärmebehandlungsanlage
109 EP0907876 DIFFERENTIAL-HITZEDRAHT-NÄHERUNGSMESSER
110 DE69719168T2 MEHRTEILIGE MAGNETISCHE LINSE MIT KONZENTRISCHEM SPALTEN UND ABLENKEINHEIT MIT KONISCHEN POLSCHUHEN
111 DE69904313T2 CHEMISCH-MECHANISCHES POLIERVERFAHREN MIT MEHREREN POLIERKISSEN
112 DE69810179T2 Titannitridfilme
113 EP1322941 IDENTIFIZIERER FÜR DEFEKTQUELLEN
114 DE69529023T2 VERFAHREN ZUR PHOTOLACK-ENTFERNUNG, PASSIVIERUNG UND KORROSIONSINHIBIERUNG VON HALBLEITENDEN SCHEIBEN
115 DE69809308T2 Mechanisches Greifergelenk für Roboter
116 DE3732149C2 Verfahren und Vorrichtung zum Charakterisieren einer Genauigkeitseigenschaft einer optischen Linse
117 DE69903466T2 GASVERTEILUNGSPLATTE MIT ZWEI GASKANÄLEN
118 EP1295109 OPTISCHES INSPEKTIONSVERFAHREN UND VORRICHTUNG MIT ADAPTIVEM RAUMFILTER
119 EP1287332 FEHLERFESTELLUNG EINER GERADEN LINIE
120 DE69622009T2 IONENSTRAHLGERÄT
121 DE69623583T2 Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung von Perfluorverbindungen enthaltenden Abgasen aus Substratbearbeitungsvorrichtungen.
122 DE69526718T2 Temperatursensoren und Verfahren zur Messung der Temperatur eines Werkstücks
123 EP0858866 Mechanisches Greifergelenk für Roboter
124 EP1251998 ENDPUNKTÜBERWACHUNG UND ÄNDERUNG DER POLIERGESCHWINDIGKEIT
125 DE69132982T2 Reaktor mit Strahlungsheizung
126 DE4102746C2 Luft-Meß-Fokussystem
127 DE69711314T2 Aktive Abschirmvorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas für die Zerstäubung
128 DE69804808T2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REDUZIERUNG VON VERUNREINIGUNGEN
129 DE69804117T2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERBESSERTEN ABTASTEFFIZIENZ IN EINEM IONENIMPLANTATIONSGERÄT
130 DE69710961T2 Komponenten peripher zum Sockel im Wege des Gasflusses innerhalb einer Kammer zur chemischen Gasphasenabscheidung
131 DE69710650T2 Kontrolle der Plasmauniformität für einen Plasmareaktor
132 EP1234171 BEKANNTE FEHLER BEINHALTENDE BIBLIOTHEK
133 DE69619075T2 Plasmatempern von Dünnschichten
134 DE69132826T2 Heizgerät für Halbleiterwafers oder Substrate
135 DE69802313T2 Verfahren und Vorrichtung zur Verbesserung der Seitenwandbedeckung während des Sputterns in einer Kammer mit induktiv gekoppeltem Plasma
136 DE69802726T2 Abscheidung von Titannitridfilme
137 EP0782763 IONENSTRAHLGERÄT
138 EP1204860 WINKELVERSTELLBARES BELEUCHTUNGSWAFERINSPEKTIONSSYSTEM
139 DE69330968T2 Robotervorrichtung
140 EP1197296 Polierkissenabrichtscheibe
141 EP1190238 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ÜBERPRÜFUNG VON ARTIKELN DURCH VERGLEICH MIT EINEM MASTER
142 DE69801291T2 Innenbeschichtung von Vakuumbehältern
143 EP1185855 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN INSPEKTION UNTER VERWENDUNG EINER STRUKTUR MIT VARIABELEM WINKEL
144 EP1185723 VERWENDUNG VON MONOSILAN ALS SPÜL- UND REINIGUNGSMITTEL BEI ABSCHEIDUNGSVERFAHREN
145 EP1182526 Auf einem Spiegelbild beruhende chargenweise Kontrolle in einer Halbleiterscheibe- Bearbeitungsanlage
146 DE69706248T2 Gasstromsteuerung für mehrfachige Zonen in einer Prozesskammer
147 DE69706250T2 Vorrichtung zum Zuführen von Gasen in eine schnelle Wärmebehandlungskammer
148 EP1178517 Ionenstrahlgerät
149 EP1156134 Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung einer Schicht von fluoriertem Silikatglas mit Stickstoff dotierten
150 EP1154040 Verminderung des Kanteffektes bei Plasma-CVD Verfahren
151 EP0695922 Heizgerät für Halbleiterwafers oder Substrate
152 EP0742084 Robotervorrichtung
153 EP1143495 HALBLEITERFABRIKATIONSVORRICHTUNG UND SCHEIBENERWÄRMUNGSVERFAHREN IN DER HALBLEITERFABRIKATIONSVORRICHTUNG
154 EP1131727 SYSTEM UND VERFAHREN, UM EIN ÜBBERPRÜFBARES SICHERES SYSTEM ZU INSTALLIEREN
155 DE10112817A1 Ionenextraktionsanordnung
156 DE10112221A1 Vakuumlagerstruktur und Verfahren zum Abstützen eines beweglichen Elements
157 EP0821085 Vorrichtung zum Zuführen von Gasen in eine schnelle Wärmebehandlungskammer
158 EP1120194 Optische Steuerung in einem zweistufigen chemisch-mechanischen Polierverfahren
159 EP1118425 Methode zum schnellen Lösen eines Werkstücks von einem elektrostatischen Halter
160 EP1114697 Verfahren und Vorrichtung zum geregelten Zuführen von Aufschlämmung zu einem Gebiet eines Poliergegenstandes
161 DE69519880T2 Methode und Vorrichtung zur Erzeugung von trockenem Dampf
162 EP1100978 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG AMORPHER UND POLYKRISTALLINER SCHICHTEN AUS SILIZIUM-GERMANIUM LEGIERUNGEN
163 DE69518710T2 Verfahren zum Behandeln eines Substrats in einer Vakuumbehandlungskammer
164 DE69610823T2 GENERATOR FÜR BANDFÖRMIGEN IONENSTRAHL
165 DE10050200A1 Ionenimplantationsanlage und Strahlblende dafür
166 DE69231389T2 Verfahren zur Herstellung eines elektrischer Kontaktes über einem Silizium-Halbleiterplättchen
167 DE69610365T2 Haftschicht für die Abscheidung von Wolfram
168 EP1083424 Partikel-Erkennung und optisches System um die Substrat-Produktion zu erhöhen
169 EP1081741 Fokussier-Verfahren und -Vorrichtung
170 DE10049536A1 Ionenquellenanordnung
171 EP1077790 TRÄGERPLATTE MIT EINEM HALTERRING FÜR EINE CHEMISCH-MECHANISCHE POLIERVORRICHTUNG
172 EP1075896 Verfahren und Vorrichtung zum Schleifen von Halbleiterscheibenoberflächen
173 EP1072894 Kapazitiver Fühler für In-situ-Messungen der Gleichstrom-Vorspannung von Wafern
174 EP1068936 Greifer mit Orientierungssystem für eine Halbleiterscheibe
175 EP1068046 ABRICHTGERÄT FÜR CHEMISCH-MECHANISCHES POLIERKISSEN
176 EP1066928 Polierkissen mit Rillenmuster zur Verwendung in einer chemisch-mechanischen Poliervorrichtung
177 DE69608335T2 Reaktionskammer mit quasi heisser Wandung
178 EP1063056 Verfahren und Vorrichtung zum Messen eines Polierkissenprofils und Steuerung mit geschlossenem Regelkreis eines Polierkissen Aufbereitungsverfahren
179 EP1061639 Klemmsystem und -verfahren
180 DE69328538T2 Apparat und Verfahren zum turbulenten Mischen von Gasen
181 EP1061358 Vorrichtung und Verfahren zum Überprüfen von Defekten auf einem Objekt
182 EP1058602 EINZELANGETRIEBENER ZWEI-EBENEN-ROBOTER
183 EP1050374 Vorrichtung zum Polieren eines Schichtträgers und drehbare Platteneinheit hierfür
184 EP0704551 Verfahren zum Behandeln eines Substrats in einer Vakuumbehandlungskammer
185 EP1019180 AMPULLE MIT INTEGRIERTEM FILTER
186 DE69607572T2 Abbremsung nach der Massenselektion in einem Ionenimplantierungsgerät
187 DE69700893T2 Magnetrongerät für ganzflächige Niederdruckerosion
188 EP1007759 PLASMA-GASPHASENABSCHEIDUNG MITTELS MODULIERTER SPULENZERSTÄUBUNGSLEISTUNG FÜR IIONISERTE METALLPLASMAABSCHEIDUNG
189 EP1007275 KAVITATIONSABRICHTGERÄT FÜR POLIERKISSEN
190 EP1002211 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TROCKNEN VON SUBSTRATEN
191 EP0995215 LEISTUNGSREGELVORRICHTUNG FÜR EINE IONENQUELLE MIT INDIREKT GEHEISSTER KATHODE
192 DE69512348T2 GESCHWEISSTER SUSZEPTORAUFBAU
193 EP0988537 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM NACHWEIS VON DIMETHYLALUMINIUMHYDRID MIT HILFE EINES TEILCHENDETEKTORS
194 EP0981656 WOLFRAM MIT GERINGEM WIDERSTAND DURCH B 2?H 6?
195 DE69512371T2 MAGNETISCH VERBESSERTE MULTIPLE KAPAZITIVE PLASMAGENERATIONSVORRICHTUNG UND VERFAHREN
196 DE69421463T2 Ablagerung des Siliziumnitrids
197 DE69510132T2 Vakuumkammer für Ultrahochvakuumbehandlung bei hoher Temperatur
198 DE69325633T2 Elektrostatische Haltevorrichtung benutzbar in Hochdichteplasma
199 DE69032945T2 Robotereinrichtung
200 DE69130662T2 Vorrichtung und Verfahren zum Heizen von Substraten in der Halbleiterherstellung
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