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No Patent No Titel
1 DE102006029799A1 Reflektives optisches Element und Verfahren zu seiner Charakterisierung
2 DE102006028468A1 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Kristallen
3 DE102006028489A1 Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
4 DE102006029039A1 Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung von Materialbearbeitungsprozessen
5 DE102006027609A1 Abbildungsvorrichtung
6 DE102006027098A1 Verfahren und Vorrichtung zur Schichtoptimierung mittels Radikale
7 EP1846791 VIBRATIONSDÄMPFUNG FÜR EINE PHOTOLITHOGRAPHISCHE LINSENANBRINGUNG
8 DE112004000320A5 Reflektives optisches Element und EUV-Lithographiegerät
9 DE102006024810A1 Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage sowie adaptiver Spiegel hierfür
10 EP1842027 HOLOGRAMM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS UNTER VERWENDUNG EINES HOLOGRAMMS
11 DE102007022881A1 Verfahren zur Herstellung einer Linse aus synthetischem Quarzglas mit erhöhtem H2-Gehalt
12 EP1840622 Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage mit negativer Schnittweite der Eintrittspupille
13 DE102006031006A1 Messanordnung und Verfahren zur Bestimmung von Polarisationseigenschaften einer refraktiven optischen Komponente
14 DE102006016533A1 Haltevorrichtung für optisches Element
15 DE102006021965A1 Kalibrierverfahren, Verwendung und Messvorrichtung
16 DE102006021166A1 Vorrichtung für Untersuchungen mit Strahlen unter streifendem Einfall
17 DE10322238B4 Diffraktives optisches Element sowie Projektionsobjektiv mit einem solchen Element
18 DE10162796B4 Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften von mindestens zwei optischen Elementen sowie photolithographisches Fertigungsverfahren
19 EP1835312 Beleuchtungsvorrichtung für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage mit einem optischen Element aus einem uniaxialen Kristall mit mehreren parallel oder senkrecht zur Kristallachse angeordneten refraktiven oder diffraktiven Strukturen
20 DE102006031654A1 Facettenspiegel mit einer Vielzahl von Spiegelsegmenten
21 EP1828829 HOCHAPERTURIGES OBJEKTIV MIT OBSKURIERTER PUPILLE
22 DE102006017894A1 Lichtmischeinrichtung, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
23 EP1202291 Beleuchtungssystem mit einem Gitterelement
24 DE102007014092A1 Anordnung mit einer Maske zur Abschattung einer gekrümmten Substratoberfläche und Vorrichtung zur Beschichtung derselben
25 DE102006014380A1 Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage mit negativer Schnittweite der Eintrittspupille
26 EP1820050 OPTISCHES SENDEELEMENT UND OBJEKTIV FÜR EINE BELICHTUNGSVORRICHTUNG FÜR MIKROLITHOGRAPHISCHE PROJEKTIONEN
27 DE102006011098A1 Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
28 DE102006010337A1 Off-axis-Objektive mit drehbarem optischen Element
29 DE102004014641B4 Anordnung zur Lagerung eines optischen Bauelements
30 EP1812935 DURCH EINBIEGUNG EINES MASTER-STÜCKS GEWONNENE OPTISCHE HOCHPRÄZISIONSOBERFLÄCHE
31 DE102006021334B3 Polarisationsbeeinflussendes optisches Element sowie Verfahren zu dessen Herstellung sowie optisches System und mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage mit einem solchen Element
32 EP1805544 REAKTIONSMASSENAUSLÖSER MIT SECHS FREIHEITSGRADEN
33 DE102006006401A1 Verfahren zur Bestimmung der Topographie eines ebenen Körpers sowie zur Herstellung von Fassungen für optische Elemente und Fassung für ein optisches Element
34 DE102006003375A1 Gruppenweise korrigiertes Objektiv
35 DE19539581B4 Universalgelenk mit Feder-Viergelenken
36 DE102005062430A1 Optische Anordnung mit einer Photomaske und einem Pellicle und Projektionsbelichtungsanlage damit
37 DE102005062618A1 Optische Abbildungseinrichtung mit Bestimmung von Abbildungsfehlern
38 DE102006038454A1 Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
39 DE102005062401A1 Vorrichtung zur Variation der Abbildungseigenschaften eines Spiegels
40 DE69933973T2 KATADIOPTRISCHES OPTISCHES SYSTEM UND DAMIT AUSGESTATTETE BELICHTUNGSVORRICHTUNG
41 DE102005060517A1 Belastungsfester Prismenpolarisator
42 DE102005036633A1 Achromatisches diffraktives optisches Element sowie Verfahren zum Entwerfen eines solchen
43 DE102005057909A1 Optisches Element mit doppelbrechender Beschichtung
44 EP1189089 Vorrichtung zum Bündeln der Strahlung einer Lichtquelle
45 DE102005057860A1 Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Halbleiterlithographie
46 DE102005057325A1 Vorrichtung zur Variation der Abbildungseigenschaften eines Spiegels
47 DE102006036968A1 Verfahren und Vorrichtung zur Wellenfrontmessung optischer Systeme
48 DE102005060622A1 Montagevorrichtung für eine optische Einrichtung
49 DE102006021796A1 In einer Fassung gelagertes optisches Element
50 DE102005047207A1 Verfahren zum Überarbeiten eines optischen Elementes
51 DE102005044716A1 Aktives optisches Element
52 DE102006038294A1 Fassung für ein optisches Element
53 DE102006043251A1 Mikrolithographie-Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Objektiv, Herstellungsverfahren mikrostrukturierter Bauteile mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie mit diesem Verfahren hergestelltes Bauteil
54 DE102005043475A1 Kollektor mit konischen Spiegelschalen
55 DE60028245T2 PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR MIKROLITHOGRAPHISCHE REDUZIERUNG
56 DE102005039483A1 Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines optischen Elements mit einer Teilchenstrahlquelle
57 DE102006025044A1 Abbildungssystem, insbesondere Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
58 EP1736280 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern
59 EP1736281 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von optischen Gläsern
60 DE102005033564A1 Optisches System, insbesondere einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage oder eines digitalen Projektionssystems
61 DE10151919B4 Belichtungsobjektiv in der Halbleiterlithographie
62 DE4203464B4 Katadioptrisches Reduktionsobjektiv
63 DE102005035573A1 Vakuumspannvorrichtung
64 DE102005033013A1 Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung und Bewertung von Schlieren in optischen Materialien
65 DE102005033376A1 Objektiv und Verfahren zu seiner Herstellung mit Kompensation der örtlichen Verteilung der optischen Eigenschaften
66 DE102006028242A1 Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
67 EP1727158 Optisches Element für Strahlung im EUV- und/oder weichen Röntgenwellenlängenbereich und ein optisches System mit mindestens einem optischen Element
68 EP1481276 BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT GENESTETEM KOLLEKTOR ZUR ANNULAREN AUSLEUCHTUNG EINER AUSTRITTSPUPILLE
69 DE102005028847A1 Messanordnung und Verfahren für Bestrahlungsversuche
70 DE102005029582A1 Ionenstrahlneutralisator
71 DE102005025509A1 Hochauflösende und steife Lateralverstelleinrichtung für ein optisches Element und Verfahren zur Justierung derselben
72 DE102006021671A1 Außeraxiales Segment einer rotationssymmetrischen optischen Komponente
73 DE102005024261A1 Lagerkompensation bei optischen Elementen
74 DE102006021161A1 Projektionsobjektiv insbesondere für die Mirkolithographie
75 DE102005024290A1 Abbildungssystem, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
76 DE102005023939A1 Abbildungssystem, insbesondere Objektiv oder Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
77 DE102005022682A1 Lagerungsvorrichtung für ein optisches Element
78 EP1709472 CATADIOPTRISCHES PROJEKTIONSOBJEKTIV
79 DE102005021783A1 Mikrointerferometer mit gewölbtem Referenzspiegel
80 DE102005021340A1 Optisches Element, insbesondere für ein Objektiv oder eine Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithograpischen Projektionsbelichtungsanlage
81 DE10146499B4 Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften von mindestens zwei optischen Elementen sowie Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften von mindestens drei optischen Elementen
82 DE102005056721A1 Projektionsbelichtungsobjektiv mit zentraler Obskuration und Zwischenbildern zwischen den Spiegeln
83 DE10324468B4 Mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsobjektiv hierfür sowie darin enthaltenes optisches Element
84 DE102005019716A1 Optisches System mit einem optischen Element
85 DE102005018766A1 Vorrichtung zum Verbinden von zwei Teilen unterschiedlicher Wärmeausdehnung
86 DE102005019726A1 Verfahren zur Montage/Justage eines Projektionsobjektives für die Lithographie sowie Projektionsobjektiv
87 DE102006013560A1 Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage sowie Verfahren zu dessen Herstellung
88 DE102006014510A1 Optische Detektionsvorrichtung, Messvorrichtung und Verwendung
89 DE102005017742A1 Verfahren zur Beschichtung optischer Substrate
90 DE102005015627A1 Optische Abbildungsvorrichtung
91 EP1356476 SCHMALBANDIGER SPEKTRALFILTER UND SEINE VERWENDUNG
92 DE102005013187A1 Verfahren zum Verbinden zweier Bauteile, sowie Baugruppe
93 EP1686405 Mikrolithographisches Reduktionsobjektiv mit fünf Linsengruppen
94 DE102004008750B4 Verfahren zur Qualitätskontrolle der optischen Eigenschaften eines optischen Materials mittels Bestimmung der Brechwerte
95 EP1168006 Verfahren zum Verbinden einer Vielzahl von optischen Elementen mit einem Grundkörper
96 DE102005004460A1 Verfahren und Messmittel zur indirekten Bestimmung der örtlichen Bestrahlungsstärke in einem optischen System
97 DE102005059626A1 Aufbringen eines Releaselayers ohne Spincoaten
98 DE60208045T2 OBJEKTIV MIT PUPILLENVERDECKUNG
99 DE60106966T2 Beleuchtungssystem, insbesondere für Mikrolithographie
100 DE102004060184A1 EUV-Spiegelanordnung
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