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No Patent No Titel
1 DE69332924T2 Verkleinerndes katadioptrisches System mit hoher numerischer Apertur
2 DE68925233T3 Mikrolithographischer Apparat
3 DE69614918T2 Beleuchtungssystem und Methode, die einen deformierbaren Spiegel und beugende optische Elemente benutzen
4 EP0744641 Beleuchtungssystem und Methode, die einen deformierbaren Spiegel und beugende optische Elemente benutzen
5 DE69306428T2 Optisches Breitbandverkleinerungssystem mit angepassten refraktiven Materialien
6 DE68927423T2 Optisches Verkleinerungssystem
7 DE68925233T2 Mikrolithographischer Apparat
8 EP0342639 Mikrolithographischer Apparat
9 DE69014252T2 Druckregler und Ventilbetätigungsvorrichtung.
10 DE3787245T2 Maskenwechselsystem hoher Geschwindigkeit.
11 DE69004277T2 Pneumatischer Sensor.
12 DE3787409T2 Transportvorrichtung für einen Retikel.
13 EP0250964 Transportvorrichtung für einen Retikel.
14 EP0266760 Maskenwechselsystem hoher Geschwindigkeit.
15 DE3785891T2 Umgekehrtes Dunkelfeld-Ausrichtsystem für einen lithographischen Ausrichtscanner.
16 EP0254871 Umgekehrtes Dunkelfeld-Ausrichtsystem für einen lithographischen Ausrichtscanner.
17 DE3687691T2 Abbildungssystem für eine Kurzbogenlampe.
18 EP0269868 Planobjektiv mit verbesserten Bildebenen-Eigenschaften.
19 EP0256212 Justierbare Halterung für grosse Spiegel.
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IPC
A Täglicher Lebensbedarf
B Arbeitsverfahren; Transportieren
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F Maschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
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H Elektrotechnik

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