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No Patent No Titel
1 DE60126703T2 Mehrschichtsystem mit Schutzschichtsystem und Herstellungsverfahren
2 DE102004018435A1 Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Substraten mit einer hydrophoben Schicht
3 EP1434240 Beleuchtungssystem insbesondere für die EUV-Lithographie
4 EP1327172 8-SPIEGEL-MIKROLITHOGRAPHIE-PROJEKTIONSOBJEKTIV
5 EP1320857 BELEUCHTUNGSSYSTEM INSBESONDERE FÜR MIKROLITHOGRAPHIE
6 EP1320853 BELEUCHTUNGSSYSTEM INSBESONDERE FÜR MIKROLITHOGRAPHIE
7 EP1320856 BELEUCHTUNGSSYSTEM INSBESONDERE FÜR MIKROLITHOGRAPIE
8 EP1320855 BELICHTUNGSGERÄT, INSBESONDERE FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE
9 EP1150158 Irisblende
10 DE10127449A1 Beleuchtungssystem mit einer Vielzahl von Einzelgittern
11 EP1095379 Spiegel mit einem Substrat aus Kristall fur EUV
12 EP1225474 Optischer Strahlablenker
13 EP1199590 8-Spiegel-Mikrolithographie-Projektionsobjektiv
14 EP1191377 System zur gezielten Deformation von optischen Elementen
15 EP0676629 Brechungsindexmessung von Brillenglas
16 EP1150140 Verfahren zur Herstellung einer Brillenlinse, Brillenlinse und Brillenlinsefamilie
17 EP1115019 Projektionsobjektiv mit asphärischen Elementen
18 EP1111425 Optisches Projektionssystem
19 EP0855994 ACHROMATISCHES LINSENSYSTEM FÜR ULTRAVIOLETTSTRAHLEN MIT GERMANIUMDIOXID-GLAS
20 EP1094350 Optisches Projektionslinsensystem
21 DE69519355T2 Optisches Kohärenz-Tomographie-Gerät zur Darstellung der Kornea
22 EP0677733 Gaslaser und Gasnachweis damit
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